作者：陈yl 时间：2025-08-18
OptoSigma西格玛光机上架新产品10nm薄型ZF轴闭环控制平台NFS60-5PSZFW和NFS60-5PAZFW。这款Z轴闭环自动滑台使用5相步进电机驱动，闭环自动滑台升降机构采用了楔形机构、高度方向的外形尺寸小。闭环自动滑台内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。内置光栅尺的分辨率10nm。采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，光栅尺自动滑台有各种行程和台面尺寸可供选择。可搭配使用NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。
OptoSigma光栅尺自动滑台主要部件为十字交叉滚柱导轨（无滑动型）和滚珠丝杠的楔形升降机构，降低了台面的总高度（超薄）。在额定载荷下，即使电机断电，也能保持当前位置（防止断电自行下滑）。从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。10nm薄型ZF轴闭环控制平台材质有铝合金和不锈钢2种不同型号可选。台面尺寸有60mm×60mm或100mm×100mm两种台面尺寸可选，行程都是5mm。
注意
-控制器请选用NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。
-请在温度变化幅度不大的环境中使用光栅尺自动滑台。（推荐：23±1℃）
-请尽量在振动较小的环境中使用光栅尺自动平台。或采取一定的防振措施。
-请在没有油雾的环境中使用。光栅尺被污染可能会产生误差。
-如需安装大于光栅尺自动平台台面尺寸的工件，请向我们咨询。
光栅尺自动滑台NFS60-5PSZFW与NFS60-5PAZFW对比如下：
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型号 |
NFS60-5PSZFW |
NFS60-5PAZFW |
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机械技术指标 |
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行程 |
5 mm |
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台面尺寸 |
60×60 mm |
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丝杠 |
滚珠丝杠直径 φ6 mm 导程 1 mm |
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驱动机构 ( 减速比 ) |
楔形机构 ( 1 : 5 ) |
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导轨形式 |
十字交叉滚柱导轨 |
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主要材料 |
不锈钢 |
铝合金 |
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表面处理 |
无(喷砂处理) |
黑色氧化 |
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自重 |
2.5kg |
1.5kg |
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精度技术指标 |
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分辨率 ( 整步 ) |
0.4 μm/脉冲 |
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分辨率 ( 40 分割 )※1 |
0.01 μm/脉冲 |
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最大速度 |
3 mm/sec |
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重复定位精度 ※2 |
0.2 μm |
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微小范围双方向重复定位精度※3 |
±20 nm |
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最小位移量 ( 参考数据 ) |
30 nm |
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承载能力 |
58.8 N ( 6 kgf ) |
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最大承载力矩 ( 俯仰 ) |
1.5″/N・cm |
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最大承载力矩 ( 偏摆 ) |
1″/N・cm |
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最大承载力矩 ( 转动 ) |
1.5″/N・cm |
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空行程 |
1 μm |
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平行度 |
50 μm |
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Z轴垂直度 |
15 μm |
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电机技术指标 |
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类型 |
5相步进电机 0.3 A/相 ( ORIENTAL MOTOR㈱ ) |
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型号 |
PK525HPB-C4 ( □28 mm ) |
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编码器技术指标 |
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光栅尺分辨率 |
10 nm |
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※1连接到SHRC控制器后，AutoConfig功能自动设定分辨率。
※2 启用多点纠错功能时的数值。
※3 在微小范围内进行重复定位精度测量（ISO）所得到的结果
10nm分辨率闭环控制平台NFS-ZFW系列产品清单
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型号 |
台面尺寸 |
行程 |
承载能力 |
驱动机构(减速比) |
导轨形式 |
主要材质/表面处理 |
自重 |
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NFS60-5PAZFW |
60x60mm |
5mm |
58.8N(6.0kgf) |
楔形机构(1:5) |
十字交叉滚柱导轨 |
铝合金/黑色氧化 |
1.5kg |
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NFS60-5PSZFW |
60x60mm |
5mm |
58.8N(6.0kgf) |
楔形机构(1:5) |
十字交叉滚柱导轨 |
不锈钢/无(喷砂处理) |
2.5kg |
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NFS100-5PAZFW |
100x100mm |
5mm |
98N(10.0kgf) |
楔形机构(1:5) |
十字交叉滚柱导轨 |
铝合金/黑色氧化 |
3.6kg |
|
NFS100-5PSZFW |
100x100mm |
5mm |
98N(10.0kgf) |
楔形机构(1:5) |
十字交叉滚柱导轨 |
不锈钢/无(喷砂处理) |
7.6kg |
OptoSigma NFS‐ZFW系列10nm薄型ZF轴闭环控制平台简介
NFS60-5PAZFW/NFS60-5PSZFW外形图
