作者:吴wq 时间:2025-07-15
SIGMAKOKI的电动物镜切换显微镜结构与我们常见的显微镜几乎没有差别。简单的来讲,组成显微镜系统(SSS)的重要部分有:光源光路,观察光路,显微镜载物台,调焦组件。西格玛光机的显微镜组件能提供给客户更加多样化和经济的选择。本文简单整理了Optosigma的几种电动三轴显微镜,以供客户参考。
西格玛光机电动显微镜系统配置
对于电动物镜切换显微镜常用的光源安装,根据客户的观察样品不同,一般分为反射式观察和透射式观察。反射式观察主要是用于观察金属表面,常见的应用有晶圆检测和缺陷观察。透射式观察主要是用于观察切片,涂片的样本。两种观察的方式决定显微镜的光源安装位置。反射式的光源通常安装在物镜的同侧,透射式的通常安装在物镜的对侧。
对于电动物镜切换显微镜的观察光路,多数用户的观察光路是无需自行设计的,Optosigma帮客户整理了同轴照明观察装置(OUCI系列)或变倍显微镜 (SZL、SZLM、SIZM系列)的简单光路,用户只需要选定好自己所需要的物镜和目镜的倍率组合便可以进行观察。
显微镜载物台也是选型中重要的部件之一,用户可以根据自己的实际应用需求进行选择手动和自动两种类型。手动的显微镜载物台性价相对较高,但是如果对样品需要扫描和高精度控制的情况下,自动显微镜载物台则是更好的选择。
西格玛光机显微镜系统SSS的组合举例:
SIGMAKOKI的电动显微镜系统SSS主要的组成可以看做一台显微镜的机架,主要有立柱(SSS-B),光源调整光路(SSS-T-ILL)两个主体,和显微镜筒与显微镜载物台的转接组件。下面是两个Optosigma电动显微镜系统的组合举例,以供客户进行参考。
电动三轴显微镜SSS的组合举例 |
|||
编号 |
1 |
2 |
|
显微镜主体立柱 |
SSS-B |
||
透过照明组件 |
SSS-TIB+SSS-T-ILL |
||
聚光透镜组件 |
SSS-CLAD+SSS-CL09-DR |
||
显微镜载物台部分 |
驱动类型 |
手动 |
自动 |
载物台 |
TAR-240155-T |
BIOS Light |
|
底座 |
SSS-SMA-BKT |
SSS-BIOS-SGH |
|
调焦部分(Z轴) |
驱动类型 |
手动 |
自动 |
调焦组件 |
ZAS-FAC-PST |
OSMS80-20ZF-0B |
|
转接件 |
SSS-FMA-BKT |
SSS-FMO-BKT |
|
镜筒部分 |
镜筒型号 |
OUCI同轴照明观察装置 |
SZL变倍显微镜 |
连接板 |
OUCI-BKT |
SSS-SZL-AD |
可以看出编号1和编号2两种显微镜系统的主要架构的区别为电动的升级。但是无论是手动还是电动显微镜组合,所使用的基础立柱与透过照明组件是相同的。均为SSS-B,SSS-TIB,SSS-T-ILL,SSS-CLAD和SSS-CL09-DR的电动显微镜系统基座组合。
SIGMAKOKI的电动三轴显微镜实际组合示意图如下,整个组合自下而上的进行搭建,从光源到显微镜载物台,再到调焦部分组件。均是固定在SSS-B显微镜主体立柱上。用大型光具座滑块CAA-L进行拼接。大型光具座滑块CAA-L不仅能起到转接的作用,在对于显微镜系统(SSS)的稳定性上也起到的支撑作用。由于主体立柱有四条滑块卡槽,用户还可以根据自己的光路设计增加光具座的位置和数量。