带您了解K&S主动隔振台

隔振技术可分为被动隔振(又称无源隔振)和主动隔振(又称有源隔振)。被动隔振只能对某一特定的窄频段振动起到衰减作用，而对于隔振对象状态变化较大和振动干扰时变性较强的场合不太适合;同时，由于稳定性的限制，被动隔振也无法对低频振动进行衰减。而主动隔振技术是在被控系统中引入次级振源，并通过一定的控制方法调节次级振源的输出，使其产生的振动与主振源(干扰)的振动相抵消，从而达到隔振的目的。与被动隔振技术相比，主动隔振技术具有自适应性好、可对低频振动进行隔离以及重量轻等优点，因而成为隔振技术的研究热点。主动隔振装置主要由传感器、控制器和致动器三部分组成，当前对于振动主动控制研究也主要集中在这三个方面。

K&S主动隔振台包含7个传感器、8个电机，执行力矩垂直方向150N、水平方向75N，并且采用的是多层隔振结构（MVIS-Muti-layer Vibration Structure），实际隔振范围0.5-100Hz，振定时间≤0.1秒。

主动隔振台基本原理：

由于系统中传感器和致动器的配置方式（由传感器测试环境震动，经过信号处理系统转化成电信号传递到致动器，由致动器产生频率振幅相同，方向相反的震动抵消环境的振动）使得每个传感器和致动器组的响应中耦合了多个振动模态，因此振动控制系统的控制对象为一个多模态耦合的隔振系统。而这又是K&S主动隔振台的又一大特点，解耦结构。

        K&S主动隔振台采用对多个模态进行解耦控制的方法，将六自由度隔振平台的各个耦合模态解耦成六个相互独立的模态，这样就可以单独控制各个自由度方向的运动，这种解耦结构K&S厂家正在申请专利中。

K&S六自由度的主动隔振台应用：

K&S主动隔振台的应用包括台式显微镜、半导体、电子显微镜 、IVF等。目前Aris MD主动减震平台广泛适用于扫描电子显微镜、电镜显微镜AFM、SEM、STM、TEM等领域。

K&S主动隔振台主要特征：

-6个自由度

K&S主动隔振台的第一大特点是六自由度的隔振，可以通过电子力制动器，实现控制位移量与位移速度，从而消除X轴方向移动、Y轴方向移动、Z轴方向移动、以X轴为轴心转动、以Y轴为轴心转动和以Z轴为轴心转动这六个自由度。

-有源增益从0.5Hz开始 

-可变阻尼（K&S隔振新技术，正在申请专利）

        这种新结构形式的可变阻尼减振器，增大阻尼能够有效抑制系统的低频共振，尽管较大的阻尼使得系统的高频隔振性能降低，但是K&S主动隔振台在2Hz以上的衰减效率仍有90%。

-内置人工智能功能

-可通过软件调节有效带宽

-远程控制

-内置实时诊断工具

K&S主动隔振台内置人工智能功能和实时诊断工具（实时双通道频谱分析仪、实时双通道示波器），可通过软件对带宽进行调整。