作者：吴wq 时间：2025-09-01
高速纳米压电偏转台在半导体制造和光学的高精度应用中有着广泛的应用。法国PIEZOCONCEPT快速压电偏摆台TT系列的角度的重复定位精度为0.01uRad，谐振频率可达到2000Hz。高速的谐振频率使得TT系列压电镜片偏摆台成为实验室和工业中的粒子跟踪、光学镊子、束稳定和扫描显微镜等应用中的合适产品。
法国PIEZOCONCEPT的TT系列高速纳米压电偏转台一共有单旋转轴向TT1.5和TT1.10两款，二旋转轴向TT2.5和TT2.10两款。TT系列快速压电偏摆台的行程分为5 mRad和10 mRad，轴向控制数量相同的型号外形规格没有很大的差别。TT1.5，TT1.10，TT2.5，TT2.10这四款压电快反镜的底座的规格是相同的。PIEZOCONCEPT提供的公制面包板适配器可以将TT1.5，TT1.10，TT2.5，TT2.10这四款压电镜片偏摆台顺利的安装在标准的M6通孔光学平台上。
TT系列压电快反镜参数如下：
TT1.5
TT1.10
TT2.5
TT2.10
运动范围（mRad）
5
10
5
10
分辨率（uRad）
0.005
0.01
0.005
0.01
底噪（uRad/sqrt（Hz））
0.0005
0.001
0.0005
0.001
线性度（典型值）
0.02%
谐振频率（Hz）
2000
1200
4000/2000
2200/1200
传感器类型
Silicon HR Sensor
控制器
标准/高速控制器
水平最大负载（kg）
0.2
垂直最大负载（kg）
0.2
TT系列高速纳米压电偏转台的谐振频率相对较高，能达到kHz级别，因此PIEZOCONCEPT还为TT系列快速压电偏摆台提供高速控制器进行操控。TT系列压电快反镜的控制器可通过USB端口和模拟电压信号进行控制。二者可以快速切换。由于TT系列压电镜片偏摆台的标准负载相对较低，一般为小型的镜组或物体。因此PIEZOCONCEPT允许用户进行定制升级来提高载重能力。
