作者：吴wq 时间：2025-04-15
西格玛光机10nm分辨率闭环控制平台，8种台面尺寸可供选择，位移行程从20mm到300mm可供选择。内置光栅尺分辨率为10nm。OptoSigma NFS-X-Y-PX系列位移台（X为台面宽度，Y为位移行程）。双向重复定位精度为0.5um。位移量可以精细到30nm，设备微小距离内的重复定位精度可以保持在20nm左右。高载重能力使其非常适合于大型光路的调试。
10nm分辨率闭环控制平台
西格玛光机编码器位移台是SIGMAKOKI针对中高精度的用户推出的产品。NFS-X-Y-PX系列位移台一共有8种型号可以供客户选择。行程大小从20mm到300mm可以选择。设备的载重能力也比较高。对于中小行程的客户，NFS60-20PX，NFS60-40PX，NFS100-50PX，NFS120-50PX这四款SIGMAKOKI闭环电动平移台型号可以给客户提供多种位移距离和台面大小的选择。而需要大行程的客户则可以选择NFS100-100PX，NFS120-100PX，NFS180-200PX，NFS180-300PX这四款OptoSigma编码器位移台型号可以提供更大的行程和更好的载重力。
下表将所有8款的OptoSigma闭环电动平移台型号参数列表进行整理，方便客户进行选型。
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10nm分辨率闭环控制平台主要规格参数表① |
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型号 |
NFS60-20PX |
NFS60-40PX |
NFS100-50PX |
NFS100-100PX |
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行程（mm） |
20 |
40 |
50 |
100 |
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台面尺寸（mm） |
75×60 |
110×60 |
100×100 |
175×100 |
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滚珠丝杠直径（mm） |
φ4 |
φ4 |
φ8 |
φ8 |
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分辨率Full（um/脉冲） |
2 |
2 |
2 |
2 |
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定位精度（um） |
1 |
1 |
1 |
2 |
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光栅尺分辨率（nm） |
10 |
10 |
10 |
10 |
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重复定位精度（um） |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
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小范围双向重复定位精度 |
±20nm |
±20nm |
±20nm |
±20nm |
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承载能力（N） |
49 |
49 |
98 |
98 |
|
最小位移量 |
30nm |
30nm |
30nm |
30nm |
|
最大运行速度（mm/sec） |
10 |
10 |
10 |
10 |
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运动平行度（um） |
10 |
10 |
10 |
10 |
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10nm分辨率闭环控制平台主要规格参数表② |
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型号 |
NFS120-50PX |
NFS120-100PX |
NFS180-200PX |
NFS180-300PX |
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行程（mm） |
50 |
100 |
200 |
300 |
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台面尺寸（mm） |
120×120 |
175×120 |
230×180 |
330×180 |
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滚珠丝杠直径（mm） |
φ8 |
φ8 |
φ10 |
φ10 |
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分辨率Full（um/脉冲） |
2 |
2 |
4 |
4 |
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定位精度（um） |
1 |
2 |
2 |
2 |
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光栅尺分辨率（nm） |
10 |
10 |
10 |
10 |
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重复定位精度（um） |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
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小范围双向重复定位精度 |
±20nm |
±20nm |
±20nm |
±20nm |
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承载能力（N） |
98 |
98 |
196 |
196 |
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最小位移量 |
30nm |
30nm |
30nm |
30nm |
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最大运行速度（mm/sec） |
10 |
10 |
10 |
10 |
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运动平行度（um） |
10 |
10 |
10 |
10 |
西格玛光机10nm分辨率闭环控制平台的滚珠丝杠直径有4,8,10mm可以选择。NFS180-200PX和NFS180-300PX这两款的载重能力得到了加强。在台面上， NFS100-50PX，NFS120-50PX提供了在50mm相同的行程下不同的台面大小。NFS60-20PX，NFS60-40PX，NFS100-50PX，NFS100-100PX这四款和SIGMAKOKI编码器位移台的参数相比，NFS-X-Y-PX系列位移台仅仅是微小距离双向重复精度有所区别，其分辨率和大范围重复定位精度指标均相同，是客户在预算较少的时候一个不错的选择。
下面将NFS60-20PX，NFS60-40PX，NFS100-50PX，NFS120-50PX，NFS100-100PX，NFS120-100PX，NFS180-200PX和NFS180-300PX一共8种OptoSigma闭环电动平移台的外形参数图纸，供客户进行参考和测量。
