作者：吴wq 时间：2025-03-20
对于显微镜，精密测量装置等科研设备，西格玛光机推出了SFS-120XY（WA）型号中空型XY压电陶瓷平台和SFS-OBL（正立型）/SFAI-OBL（倒立型）两款压电陶瓷式物镜定位器。为客户提供了更加适合显微镜等其他精密测量观察设备的高精度压电陶瓷平台和压电式物镜驱动器。OptoSigma SFS-120XY（WA）型号显微镜用压电陶瓷平台和SFS-OBL（正立型）/SFAI-OBL（倒立型）两款压电物镜定位模块在开环时理论分辨率达到1nm，闭环时分辨率为10nm。广泛适用于纳米级别操作设备。
中空型XY压电陶瓷平台SFS-120XY（WA）
西格玛光机中空型XY压电陶瓷平台SFS-120XY（WA）中间通孔大小为50×50mm，驱动轴向为XY两轴轴向。
下表为OptoSigma显微镜用压电陶瓷平台SFS-120XY（WA）的主要参数整理，以供参考。
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中空型XY压电陶瓷平台SFS-120XY（WA）主要规格参数表 |
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型号 |
SFS-120XY（WA） |
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行程（开环控制） |
100um±10% |
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台面尺寸（mm） |
120×120 |
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自重（kg） |
1.2 |
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理论分辨率（开环） |
1nm |
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分辨率（闭环） |
10nm |
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垂直度（um） |
小＜1 |
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重复定位精度（um） |
＜0.1 |
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承载能力（N） |
19.6（2.0kgf） |
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轴向 |
XY |
从表中可以看出西格玛光机中空型XY压电陶瓷平台SFS-120XY（WA）具有120×120mm的大台面尺寸和2.0千克的较大负载能力。SIGMAKOKI推荐客户使用控制器FINE-503对显微镜用压电陶瓷平台SFS-120XY（WA）进行驱动。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口可方便地构建位置控制系统。达到客户对设备进行整合的要求。
压电陶瓷式物镜定位器
OptoSigma的SFS-OBL（正立型）/SFAI-OBL（倒立型）两款压电陶瓷式物镜定位器用于显微镜等观测设备的物镜驱动，在对焦和调整位置上起到重要作用。SIGMAKOKI的压电式物镜驱动器分为正置型SFS-OBL和倒置型SFAI-OBL两种，具体的使用场景根据客户自己的显微镜型号进行选用。其中正置型的压电物镜定位模块有SFS-OBL-1和SFS-OBL-2两种型号SFS-OBL-2的高度尺寸相对大一些，但是两种型号的主要参数差别不大。
下表为西格玛光机的压电陶瓷式物镜定位器的主要参数整理。
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压电陶瓷式物镜定位器主要规格参数表 |
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型号 |
SFS-OBL-1 |
SFS-OBL-2 |
SFAI-OBL-1R |
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行程（开环控制） |
100um±15% |
100um±15% |
100um±15% |
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最大可安装物镜直径（mm） |
外径＜φ39 |
外径＜φ39 |
外径＜φ39 |
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外形尺寸（mm） |
75.5×45×40 |
75.5×55×40 |
60.8×30×40 |
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自重（kg） |
0.15 |
0.24 |
0.15 |
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理论分辨率（开环） |
1nm |
1nm |
1nm |
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分辨率（闭环） |
10nm |
10nm |
10nm |
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直线度（um） |
＜1um |
＜1um |
＜1um |
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重复定位精度（um） |
＜0.1 |
＜0.1 |
＜0.1 |
SIGMAKOKI的SFS-OBL-2压电式物镜驱动器采用了金属封装的压电陶瓷驱动机构，相比于SFS-OBL-1压电物镜定位模块，SFS-OBL-2压电物镜定位模块具有更好的抵抗湿度环境的性能。另外，用户实际使用时需要为物镜选择合适的螺纹适配器，因此在选购之前用户最好将使用的物镜进行测量或者选择。
