作者：黄f 时间：2026-06-04
三丰（Mitutoyo）VMU与WIDE VMU系列显微镜单元，提供从标准到超广视场的完整成像解决方案。VMU-S型号以超紧凑设计实现4倍于常规的视场；VMU-V/H型号擅长近红外透射观察；VMU-LB/L4B型号则专为YAG激光（UV-NIR）微细加工设计，配备双相机。大视场显微镜单元WIDE VMU系列支持高达ø30mm的超大成像视场，其中显微镜筒WIDE VMU-HR型号兼容高分辨率物镜，BD系列更具备明/暗视场瞬时切换功能，专为异物与划痕检测优化。全系列显微镜成像单元兼容M Plan Apo、NIR等多种物镜，适配主流科学相机，是半导体检测、材料分析及精密激光加工的可靠核心组件。
三丰VMU系列显微镜单元特点：
显微镜筒VMU-S型号
-超小型/轻巧
-广视场成像（约为VMU-V的4倍）
显微镜筒VMU-V，VMU-H型号
-小型/轻巧
-适用于近红外观察（透射）
显微镜成像单元VMU-LB，VMU-L4B型号
-适用于YAG激光（UV、NUV、VIS、NIR）细微加工
-强化了显微镜本体的刚性和综合性能
-搭载双相机，可观察同一位置
三丰显微镜成像单元VMU参数表：
|
名称 |
VMU-S |
VMU-V |
VMU-H |
VMU-LB |
VMU-L4B |
|||
|
相机安装方向 |
垂直方向 |
水平方向 |
垂直方向(可旋转) |
|||||
|
观察成像 |
明视场/正像 |
明视场/反像 |
明视场/正像 |
|||||
|
镜筒 |
相机接口 |
光学系统 |
倍率：1× 可见光 |
|||||
|
卡口部分 |
C-Mount(齐焦/调心独立调节机构) |
C-Mount带绿色滤光片切换功能 |
||||||
|
成像镜头 |
成像倍率 |
0.5× |
1× |
|||||
|
修正波长 |
可见 |
可见～近红外 |
近紫外～可见～近红外 |
紫外～可见～近红外 |
||||
|
焦距 |
100mm |
200mm |
||||||
|
激光接口 |
光学系统 |
- |
1×：55/532/1064nm |
1×：266/355/532/1064nm |
||||
|
卡口部分 |
YAG激光振荡器 |
YAG激光振荡器 |
||||||
|
带齐焦调节机构 |
||||||||
|
偏振光单元 |
- |
可安装 |
可安装(可进行激光加工) |
|||||
|
物镜（必选件） |
观察用 |
M Plan Apo G Plan Apo |
M Plan Apo、M Plan Apo HR(50X, 100X)、M Plan Apo SL、G Plan Apo |
|||||
|
NIR系列 |
||||||||
|
激光加工 |
- |
NIR、NUV系列 |
NIR、NUV、UV系列 |
|||||
|
白光干涉 |
WLI Plan Apo |
- |
||||||
|
适用相机 |
2/3吋以下，CCD相机(C-Mount规格) |
|||||||
|
落射照明光学系统 |
带孔径光阑远心照明 |
|||||||
|
照明镜筒 |
明视场/LED适配器 |
明视场/光纤适配器(标准附属品)、LED适配器(选件) |
||||||
|
照明装置(选件) |
LED光源 |
光纤照明装置(LED) |
||||||
|
本体质量 |
400g |
650g |
750g |
1270g |
1300g |
|||
使用M Plan Apo 1×时，有些观察对象可能会出现耀斑，因此建议搭配使用偏振光单元。搭配使用螺纹转换适配器(RMS—>W26)。安装时请确认安装尺寸，在VMU-LB或-L4B上安装YAG激光振荡器使用时，请注意激光输入值和能量密度等。否则可能会导致光学系统受损。确认激光振荡器的质量，在高速、高加减速装置上安装时请进行咨询。
Mitutoyo大视场显微镜单元WIDE VMU特点：
大视场显微镜单元WIDE VMU-HR型号
-支持超广视场观察（成像视场ø30mm）
-适用于高分辨力物镜HR系列（瞳径ø16.8mm设计）
-视场周边的亮度大幅提高（降低对光照分配特性的依赖）
-适用于近红外观察（透射）
-紧凑规格
显微镜成像单元WIDE VMU-BD，WIDE VMU-BDV，WIDE VMU-BDH型号
-支持超广视场观察（成像视场ø30 mm）
-支持适用于异物和划痕检查的暗视场观察（通过照明光源的ON/OFF，可瞬间切换明视场与暗视场）
-紧凑规格（WIDE VMU-BD）
Mitutoyo大视场显微镜单元WIDE VMU参数表：
|
|
明视场观察对应 |
明暗视场观察对应 |
||||||
|
型号 |
WIDE VMU-HR |
WIDE VMU-BD |
WIDE VMU-BDV |
WIDE VMU-BDH |
||||
|
相机安装方向 |
垂直方向 |
垂直方向 |
水平方向 |
|||||
|
观察成像 |
明视场/正像 |
明暗视场/正像 |
明暗视场/反像 |
|||||
|
镜筒 |
相机接口 |
光学系统 |
放大倍率：1× 可见光～近红外光 |
放大倍率：1× 可见光 |
||||
|
卡口部分 |
F-Mount、C-Mount(带调心/齐焦调节机构) |
|||||||
|
成像(镜筒)透镜 |
1×内置(可见～近红外校正) |
1×内置(可见校正) |
||||||
|
成像视场 |
ø30mm |
|||||||
|
偏振光单元 |
可安装 |
|||||||
|
物镜(必选件) |
M Plan Apo系列、G Plan系列 |
BD Plan Apo |
||||||
|
适用相机 |
对角30mm以下(相当于APS-C格式) |
|||||||
|
落射照明光学系统 |
孔径光阑，远心照明(瞳径ø16.8mm) |
远心照明、明暗视场照明镜筒，光源明暗视场切换 |
||||||
|
照明镜筒 |
明视场照明镜筒、标配LED适配器及光纤适配器 |
明视场照明镜筒、标配光纤适配器 |
||||||
|
照明装置(选件) |
光纤照明装置(LED) |
|||||||
|
本体质量 |
1400g |
1600g |
2000g |
2150g |
||||
Mitutoyo显微镜单元VMU外形尺寸图：
