作者： 时间：2023-07-20
电子显微镜Electronic Microscopes简称电镜，用高能电子束以非常精细的尺度研究物体，已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。为确保电子显微镜超高质量成像，实现电子显微镜隔振，电子显微镜防震台是必不可少的。传统的隔振方法主要是建造专门的隔离地板，用特殊的混凝土块改变地基，用混凝土块进行被动减震。这种方法的缺点相当明显，不可能改变工具的位置、机器停机时间长、没有灵活性、没有可配置性、价格昂贵。
K&S ArisMD减震台相比于传统的隔振方法，具有设计精致、位置灵活、安装简单且成本低、性能高、可根据环境条件进行调整的特点。
K&S主动隔振台在电子显微镜隔振的实例——蔡司电子显微镜
K&S隔振台应用实例除了蔡司电子显微镜外，还有Tescan SEM、JEOL SEM、Hitachi SEM。
K&S主动隔振台的主要特点：
1.优势突出
-6个自由度
-有源增益从0.5Hz开始
-解耦架构（正在申请专利）
-可变阻尼（正在申请专利）
-内置人工智能功能
2.体积小，设计优雅，重量轻。
3.没有使用压电元件
K&S防震台系统使用的传感器和电机的使用寿命实际上是无限的，显著降低使用寿命成本
4.安装方便——无需吊装工具和重型结构。
5.能力
-执行机构行程更高
-可通过软件活动带宽进行调整
-远程控制
6.内置实时诊断工具
-频谱分析仪
-示波器
7.高度可调谐的隔振控制-系统可以配置为适应具有挑战性的环境条件
8.由于内部架构灵活，可定制
K&S ArisMD主动振动隔离系统与竞争对手基于压电元件的比较：
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特点 |
空气基础隔振系统 |
压电式隔振系统 |
K&S ArisMD |
评论总结 |
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负载能力 |
使用适当尺寸的隔离器，实际上是无限的负载 |
每个隔离器最高可达2000公斤 每个系统不超过4个隔离器，总重量不超过8000公斤 |
每个模块高达1000公斤 由于每个系统的模块数量不受限制，实际上是无限的负载 |
根据所需负载和尺寸计算的模块数量 |
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结构 |
集中控制：中央控制器、 每个系统最多有4个隔离器以星形配置连接 |
集中控制：中央控制器 每个系统最多连接4台隔离器，采用星形配置 |
分布式控制：独立的模块 每个系统的模块数量不限 |
灵活配置： -节约成本 -增加系统的可靠性 |
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性能 |
从2赫兹起振动减少2倍，在地板振动小于45微米有效值时 (所有频率的组合) 20赫兹以上的良好隔离效果 |
从2赫兹及以上的振动减少10倍、地面振动小于9μm RMS时 |
从2赫兹及以上的振动减少10倍、在地板振动小于45μm RMS时 (所有频率的组合) |
ArisMD -无空气（避免所有空气有关的问题） -可安装在框架上 -适当的阻尼 -体积明显缩小 |
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电机的行程，用于补偿地板位移 |
空气地板控制的执行器或线性马达的行程几乎是无限的200 μm (p-p) |
压电式执行器 行程限制为<12 μm (p-p)，低于10 Hz |
直线电机的 行程几乎没有限制 200 μm (p-p) |
基于空气的系统有所有与高空气流量有关的问题。需要重型线性马达来控制位置。压电系统在高地板位移输入时将有零的隔离（在真实的FAB地板上随机/定期发生）。 |
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尺寸和安装 |
隔离器的尺寸与所需负载成正比。高度通常>300毫米 只能安装在平台的顶部 |
每个隔离器是 300 x 320 x 275 mm 只能安装在平台的顶部下面 |
每个模块是 270 x 230 x 75 mm 可以放置在平台的顶部和底部 |
高度是非常重要的 - 影响工具的CoG高度（对倾斜和滚动更敏感）。 -工具或房间天花板的高度可能是一个限制 -在操作和维护方面增加了人体工程学的困难 |
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作为第二级隔离系统使用 |
不能与内部隔离系统一起严重使用 |
需要额外的重型平台来支撑工具 需要将工具提升到离地面约0.5米的高度，以放置4个隔离器和平台 |
不需要平台 模块的设计适合于地板和工具的框架之间，由于工具本身的调平脚，所以存在空间。 不需要提升! |
ArisMD -节约成本 -极大地减少了安装的复杂性 -不增加高度 |
