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CVI激光反射镜:高功率激光、特种波段、通用金属镀膜反射镜技术参数差异对比

作者:李gh 时间:2025-11-24

作为行业领先的光学解决方案提供商,CVI Laser Optics 构建了全面且专业的激光反射镜产品矩阵,以满足从基础研究到尖端工业制造的各种需求。其产品线可清晰地划分为三大类别:面向极端能量应用的高功率激光反射镜、服务于特定波长和物理需求的特种波段反射镜,以及覆盖广泛光谱范围的通用金属镀膜反射镜。本文章主要对比高功率激光反射镜、特种波段反射镜、通用金属镀膜反射镜不同型号技术参数差异。


高功率激光反射镜对比

这类反射镜的核心指标是高激光损伤阈值和高反射率,以满足高能量激光系统的苛刻要求。

高能部分反射激光镜(PR1):其独特之处在于精确控制反射率(部分反射),常用于激光谐振腔的输出耦合镜,用于耦合出特定比例的激光。其宽波段(190-2100nm)适配性极强。

准分子激光镜(ARF/KRF):专为深紫外(193nm, 248nm)脉冲激光设计,材料和镀膜工艺需能承受高能光子冲击,是光刻和眼科手术设备的核心元件。

Nd:YAG/Nd:YLF激光镜(Y系列):这是产品线中最庞大的家族,覆盖了从基频(1064nm, 1047nm)到多次谐波(532nm, 355nm, 266nm, 213nm)的所有波长。其中,离子束溅射镀膜镜(Y1S等) 代表了最高工艺水平,具有更低的散射损失、更高的损伤阈值和优异的环境稳定性,适用于最高性能的激光器系统。

光纤激光镜(FLM):针对1030-1080nm及相关的谐波波长(515nm, 343nm)优化,专用于当前主流的工业光纤激光器,满足激光标记和微加工对可靠性和寿命的极高要求。


特种波段/应用反射镜对比

这类反射镜为满足特定物理需求或应用场景而设计。

可调谐激光线反射镜(TLM1/TLM2TLM1针对特定可调谐波长优化,而TLM2是超快激光应用的关键,其设计考虑了色散管理,确保飞秒脉冲(脉宽>30fs)在反射后不被过度展宽。

钛宝石超快反射镜(TLMB:专为钛宝石激光器(740-860nm)的飞秒脉冲放大器量身定制,是超快光学研究的核心部件。

双波长反射镜(HM/YH:其精妙之处在于能同时高效处理两个特定波长(如1064nm/532nm1064nm/633nm),简化了多波长激光系统(如Nd:YAGHeNe激光对齐)的光路设计。

真空紫外与深紫外铝镜(VUVA/DUVA:覆盖157nm193nm的极端紫外波段。VUVA专为157nm真空环境应用,而DUVA则用于193nm光刻等场景,技术要求极高。


通用金属镀膜反射镜对比

这类反射镜以宽波段响应和成本效益为主要优势,适用于非激光或中低功率激光系统。

铝镜系列:是紫外到近红外的通用选择。紫外增强铝镜(PAUV 250-600nm(尤其是深紫外)反射率最高;保护铝镜(PAV 在可见光区(400-800nm)性能均衡;增强铝镜(EAV 450-650nm可见光区反射率最优。

保护银镜(PS:在400nm-20μm的极宽范围内具有最高的反射率(>95%),是可见到近红外的理想选择,但需注意防氧化。

保护金镜(PG:在650nm以上的红外波段表现无敌,反射率>98%,是CO₂激光器(10.6μm)和红外光谱仪的标准配置。


选型指南:选择时,首先确定核心激光参数(波长、功率/能量、脉冲宽度),然后匹配对应的产品类型。高功率纳秒脉冲选Y系列;飞秒脉冲必选TLM2TLMB;宽波段白光照明选PSPAV;极端紫外环境选专用DUVA/VUVA


