作者：李zx 时间：2026-04-03
西格玛光机Optosigma新推出了适用于真空腔内的，低释气不锈钢材质的真空用上方调节镜架。真空镜架真空顶部调节反射镜支架型号包括VMHV-25.4L-R，VMHV-12.7L-F，VMHV-12.7L-R和VMHV-25.4L-F。VMHV系列光学调整架是角度调整位置在上方的真空顶部调节反射镜支架。兼容真空的光学调整架具有横向占用空间小，镜架方便装配的特点。顶部可调镜架的单侧开口的外形方便了镜片的近距离配置。因为真空用镜架的调节钮在镜架上方，所以用户可以很方便地近距离配置镜架。出厂时，真空调整架对产品做磁场检测后做真空包装，保证了超高洁净度。
VMHV系列真空用镜架特点及注意事项：
-从清洗到包装的全工艺过程都考虑了真空环境的使用技术要求。
-滑动部的润滑油脂采用了低释气的，真空用油脂BARRIERTA SUPER IS/V。
-真空镜架使用粘接剂。
-兼容真空的光学调整架VMHV-L-F从前侧装入镜片，而VMHV-L-R是从后侧装入的。镜架上备有使用粘接法固定镜片的工艺孔，另外还备有防止镜架转动的定位销孔。
-真空镜架从上方使用螺栓可固定到平板上，或从下方可连接支柱或立柱实现安装固定。
需要注意的是，真空调整架和附属品的螺栓，都采用真空包装出货，洁净度高。真空用上方调节镜架进行调整时，需使用1.5mm尺寸规格的内六角扳手，不用扳手等工具，直接用手拧的话，是很难拧动的，调整所需的内六角扳手，不是本系列镜架的附属品。另备有真空用支柱(VPST)以及立柱(VRO)，可使用附属的螺栓实现连接。另外，还有非磁性的真空用镜架(VMHV-NM系列)可供选购。请在超净环境下开封，请不要用手直接触摸真空顶部调节反射镜支架。
VMHV系列真空用镜架真空参考数据(到达真空度・释气量)：
西格玛光机Optosigma对组装好的成品，实施过在真空腔内的释气评估。下面的例子，是真空用上方调节镜架（VMHV-25.4L-F-NM）的释气量测定结果（实例）。
VMHV系列兼容真空的光学调整架清洗包装的工艺：
超高真空环境下，金属表面吸附的气体就成了问题。不锈钢或铝合金加工后，其表面很快会自动形成一层氧化膜，阻止表面的腐蚀。但，刚加工后的表面上的油或水份等会妨碍形成完好的氧化膜，增加表面出气的可能性。所以，Optosigma西格玛光机此系列产品，从刚加工的零件开始，就严格及时清洗，制造工艺概要如下图所示。
VMHV系列真空用镜架真空调整架型号技术规格：
型号
适用元器件外径
ΦA[mm]
适用元器件厚度
[mm]
有效孔径
[mm]
可调轴数
镜片装入方向
调整范围
调整范围
自重
[kg]
俯仰[°]
方位[°]
俯仰[°/周]
方位[°/周]
VMHV-12.7L-F
Φ12.7
2~7
Φ11.4
2
从前侧装入
±2°
±2°
约0.7
约0.65
0.064
VMHV-12.7L-R
Φ12.7
2~7
Φ11.4
2
从后侧装入
±2°
±2°
约0.7
约0.65
0.064
VMHV-25.4L-F
Φ25/Φ25.4
3~7
Φ23
2
从前侧装入
±1.5°
±1.5°
约0.37
约0.38
0.16
VMHV-25.4L-R
Φ25/Φ25.4
3~7
Φ23
2
从后侧装入
±1.5°
±1.5°
约0.37
约0.38
0.16
如您对VMHV系列VMHV-12.7L-F，VMHV-12.7L-R，VMHV-25.4L-F，VMHV-25.4L-R真空顶部调节反射镜支架感兴趣的话，欢迎咨询我们。
