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CryLaS推出用于半导体检测的1.2W 和0.6W 266nm CW激光器,FQCW266-1200和FQCW266-600

作者:包cx 时间:2025-08-06

CryLaS 266nm CW激光器FQCW266系列是属于二极管泵浦固体激光器(DPSS),采用紧凑型模块化设计,占地面积小,包含激光头和控制单元,可通过串行(RS232USB)接口进行按钮控制或远程控制操作,即插即用。266nm CW激光器的激光头位于密封的铝制外壳内,可以在不同的环境条件下运行。通过传导冷却,激光头可以充分散热。266nm深紫外连续激光器具有超过1000米的长相干长度、窄线宽(<300 kHz)、低于200 W的低功耗(平均100 W)以及仅380 x 270 mm的小尺寸。

德国CryLaS2025年德国慕尼黑展会上推出了全新的600mW1200mW高功率266nm连续激光器——FQCW266-600FQCW266-1200,并且计划在2026年实现这两款瓦级266nm连续激光器的交付。266nm CW激光器FQCW266-600FQCW266-1200的波长公差更小,仅为0.05nm,标称输出功率±5%,功率稳定性<0.2%rms(0.5Hz,超过8小时)。高功率266nm连续激光器FQCW266-600的输出功率可调范围为60-600mW,瓦级266nm连续激光器FQCW266-1200的输出功率可调范围为120-1200mW


高功率266nm连续激光器FQCW266-600和FQCW266-1200的特点:

-266nm连续波

-单模,窄线宽<300kHz

-低功率噪声,<0.1%rms1Hz-100kHz

-具有优异光束性能的真实光束,M²<1.3, TEM00

-闭环操作,控制和调整输出功率,功率可调60-600mW和120-1200mW

-紧凑、坚固的设计和气封外壳


266nm CW激光器的新旧型号参数对比:

型号

FQCW266-600/1200

FQCW266-10/25/50/100/200

波长

266±0.05nm

266±1nm

标称输出功率mW

600/1200±5%

10±1/25±2/50±2/100±3/200±5

输出功率可调范围mW

60-600/120-1200

2-12/3-30/5-50/10-110/20-220

线宽

300kHz

光束传播因子M2

<1.3, TEM00

偏振方向和纯度

垂直,>500:1

垂直,>100:1

光束直径mm

1.1±0.2

0.6±0.1

光束发散角

0.45mrad

0.8mrad

静态对准公差

Lateral±0.25mm | Angular±2.5mrad

点间光束指向偏差

±225μrad

<3μrad/K, <3μrad/h

功率稳定性

0.2%rms

2%rms(10/25), 1%rms(50/100/200)

功率噪声(100kHz-250MHz

0.2%rms

1%rms

平均功耗(最大)

200W450W

<100W(160W)

线路电压

90-250V AC(50-60Hz)

85-264V AC(47-63Hz)

通信接口

USB | RS232 | Ethernet

USB | RS232

安全特性

钥匙开关|联锁|电动快门

钥匙开关|联锁

典型预热时间(最大)

30min45min

15min

工作温度(激光头)

20-25°C (无凝结)

20-35°C (无凝结)

激光头尺寸(H x W x L)

<120x310x715mm³

91x270x379 mm³

控制单元尺寸(H x W x L)

<184x483x411mm³

<134x483x411mm³

42x165x164 mm³

激光头重量

<36kg

14.7kg

控制单元重量

<12kg

1kg

高功率266nm连续激光器FQCW266-600的尺寸图




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