作者：韦bq 时间：2024-11-26
日本SigmaKoki在光学元件方面具备较强的能力，其镜片损伤阈值高，适用于各个领域，产品种类多样，其在美国设有子公司OptoSigma。西格玛光机主要优势的反射镜有超级反射镜(反射率99.999%)，低散乱平面基板(Ra<0.2nm)和面型精度保证反射镜(面型精度l/10)等。此文总结了镀膜反射镜中金属反射镜(金膜，铝膜和银膜反射镜)，宽带多层电介质膜反射镜，激光用多层电介质膜反射镜，飞秒激光用反射镜，强激光用多层电介质膜反射镜以及超级反射镜的选择指南和用途，方便用户快速选择合适的产品。
日本SigmaKoki西格玛光机有代表性反射镜镀膜的反射率特性比较：
由上图中的反射率曲线图可知，镀膜反射镜金属反射镜中铝膜反射镜的反射率不高，最高时在紫外(300nm)和可见光(500-600nm)时达到90%，所以紫外波段容易选择铝材料，还有紫外增强铝这种紫外高反射率的特殊膜层。而金膜和银膜反射镜在可见光到近红外波段反射率达到98%左右，可用于需要宽带反射和高耐用性的应用，如激光加工、光学成像和照明系统。另外，金膜反射镜在近红外波段的透过率更高，当在800-1200nm波段时容易选择金膜，而银膜反射镜在可见光400-800nm的反射率更高，可达到98%以上，需要可见光波段反射率高的可选择银膜。
多层电介质膜的设计自由度很大，体现在波段范围、反射率，还有一些看不见的参数——如表面平整度，直接影响激光损伤阈值，电介质膜反射镜有可见光波段反射镜和400-1200nm超带宽多层电介质膜反射镜，反射率高达99%，可用于需要高反射率和精确波长控制的应用，如高功率激光器、光谱仪和光通信系统。另外，带宽多层电介质膜反射镜和激光用多层电介质膜反射镜在可见光范围内反射率高达99%，膜没有光的吸收，激光损伤阈值高。
西格玛光机Sigma反射镜选择指南：
光学实验用反射镜是在高精度抛光的玻璃基板上，用真空镀膜装置镀上金属或电介质膜制成的。根据镀膜的不同可以得到具有各种反射率特征的光学特性，根据光学特性选择符合技术指标要求的OptoSigma反射镜，如下表：
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镀膜类型 |
符合产品 |
特征 |
用途 |
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金属膜 |
铝膜（TFA） 金膜（TFG/TFGS） 银膜（TFAG） |
经济实惠。 可以在宽波长谱区内使用。可以在所有入射角度下使用。 膜有吸收，反射率稍微降低。容易受损（无保护膜，金膜反射镜） |
简单的光学系统 使用低输出激光的光学系统 白光照明系统或成像系统 红外光学系统（金膜反射镜） |
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宽带多层电介质膜 |
超宽带谱区（TFMS） 宽带谱区（TFM2） |
反射率高可以在宽波长谱区使用。 膜没有光的吸收。 膜较硬不易受损。 |
精密光学系统（微弱光或低损失的光学系统） 1W以内的激光光学系统 使用多波长激光的光学系统 |
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激光用多层电介质膜 |
激光用（TFM） 强激光用（TFMHP） |
反射率非常高，损失很少。 膜没有光的吸收，激光损伤阈值高。 不易受损。 波长范围窄，入射角为45°时使用。 |
使用激光的光学系统 强激光光学系统（TFMHP） |
左图：金属膜反射镜 中图：带宽多层电介质膜反射镜 右图：激光用多层电介质膜反射镜
多层电介质反射膜的反射镜也可以具备除反射率特性之外的各种特征。
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镀膜类型 |
符合产品 |
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超级反射镜(TFSM) |
它是一面镜子，它具有低散射损耗和99.999％的高反射率。 |
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飞秒激光用反射镜 飞秒低分散反射镜(FLM/FLMHP) 飞秒负分散反射镜(GFM/GCM) |
飞秒激光可是使用于兼具宽带谱区，低分散，高级光损伤阈值特征的多层电介质膜反射镜。 |
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强激光用多层电介质膜反射镜(TFMHP) |
多层膜特殊的构造，可以承受高能量的脉冲激光。 |
左图：超级反射镜 中图：飞秒激光用反射镜 右图：强激光用多层电介质膜反射镜
