作者:吴wq 时间:2025-10-14
该款5um微区膜厚仪可以对微米级表面尺寸光学反射率、薄膜厚度及膜层材料光学参数进行快速测量。可以在不到1秒钟内同时获取单层薄膜的厚度和材料光学参数。Innofocas微区薄膜测量仪可适用于例如实验室、工厂生产线及野外等环境,并对材料的参数进行实时测量。
Innofocas膜厚测量仪采用亚毫米级的小光斑,测量用的光斑直径从5um到100um。波长范围覆盖可见光和近红外光(350~1000nm)以及短波红外光(1000~1700nm)。测量光谱分辨率可小至0.25nm。反射率测量的精度<0.05%。
目前市面上的微区膜厚仪产品较少,比较知名的有希腊的Thetametrisis微点膜厚仪,美国的Filmetrics。美国的Innofocas微区膜厚仪也能在这些产品中为客户提供另一款全新的选择。不仅如此,Innofocas膜厚测量仪还提供了快速测量模式,快速模式下的单点膜厚仪测量的速度可以达到单次小于50毫秒。单点膜厚仪配备有USB数据输出接口和对应的软件,可以适配目前主流的Windows 10操作系统。
微区膜厚仪主要参数:
微点膜厚仪 |
|
测量项目 |
反射率,膜层厚度及光学常数(n&k) |
光斑尺寸 |
5/10/50/100um |
膜厚范围 |
15nm~100um |
测量精度 |
0.2nm |
测量时间 |
单点测量时间小于0.1s |
光谱范围 |
350~1000nm/1000nm~1700nm |
样品尺寸 |
1mm~100mm |
仪器重量 |
2.8kg |
仪器尺寸 |
290×230×250mm |
Innofocas膜厚测量仪对于膜厚的测量精度可以达到0.2nm,对于光学镜片的膜厚检测,医疗器械表面涂层效果。半导体制造等各种方面都能有较好的使用效果。另外目前很火的运用于锂电池中的薄膜测量,微点膜厚仪同样可以通过光学方式无损测量。保证了测试的安全性和参数的有效性。
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