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西格玛光机HMPQP/HMPZP干涉仪光学样板为合成石英材质,适用于干涉仪检测且附带面型精度数据

作者:肖zy 时间:2025-06-30

西格玛光机光学样板(HMPQP/HMPZP系列)采用合成石英或低膨胀玻璃(微晶玻璃/CLEARCERAM®-Z)制成,具有极低的温度形变特性,经高精度抛光后可作为干涉仪样板或光学样板,附带干涉仪测量的面型精度检验数据。干涉仪光学样板平行度<3′,表面质量20-10级,反面抛光,有效直径达外径95%(波面精度λ/40时为90%)。大型样板采用热膨胀系数低于合成石英的材料,侧面箭头标识高面型精度抛光面,未镀膜,如需镀膜可联系营业部门,交货时配备保管箱。

干涉仪光学样板是使用形状随温度变化极小的材料,经过高精度抛光后的基板。可以作为干涉仪的样板的或光学样板使用。Optosigma光学样板附有使用干涉仪测量的面型精度检验数据。从丰富细化的尺寸或各种面型精度的系列产品中,选择符合您的技术要求的产品。大型的高面型精度的光学样板,使用的是比合成石英热膨胀系数还低的材料。侧面箭头符号指向的一面为高面型精度的抛光面。光学样板将被放入保管箱中交货。


Sigmakoki光学样板HMPQP/HMPZP共同指标表:

共同指标

材质

合成石英

低膨胀玻璃(微晶玻璃®CLEARCERAM®-Z

平行度

3′

表面质量

2010

反面

抛光面

有效直径

外径的95

波面精度λ/40:外径的90%以内


西格玛光机干涉仪样板HMPQP/HMPZP使用注意事项

-干涉仪光学样板作为光学样品使用时,由于样品与样板接触,样品可能会有损伤。如果不能使样品产生损伤时,请使用激光干涉仪等进行检查。

-Optosigma干涉仪样板的条纹圈数约为由干涉仪得到的PV值解析结果的2倍。

- Sigmakoki光学样板为了保持面型精度而没有镀膜。需要镀膜时请联系营业部门。

-光学样板有裂缝,边缘有缺口时,面型精度有可能会变差。存在裂缝或缺口时请更换新的样板。

Optosigma干涉仪样板产品应用信息

-微晶玻璃®是SCHOTT AG公司的注册商标。

-CLEARCERAM®是株式会社小原的注册商标。

-另外备有可以防止反面反射影响的楔形基板(WSB/WSSQ/WSSQK)。

-牛顿环是指,将光学样板和样品贴紧时产生的彩虹色条纹,从这种条纹的形状和圈数可以推测样品的面型精度。

-所谓反射波面精度PVr是指,把干涉仪测得的图像数据,以空间频率成分划分,低频部分用P-V,中间频率成分用RMS表述面精度的评估手法。


西格玛光机干涉仪样板外形图:




牛顿环


Sigmakoki干涉仪样板HMPQP/HMPZP技术参数表:

标准

型号

外径 φDmm

厚度 tmm

材质

反射波面精度PV

HMPQP-30C10-6

φ30

10

合成石英

λ/6

HMPQP-30C10-12

φ30

10

合成石英

λ/12

HMPQP-30C10-20

φ30

10

合成石英

λ/20

HMPQP-40C10-6

φ40

10

合成石英

λ/6

HMPQP-40C10-12

φ40

10

合成石英

λ/12

HMPQP-40C10-20

φ40

10

合成石英

λ/20

HMPQP-50C10-6

φ50

10

合成石英

λ/6

HMPQP-50C10-12

φ50

10

合成石英

λ/12

HMPQP-50C10-20

φ50

10

合成石英

λ/20

HMPQP-60C12-6

φ60

12

合成石英

λ/6

HMPQP-60C12-12

φ60

12

合成石英

λ/12

HMPQP-60C12-20

φ60

12

合成石英

λ/20

HMPQP-80C15-6

φ80

15

合成石英

λ/6

HMPQP-80C15-12

φ80

15

合成石英

λ/12

HMPQP-80C15-20

φ80

15

合成石英

λ/20

HMPQP-100C20-6

φ100

20

合成石英

λ/6

HMPQP-100C20-12

φ100

20

合成石英

λ/12

HMPQP-100C20-20

φ100

20

合成石英

λ/20

HMPZP-100C17-6

φ100

17

低膨胀玻璃

λ/6

HMPZP-100C17-12

φ100

17

低膨胀玻璃

λ/12

HMPZP-100C17-20

φ100

17

低膨胀玻璃

λ/20

HMPQP-130C25-6

φ130

25

合成石英

λ/6

HMPQP-130C25-12

φ130

25

合成石英

λ/12

HMPQP-130C25-20

φ130

25

合成石英

λ/20

HMPZP-130C20-6

φ130

20

低膨胀玻璃

λ/6

HMPZP-130C20-12

φ130

20

低膨胀玻璃

λ/12

HMPZP-130C20-20

φ130

20

低膨胀玻璃

λ/20

HMPQP-150C30-6

φ150

30

合成石英

λ/6

HMPQP-150C30-12

φ150

30

合成石英

λ/12

HMPQP-150C30-20

φ150

30

合成石英

λ/20

HMPZP-150C25-6

φ150

25

低膨胀玻璃

λ/6

HMPZP-150C25-12

φ150

25

低膨胀玻璃

λ/12

HMPZP-150C25-20

φ150

25

低膨胀玻璃

λ/20


高精度

型号

外径 φDmm

厚度 tmm

材质

反射波面精度PVr

HMPQP-30C10-40

φ30

10

合成石英

λ/40

HMPQP-40C10-40

φ40

10

合成石英

λ/40

HMPQP-50C10-40

φ50

10

合成石英

λ/40

HMPQP-60C12-40

φ60

12

合成石英

λ/40

HMPQP-80C15-40

φ80

15

合成石英

λ/40

HMPQP-100C20-40

φ100

20

合成石英

λ/40

HMPQP-130C25-40

φ130

25

合成石英

λ/40

HMPQP-150C30-40

φ150

30

合成石英

λ/40

HMPZP-150C25-40

φ150

25

低膨胀玻璃

λ/40


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