作者：吴wq 时间：2025-04-17
西格玛光机50nm分辨率闭环控制平台，光栅尺分辨率为50nm，全脉冲分辨率最好能达到2um。NFS60-20X，NFS60-40X，NFS100-50X，NFS100-100X，NFS120-50X，NFS120-100X，NFS180-200X，NFS180-300X一共8种台面型号可以选择。OptoSigma闭环单轴位移台在载重量上有着较大的优势，可以承载部分精密设备进行运动扫描。在中高精度的场景中，SIGMAKOKI的NFS-X-YX系列（X为位移距离，Y为台面宽度）载重位移台有着出色的能力。
西格玛光机50nm分辨率闭环控制平台
西格玛光机50nm分辨率闭环控制平台在OptoSigma的闭环控制平台系列中选择了50nm分辨率的光栅尺作为编码器的标定，采用了更粗直径的滚珠丝杠进行传动，使得其载重能力得到了更好的提升。而且西格玛光机闭环单轴位移台在价格方面也更有性价比。NFS-X-YX系列的NFS60-20X，NFS60-40X，NFS100-50X，NFS100-100X，NFS120-50X，NFS120-100X，NFS180-200X，NFS180-300X均比SIGMAKOKI 10nm分辨率闭环控制平台对应的型号价格低。对与精度要求不高，但是主要看重平台载重能力的应用更加具有优势的客户来说值得选择。OptoSigma 50nm分辨率闭环控制平台具有8种平台规格，小范围的重复精度能达到0.1um，速度可达20mm/sec，西格玛光机电控平移台载重量能达到20公斤。
西格玛光机载重位移台整体的价格实惠，承重能力可靠。不过相比于西格玛光机10nm分辨率闭环控制平台和1nm分辨率闭环控制平台来说精度稍低，具体的型号选择还需要根据用户的实际需求进行取舍。不同应用实际要求的闭环控制平台性能不同，下表将西格玛光机闭环单轴位移台NFS-X-YX系列的主要参数进行了初步的整理。用户可以将参数与SIGMAKOKI 10nm分辨率电控平移台，、1nm分辨率电控平移台，这两款OptoSigma电控平移台，进行对比。
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50nm分辨率闭环控制平台主要规格参数表① |
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型号 |
NFS60-20X |
NFS60-40X |
NFS100-50X |
NFS100-100X |
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行程（mm） |
20 |
40 |
50 |
100 |
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台面尺寸（mm） |
75×60 |
110×60 |
100×100 |
175×100 |
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滚珠丝杠直径（mm） |
φ4 |
φ4 |
φ8 |
φ8 |
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分辨率Full（um/脉冲） |
2 |
2 |
2 |
2 |
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定位精度（um） |
1 |
1 |
1 |
2 |
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光栅尺分辨率（nm） |
50 |
50 |
50 |
50 |
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重复定位精度（um） |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
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小范围双向重复定位精度 |
±100nm |
±100nm |
±100nm |
±100nm |
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承载能力（N） |
49 |
49 |
98 |
98 |
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最小位移量 |
150nm |
150nm |
150nm |
150nm |
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最大运行速度（mm/sec） |
10 |
10 |
10 |
10 |
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运动平行度（um） |
10 |
10 |
10 |
10 |
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50nm分辨率闭环控制平台主要规格参数表② |
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型号 |
NFS120-50X |
NFS120-100X |
NFS180-200X |
NFS180-300X |
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行程（mm） |
50 |
100 |
200 |
300 |
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台面尺寸（mm） |
120×120 |
175×120 |
230×180 |
330×180 |
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滚珠丝杠直径（mm） |
φ8 |
φ8 |
φ10 |
φ10 |
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分辨率Full（um/脉冲） |
2 |
2 |
4 |
4 |
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定位精度（um） |
1 |
2 |
2 |
2 |
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光栅尺分辨率（nm） |
50 |
50 |
50 |
50 |
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重复定位精度（um） |
0.5 |
0.5 |
0.6 |
0.6 |
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小范围双向重复定位精度 |
±20nm |
±20nm |
±20nm |
±20nm |
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承载能力（N） |
98 |
98 |
196 |
196 |
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最小位移量 |
150nm |
150nm |
150nm |
150nm |
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最大运行速度（mm/sec） |
10 |
10 |
20 |
20 |
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运动平行度（um） |
10 |
10 |
20 |
20 |
西格玛光机载重位移台NFS-X-YX系列在整体的精度参数上不如SIGMAKOKI 10nm分辨率闭环控制平台的高，但是其价格的优势让其在光学平台设备中有着独特的定位。西格玛光机电控平移台NFS60-20X，NFS60-40X，NFS100-50X，NFS100-100X，NFS120-50X，NFS120-100X，NFS180-200X，NFS180-300X一共8种台面型号，从20mm到300mm位移行程的选择
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