作者：戴xl 时间：2025-06-09
系列型号-X为位移台/平移台，系列型号-YAW为转动/旋转台，系列型号-A为摆动/俯仰平台。西格玛光机/Sigmakoki/OptoSigma适用于硅片的打标等的微小角度调整用自动平台。特别适用于微小角度的自动调整。驱动机构为丝杠，磨损和间隙小，耐久性好。丝杠带动钢带，将直线运动转换为转动，即使位置不同，其传动比也不变。
西格玛光机/Sigmakoki/OptoSigma的HDS-YAW系列/高耐久型自动转动平台/高耐久型电动旋转台/微小角度调整自动转动平台/微小角度调整电动旋转台阵容列表如下：HDS-60YAW、HDS-80YAW、HDS-120YAW。其中台面尺寸为60mm、80mm、120mm，驱动机构均为滚珠丝杠+钢带，导轨形式为滚动轴承，并且主要材料为铝合金。
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型号 |
台面尺寸 |
承载能力 |
驱动机构 |
导轨形式 |
主要材料 |
自重 |
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HDS-60YAW |
60mm |
29.4（3.0kgf） |
滚珠丝杠＋钢带 |
滚动轴承 |
铝合金 |
0.5kg |
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HDS-80YAW |
80mm |
58.8（3.0kgf） |
滚珠丝杠＋钢带 |
滚动轴承 |
铝合金 |
0.9kg |
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HDS-120YAW |
120mm |
98（10kgf） |
滚珠丝杠＋钢带 |
滚动轴承 |
铝合金 |
1.4kg |
转动范围：
图1：HDS-YAW系列/高耐久型自动转动平台/高耐久型电动旋转台/微小角度调整自动转动平台/微小角度调整电动旋转台转动范围
请水平设置使用HDS系列。上下倒置或侧面安装时，难以保证样本上所示技术指标。如希望非常规使用的话，欢迎来信咨询。
图2：HDS-YAW系列/高耐久型自动转动平台/高耐久型电动旋转台/微小角度调整自动转动平台/微小角度调整电动旋转台
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型号 |
HDS-60YAW |
HDS-80YAW |
HDS-120YAW |
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机械技术指标 |
转动范围 |
±5° |
±5° |
±6° |
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台面尺寸〔mm〕 |
φ60 |
φ80 |
φ120 |
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驱动机构 |
滚珠丝杠＋钢带 |
滚珠丝杠＋钢带 |
滚珠丝杠＋钢带 |
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导轨形式 |
滚动轴承 |
滚动轴承 |
十字交叉滚柱 |
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主要材料 |
铝合金 |
铝合金 |
铝合金 |
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表面处理 |
黑色氧化 |
黑色氧化 |
黑色氧化 |
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自重〔kg〕 |
0.5 |
0.9 |
1.4 |
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精度技术指标 |
分辨率 |
（整步）〔°/脉冲〕 |
≒0.0053 |
≒0.0038 |
≒0.0022 |
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（半步）〔°/脉冲〕 |
≒0.0027 |
≒0.0019 |
≒0.0011 |
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最大速度〔°/sec〕 |
60 |
60 |
60 |
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定位精度〔°〕 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
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重复定位精度〔°〕 |
0.003 |
0.003 |
0.003 |
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承载能力〔N〕 |
29.4（3.0kgf） |
58.8（3.0kgf） |
98（10kgf） |
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扭矩刚度〔″/N·cm〕 |
1 |
0.2 |
0.1 |
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空行程〔°〕 |
0.003 |
0.003 |
0.003 |
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传动副间隙〔°〕 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
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平行度〔μm〕 |
50 |
50 |
50 |
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同心度〔μm〕 |
10 |
10 |
10 |
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台面跳动量〔mm〕 |
0.01 |
0.01 |
0.01 |
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传感器 |
传感器型号 |
微型光电传感器：GP1S097HCZ（夏普（株）） |
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极限位置传感器 |
有（常闭） |
有（常闭） |
有（常闭） |
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原点传感器 |
有（常开） |
有（常开） |
有（常开） |
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近接原点传感器 |
无 |
无 |
无 |
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电机／传感器技术指标 |
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电机 |
类型 |
5相步进电机，0.75A/相（多摩川精机（株）） |
5相步进电机，0.75A/相（ORIENTAL MOTOR（株）） |
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型号 |
TS3664N4E10（□24mm） |
PK523HPB-C12（□28mm） |
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步距角 |
0.72° |
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传感器 |
电源电压 |
DC5〜24V±10% |
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消耗电流 |
60mA以下（单个传感器20mA以下） |
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输出端电气特性 |
NPN集电极开路输出 DC30V以下50mA以下 |
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信号的含义 |
遮光时：输出晶体管OFF（截止）：极限位置传感器 遮光时：输出晶体管ON（导通）：原点传感器 |
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推荐选用的驱动器／控制器型号 |
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电器系统 |
驱动器 |
SG-5M，SG-5MA，MC-S0514ZU，SG-514MSC，MC-7514PCL |
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控制器 |
GSC-01，GIP-101，GSC-02，SHOT-702，HSC-103，SHOT-302GS，SHOT-304GS，HIT-M·HIT-S，PGC-04-U |
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