CVI激光反射镜的核心应用场景

CVI反射镜的型号差异直接决定了其应用场景的专属性。


-高端工业与半导体制造

光刻技术准分子激光镜(ARF/KRF 深紫外铝镜(DUVA 193nm/248nm光刻机的照明和投影系统的核心,其性能直接决定光刻精度。

精密加工光纤激光镜(FLM Nd:YAG激光镜(Y系列) 是工业激光加工的心脏,广泛应用于切割、焊接、打标和微加工。其中,离子束溅射镀膜镜(Y1S等) 因其极高的耐用性和稳定性,成为7x24小时工业生产线上的首选。

紫外固化紫外增强铝镜(PAUV 紫外宽带反射镜(MAXBRite™, MPQ 用于紫外固化设备的反射罩,高效反射紫外线,快速固化油墨、涂料和胶水。


-科学研究与前沿技术

超快光学研究钛宝石超快反射镜(TLMB 可调谐宽带反射镜(TLM2 是搭建飞秒激光放大器、光学参量放大器等复杂实验平台的基础元件,其色散控制能力至关重要。

光谱分析:各类反射镜在光谱仪中充当定标、引导和聚焦角色。保护银镜(PS 因其超宽波段特性,在傅里叶变换红外光谱仪中广泛应用。

深紫外研究真空紫外铝镜(VUVA 专用于157nm等极端波长的科学研究,如材料表面分析、基础物理实验等。

多波长实验双波长反射镜(HM/YH 简化了泵浦-探测等需要多束激光协同工作的实验光路。


-医疗与生命科学

眼科手术准分子激光镜(ARF/KRF 用于LASIK等近视矫正手术设备,其精度和可靠性关乎手术安全。

生物成像可见光宽带反射镜(MPQ, 420-700nm 为荧光显微镜、共聚焦显微镜提供均匀的照明,是生命科学研究的得力工具。


-国防与航空航天

-红外制导与探测保护金镜(PG 保护银镜(PS 因其优异的红外反射性能,被用于红外导引头、热成像系统和空间望远镜的红外光学路径中,需具备良好的环境适应性。

在高功率激光反射镜领域,CVI Laser Optics 的表现尤为突出。例如,专为Nd:YAG激光器设计的Y系列高功率激光反射镜,其激光损伤阈值高达25 J/cm²(1064nm, 20ns),堪称工业切割、焊接等高强度应用的基石。同样,用于光纤激光器的FLM系列高功率激光反射镜,也为精密微加工提供了可靠的性能保障。这些激光反射镜通常选用热稳定性极佳的熔融石英基底,并镀有经过优化的介质膜层,这是其能够承受高功率激光反射镜应用环境的关键。

对于更为特殊的应用需求,则需要依赖CVI Laser Optics 的特种波段反射镜。这类特种波段反射镜为解决特定技术挑战而生,例如专用于193nm248nm波长的准分子激光反射镜,其镀膜工艺能有效抵抗深紫外光子的侵蚀。另一典型代表是超快激光领域不可或缺的TLM2系列特种波段反射镜,它们不仅具备高反射率,更关键的是拥有极低的群延迟色散,以保持飞秒激光脉冲的形状。此外,能同时高效处理两个波长(如1064nm532nm)的HM系列双波长反射镜,也是特种波段反射镜家族中的重要成员,极大简化了复杂的光路设计。

而在许多非激光或对成本敏感的应用中,通用金属镀膜反射镜则是经济且高效的选择。CVI Laser Optics 提供的通用金属镀膜反射镜主要包含铝、银、金三种镀膜类型。例如,PAV系列保护铝镜作为一种典型的通用金属镀膜反射镜,在400-800nm可见光区表现稳定。若需要在可见光到近红外(400nm-20μm)获得最高反射率,PS系列保护银镜这款通用金属镀膜反射镜则是理想选择。而对于中远红外应用,如CO₂激光器,PG系列保护金镜这款通用金属镀膜反射镜能提供超过98%的反射率。这些通用金属镀膜反射镜为光谱分析、照明及探测系统提供了坚实的基础支持。

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