作者：戴xl 时间：2026-09-12
266nm属于深紫外（Deep-UV）波段，是Nd:YAG激光器四倍频（基频1064nm→四倍频266nm）的典型输出波长。该波段具有光子能量高（约4.66eV）、穿透深度浅、可被多数材料强烈吸收等特点，在工业检测、科学研究及先进制造领域具有不可替代的地位。我司代理行业领先的三大品牌的连续波266nm激光器/深紫外连续激光器，德国CryLaS的FQCW266系列，德国TOPTICA的TopWave 266系列，以及日本OXIDE的Frequad（包含Frequad-C，Frequad-M，Frequad-HP）系列。
266nm连续激光器/266nmCW激光器主要应用领域
-半导体晶圆检测（Semiconductor Wafer Inspection）：266 nm 激光可有效检测晶圆表面的纳米级缺陷（颗粒、划痕、图案缺陷），短波长提供更高的光学分辨率，且对光刻胶等材料具有良好的对比度。
-光刻掩模版/光罩检测：深紫外光源用于检测掩模版上的微小缺陷，确保光刻工艺的良率。更短的波长能够分辨更小的特征尺寸。
-拉曼光谱与显微：266 nm 激发波长属于深紫外拉曼（DUV Raman），可有效避开荧光背景干扰，获得高质量的光谱信号，适用于生物、化学及材料分析。
-紫外光谱分析、光致发光、光刻原型
德国CryLaS FQCW266系列
CRYLAS FQCW266系列是二极管泵浦的连续波单频固体激光器（DPSS CW Single Frequency），覆盖 10 mW 至 1200 mW 功率范围，以超窄线宽（<300 kHz）、高相干长度（>1000 m）和优异的频率稳定性为核心竞争力。型号包括：FQCW266-10、FQCW266-25、FQCW266-50、FQCW266-100、FQCW266-200、FQCW266-300、FQCW266-600、FQCW266-1200
图：FQCW266-1200 266nm连续激光器实物图
型号
FQCW266-300/600/1200
FQCW266-10/25/50/100/200
波长
266±0.2nm
266±1nm（10/25）266±0.2nm（50/100/200）
标称输出功率
300/600/1200mW±5%
10±1/25±2/50±2/100±3/200±5mW
输出功率可调范围
30-300/60-600/120-1200mW
2-12/3-30/5-50/10-110/20-220mW
线宽
<300kHz
<300kHz
相干长度
-
>1000m
光束质量M2（平均）
TEM00，<1.3
TEM00，<1.3
光束质量M2（水平/垂直）
TEM00，<1.2（水平）/<1.35（垂直）
-
偏振方向和纯度
垂直，>500:1
垂直，>100:1
光束直径mm
1.1±0.2
0.6±0.1
光束发散角
＜0.45mrad
＜0.8mrad
静态对准容差（横向）
±0.25mm
±0.25mm
静态对准容差（角度）
±2.5mrad
±2.5mrad
点间光束指向偏差
±200μrad
±360μrad（50/100/200）-（10/25未列）
光束指向稳定性
-
<3μrad/K，<3μrad/h
功率稳定性（0.5Hz/8h）
<0.2%RMS
＜2%rms(10/25),＜0.3%rms(50/100/200)
功率噪声（1Hz–100kHz）
<1%RMS
-
功率噪声（100kHz–250MHz）
<0.2%RMS
-
典型预热时间（最大）
<45min
<15min（10/25）15min（典型）/30min（最大）（50/100/200）
自动晶体移位器（ACS）
有
无（10/25）/有（50/100/200）
德国TOPTICA TopWave
266和日本OXIDE Frequad 系列
德国TOPTICA TopWave 266是工业级连续波266nm激光器/深紫外连续激光器，提供 150 mW 和 300 mW 两种功率选项，以密封倍频腔设计、自动光学移位器、超长寿命（>10,000 小时）和低噪声运行为核心优势。其型号包含：TopWave 266-150、TopWave 266-300
日本OXIDE Frequad 系列分为三个子系列：Frequad-C（紧凑型，20/50 mW）、Frequad-M（水冷中高功率型，0.3–2.0 W）、Frequad-HP（风冷高功率型，1/2 W），覆盖从 20 mW 至 2
W 的宽功率范围，以紧凑尺寸、无需水冷（C系列和HP系列）和多功率选项为核心优势。其型号包含：Frequad-C、Frequad-M、Frequad-HP。
图：OXIDE Frequad-HP和TOPTICA TopWave-266 266nmCW激光器实物图
型号
TopWave 266-150/266-300
Frequad-HP/Frequad-M/Frequad-C
输出功率
150mW/300mW
20mW-2.0W
波长
266nm±0.5nm
266nm
线宽
<1MHz
<0.005pm
光束腰直径@1m（1/e²）
0.4mm±0.2mm
3mm±0.3mm（HP、M）；0.8mm±0.2mm（C）
光束发散角
<1.2mrad（典型值）
<0.2mrad（HP、M）；<0.4mrad（C）
椭圆度
<15%
-
光束指向稳定性
<±5μrad
-
横模
TEM₀₀
-
M²
M²×1.3
M²<1.2（HP、M）；M²<1.3（C）
偏振
线偏振，垂直<±3°
-
偏振消光比
>200:1
>100:1
功率稳定性
<1%（8小时内）
RMS噪声
<0.3%（10Hz-10MHz）
-
寿命（最小/典型值）
5000h/10000h（带光学件移位功能）
-
综上，CryLaS FQCW266系列的核心优势在于超窄频率线宽（<300kHz）、高偏振纯度（>500:1）及自动晶体移位器（ACS）保障的16,000小时长寿命，全系传导冷却，低功率型号（10–200mW）拥有>1000m相干长度且体积紧凑，适合频率精密测量和长光程干涉；TOPTICA TopWave
266系列凭借密封倍频腔（SUV）与自动光学移位器实现>10,000小时典型寿命和全生命周期M²<1.3光束质量一致性，噪声低至<0.1%RMS，是工业级高可靠性和低噪声运行的代表；OXIDE Frequad系列以最宽功率覆盖（20mW–2.0W）通过三个子系列差异化布局——Frequad-C（20/50mW）尺寸最小（153×202×79mm）、功耗<70W且无需水冷和CDA，Frequad-M（0.3–2.0W）水冷满足高功率需求，Frequad-HP（1.0/2.0W）风冷平衡功率与散热，其<0.005pm波长线宽和M²<1.2光束质量在光谱分析和微细加工中优势显著。
