EUV功率计覆盖波段6-1100nm,量程15pA-10mA,13.5nm功率计,5pA灵敏度,真空在线功率测量

EUV功率计除了可以对AXUV100G和SUV100极紫外光电二极管测量外，还可以测量其他探测器，灵活选配。在6-50nm范围内没有反射损失，量程内抗光损伤。EUV功率探测模块有真空接口，KF/CF按需选配支持10^-⁵Pa及以上真空氦质谱检漏合格交付。极紫外功率计内置切换机构，不破真空测量与通光状态灵活切换。EUV功率计可以直连皮安表，对接Keithley6485/6485E灵敏度5pA·10µs响应。EUV功率计为真空在线式极紫外光束功率测量模块，适用于13.5nmEUV光束及6–1100 nm波段光学功率检测，可在真空腔体内部完成光束功率在线监测。

EUV功率计应用场景：适用于同步辐射装置、先进EUV光源、极紫外光学系统等科研平台，用于真空环境下极紫外光束的在线功率监测。真空紫外功率计又可以叫作13.5nm功率计和深紫外功率计

EUV功率探测模块·真空腔体+PD探头（L120mm×W120mm×H250mm，高度可定制）

极紫外功率计特点

-深紫外功率计5pA灵敏度，最低可测电流20pW@13.5nm

-13.5nm功率计功率量程60pW–40mW，电流15pA–10mA@13.5nm

-真空紫外功率计覆盖波段6–1100nm，涵盖EUV、可见光和近红外

-测量准确度≈5%，溯源Thorlabs PM100D校准

EUV功率计技术参数

深紫外功率计配套上位机软件，可以功率读数与时间曲线，Max · Min · Avg · RSD统计·光子通量photon/s换算、量程/滤波/波长参数配置，电流/功率模式切换，测量间隔可调，测量并记录数据。

真空测量功率计配套软件界面

EUV功率探测模块系统连接与工作模式

EUV光源-KF/CF法兰接口-PD探测模块-Keithley 6485/E。真空腔体集成光电探测器与电动切换机构，探测器采集极紫外光子转化为光电流，由皮安表读取微弱电流，换算得到光束功率。

极紫外功率计技术参数以随机出厂报告为准，真空接口（KF/CF）与探测器（AXUV100G/SXUV100）可按需定制，可配套Keithley6485/6485E皮安表，实现pA级微弱光电流采集，真空紫外功率计面向同步辐射、先进光源等科研场景。极紫外功率计内置切换机构，可以实现在测和通光的一键切换。真空测量功率计测量时探测器切入光路采集信号；不需要测量时探测器移出光路，光束可直通下游光路，无需破坏真空环境。