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M Plan Apo NUV 三丰近紫外物镜,适用于精密半导体检测与激光加工应用平场复消色差物镜

作者:黄f 时间:2026-05-09

三丰(MitutoyoM Plan Apo NUVLCD Plan Apo NUV是专为高精度工业检测设计的明视场平场复消色差物镜。该系列物镜具备355-620nm的宽波长校正范围,完美覆盖近紫外至可见光波段,支持明视场观察、近紫外检测及激光加工应用。M Plan Apo NUV近紫外物镜为标准通用型号,而LCD Plan Apo NUV液晶近紫外物镜则专门为透过0.7mm等标准厚度的玻璃盖板观测而优化校正。两个系列均提供高分辨力(HR)型号,以满足半导体检测、精密制造、材料分析等领域对超高分辨率和稳定成像的严苛要求,是进行精准观测与工艺控制的理想光学核心部件。

这两个系列均建立在先进的光学平台之上,具备出色的综合性能。它们专为明视场观察及近紫外应用优化,其波像差校正范围覆盖355nm620nm,实现了从近紫外到可见光区域的优异成像。物镜采用无限远光学系统与平场复消色差设计,不仅确保了整个视场内清晰、平坦的像面,还显著降低了色差。同时,系列产品普遍拥有较长的工作距离,为样品操作和复杂光路集成提供了便利。

两者的核心区别在于校正设计的适用场景。M Plan Apo NUV明视场近紫外校正物镜为标准设计,适用于对样品表面进行直接观测,是通用性极高的高性能物镜。而LCD Plan Apo NUV液晶近紫外物镜则针对透过覆盖玻璃(如液晶显示屏上的玻璃基板)进行观测的场景进行了特殊优化。玻璃厚度校正适用于高倍率观察的物镜,有效利用原有的长工作距离规格,可防止在物镜与物体之间插入玻璃后成像对比度下降。除标准产品系列外,还可以指定玻璃的材质、厚度、折射率进行特殊订购设计。三丰(Mitutoyo)物镜光学设计专门针对透过特定厚度(如0.7mm)的BK7玻璃进行了像差校正,从而确保在观测玻璃覆盖下的样品时,依然能获得高分辨率、高保真度的图像。

在型号上,M Plan Apo NUV明视场近紫外校正物镜系列提供从10倍到100倍(含高分辨HR型号)的更广泛选择,以适应不同的分辨率与视场需求。LCD Plan Apo NUV系列则聚焦于20倍、50倍等常用于透过玻璃检测的倍率。这两个三丰(Mitutoyo)系列物镜均采用环保玻璃材质,凭借高透射率、卓越的图像再现性和稳定的性能,广泛应用于半导体缺陷检测、精密制造、材料科学及激光微加工等高端工业与科研领域,为用户提供可靠的观测与工艺控制解决方案。

Mitutoyo紫外M Plan Apo NUV/M Plan Apo NUV HR

液晶紫外LCD Plan Apo NUV/LCD Plan Apo NUV HR


明视场近紫外校正物镜特点:

-明视场观察/近紫外观察/激光加工

-波长校正范围 355620 nm

-无限远校正

-长工作距离

-平场复消色差规格

-HR:高分辨力规格(分辨力:比标准型高)


明视场近紫外校正物镜参数表:

品名

数值孔径NA

工作距离WD(mm)

焦距f(mm)

分辨力R(µm)

物镜单体的焦深±D.F.(µm)

实际视场FOV(mm)

质量(g)

可见区

近紫外区

2/3吋相机(纵×横)

M Plan Apo NUV 10×

0.28

30.5

20

1.0

3.5

3

1.6

0.66×0.88

270

M Plan Apo NUV 20×

0.42

17.0

10

0.7

1.6

1.5

0.8

0.33×0.44

360

M Plan Apo NUV 50×

0.44

15.0

4

0.6

1.4

0.6

0.32

0.13×0.18

410

M Plan Apo NUV 100×

0.50

11.0

2

0.6

1.1

0.3

0.16

0.07×0.09

430

M Plan Apo NUV HR 50×

0.65

10.0

4

0.42

0.65

0.6

0.32

0.13×0.18

570

上述规格栏中的分辨力和物镜单体焦深是根据基准波长(λ=0.55µm)计算得出的值。可见区视场数ø30,近紫外区视场数ø16


明视场液晶近紫外物镜特点:

-明视场观察/近紫外观察/激光加工

-波长校正范围 355620 nm

-无限远校正

-长工作距离

-平场复消色差规格

-适合透过厚度0.7mm玻璃(材质:BK7)观察的校正设计※根据厚度、材质、折射率进行设计制作

-HR:高分辨力规格(分辨力:比标准型高)


明视场液晶近紫外物镜参数表:

品名

数值孔径NA

工作距离WD(mm)

焦距f(mm)

分辨力R(µm)

物镜单体的焦深±D.F.(µm)

实际视场FOV(mm)

质量(g)

可见区

近紫外区

2/3吋相机(纵×横)

LCD Plan Apo NUV 20×(t0.7)

0.42

16.96

10

0.7

1.6

1.5

0.8

0.33×0.44

360

LCD Plan Apo NUV 50×(t0.7)

0.44

14.76

4

0.6

1.4

0.6

0.32

0.13×0.18

410

LCD Plan Apo NUV HR 50×(t0.7)

0.65

9.76

4

0.4

0.7

0.6

0.32

0.13×0.18

570

上述规格栏中的分辨力和平场复消色差物镜单体焦深是根据基准波长0.55µm)计算得出的值。可见区视场数ø30,近紫外区视场数ø16


平场复消色差物镜尺寸图:


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