作者：吴wq 时间：2025-07-22
法国PIEZOCONCEPT超长行程纳米压电平台SLR系列。纳米定位器（Nano-positioning System）在工业，科研中的各类精密应用里都有着广泛的应用。由于不同的应用对于设备行程的要求不同PIEZOCONCEPT为客户提供了一款行程可达1500um的超长行程超精密压电平台SLR系列。其采用无摩擦组装设计，可靠性极高。
法国PIEZOCONCEPT超长行程压电定位平台SLR系列与市场上的纳米压电平台系统相比，800um和1500um行程的纳米压电平台采用了FuseProtect技术。FuseProtect技术是确保高可靠性的有效方法，得益于耐损伤执行器压电堆栈技术，即使PIEZOCONCEPT超长行程纳米定位器（Nano-positioning System）SLR系列的一部分损坏，超精密压电平台也能继续工作。FuseProtect技术会将损坏的陶瓷元件进行熔断，通过此手段使得剩余的陶瓷元件继续运行。因此SLR.800和SLR.1500的产品可靠性较好。
超长行程纳米压电平台SLR.800和SLR.1500主要参数：
下表为SLR.800与SLR.1500型号压电定位平台的主要参数，其中，水平最大负载和垂直最大负载的参数为标准型号参数，如果有更高的载重参数需求，需要进一步进行沟通。
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型号 |
SLR.800 |
SLR.1500 |
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行程（um） |
800 |
1500 |
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分辨率（nm） |
0.8 |
1.5 |
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噪声基底（典型值nm） |
0.08 |
0.15 |
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重复精度（nm） |
1.6 |
3 |
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谐振频率（Hz） |
220 |
135 |
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线性度（N/um） |
0.16 |
0.15 |
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水平最大负载（kg） |
1 |
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垂直最大负载（kg） |
0.5 |
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规格W×L×H（mm） |
80 x 80 x 17 |
100 x 100 x 20.6 |
超长行程纳米定位器（Nano-positioning System）SLR系列在平台的尺寸上会根据不同的行程要求有一定的变动，机身主体采用铝制材料。不仅如此，超长行程压电定位平台SLR系列可以组合形成2轴甚至3轴超精密压电平台，自由度相对较高。
