作者：吴wq 时间：2025-03-19
西格玛光机的压电陶瓷精密平台SFS-H系列采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度，高刚性，高速度和理论分辨率达到1nm的纳米压电平台。拥有开环闭环两种控制模式。闭环模式采用数字位移传感器，显示分辨率为10nm。OptoSigma的纳米位移台SFS-H系列使用FINE系列控制器，可实现高速定位，能满足需要高精度测量场景的客户的需求。
SFS-H系列参数整理
西格玛光机SFS-H系列压电陶瓷精密平台，理论分辨率能达到1nm。下面将SIGMAKOKI SFS-H系列纳米位移台的参数进行整理，方便客户根据自己的要求对OptoSigma纳米压电平台SFS-H系列型号进行选型。
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SFS-H系列压电陶瓷精密平台主要规格参数表① |
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型号 |
SFS-H40X（CL） |
SFS-H40Z（CL） |
SFS-H60X（CL） |
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行程（开环控制） |
90um±15% |
100um±15% |
100um±15% |
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台面尺寸（mm） |
40×40 |
40×40 |
60×60 |
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自重（kg） |
0.28 |
0.28 |
0.4 |
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理论分辨率（开环） |
1nm |
1nm |
1nm |
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分辨率（闭环） |
10nm |
10nm |
10nm |
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直线性（%） |
＜0.3 |
＜0.3 |
＜0.3 |
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垂直度（um） |
1 |
1 |
1 |
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重复定位精度（um） |
＜0.1 |
＜0.1 |
＜0.1 |
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承载能力（N） |
9.8（1.0kgf） |
6.7（1.0kgf） |
19.6（1.0kgf） |
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轴向 |
X |
Z |
X |
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SFS-H系列压电陶瓷精密平台主要规格参数表① |
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型号 |
SFS-H60XY（CL） |
SFS-H60Z（CL） |
SFS-H60XYZ（CL） |
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行程（开环控制） |
100um±15% |
100um±15% |
100um±15% |
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台面尺寸（mm） |
60×60 |
60×60 |
60×60 |
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自重（kg） |
0.43 |
0.33 |
0.63 |
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理论分辨率（开环） |
1nm |
1nm |
1nm |
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分辨率（闭环） |
10nm |
10nm |
10nm |
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直线性（%） |
＜0.3 |
＜0.3 |
＜0.5 |
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垂直度（um） |
1 |
1 |
1 |
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重复定位精度（um） |
＜0.1 |
＜0.1 |
＜0.15 |
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承载能力（N） |
14.7（1.0kgf） |
9.8（1.0kgf） |
9.8（1.0kgf） |
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轴向 |
XY |
Z |
XYZ |
表中可以直观地看出：SIGMAKOKI SFS-H系列精密陶瓷压电平台的命名比较直观。SFS-H为精密陶瓷压电平台的型号名称。数字为压电陶瓷精密平台的尺寸，最后一个字母代表了纳米压电平台对应的轴向。
OptoSigma的SFS-H系列纳米位移台一共有6种型号，分为台面尺寸40×40mm的SFS-H40X（CL）和SFS-H40Z（CL）,以及台面尺寸60×60mm的SFS-H60X（CL）, SFS-H60XY（CL）, SFS-H60Z（CL）和SFS-H60XYZ（CL）4种。轴向一共有X，Z，XY，XYZ四种可选。
SFS-H40X（CL）和SFS-H40Z（CL）的台面尺寸比较小，自重相对轻一些，所用于固定的螺栓孔径为M3，固定螺栓数为2。其中SFS-H40X（CL）的行程比较短，略小于其他5种SFS-H系列压电陶瓷精密平台。SFS-H60X（CL）, SFS-H60XY（CL）, SFS-H60Z（CL）和SFS-H60XYZ（CL）的平台尺寸较大， 固定用螺栓孔径为M4，固定螺栓数为4。
下面六张图片为OptoSigmaSFS-H40X（CL）,SFS-H40Z（CL）,SFS-H60X（CL）,SFS-H60XY（CL）, SFS-H60Z（CL）和SFS-H60XYZ（CL）这六款精密陶瓷压电平台的三视图，此处提供给客户，便于客户对SIGMAKOKI的SFS-H系列压电陶瓷精密平台的安装进行参考。
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