作者：李zx 时间：2026-04-02
Optosigma西格玛光机刚性和热平衡特性都很好的高稳镜架MHX系列，又增加了适用于真空环境的新款式VMHX系列真空用高稳定不锈钢镜架，VMHX系列的真空高稳镜架与MHX系列高稳镜架的参数完全相同，此前使用过MHX高稳定不锈钢镜架的客户如果有真空使用需求的客户可以直接进行采购来真空环境使用。VMHX系列真空兼容不锈钢光学调整架是适用于真空腔内使用的真空用镜架，低释气不锈钢材质的真空用不锈钢高稳镜架系列。真空高稳镜架具有优秀的稳定性，薄型空心框架结构使VMHX系列兼容真空的光学调整架能够更快地达到热平衡，能获得极大的稳定性。出厂时，真空用高稳定不锈钢镜架对产品做磁场检测后做真空包装，保证了超高洁净度。
VMHX系列真空高稳镜架特点及注意事项：
-对产品做磁场检测后做真空包装，保证了超高洁净度。真空高稳镜架采用真空包装出货，保证了产品以及附属件的洁净。
-滑动部的润滑油脂采用了低释气的，真空用油脂BARRIERTA SUPER IS/V。
-真空用不锈钢高稳镜架粘接部采用了真空用低释气的粘接剂。
-镜片的固定，采用了3点支撑的，并使用螺钉调整压力的片簧结构。
-真空兼容不锈钢光学调整架固定镜片的片簧的压力调整用螺钉的扭矩建议值为3〜5N·cm。
-VMHX-*F-R系列兼容真空的光学调整架，其镜片从后侧装入，镜片的反射面将被定位在特定位置。因此，不同厚度的反射镜的反射面位置，都能和立柱的安装中心位置保持一致。(VMHX-*F/A系列镜架，是从镜架前侧装入的。)
-VMHX-*F/F-R系列兼容真空的光学调整架有3个调整旋钮，既可调整俯仰・方位的角度，还可调节镜面的前后位置。（MHX-***A系列只有2个调整旋钮，只能调整俯仰和方位。）
-镜架上备有使用粘接法固定镜片的工艺孔，另外还备有防止镜架转动的定位销孔。
需要注意的是，在使用VMHX系列真空用不锈钢高稳镜架时进行调整的话需要使用六角扳手调整俯仰和方位等。仅用手是无法拧动的。另备有真空用支柱（VPST）以及立柱（VRO），可使用附属的螺栓实现连接。请在超净环境下开封。请不要用手直接触摸真空兼容不锈钢光学调整架。VMHX系列型号产品不附带内六角扳手，即不是附属品。请注意，MHX系列镜架专用的扳手（MHX-K-M6）以及锁紧板（MHX-L-M*）不是真空环境使用的技术指标。用于搭建迈克尔逊干涉仪等，需要半透半反的十字交叉光束的光学系统时，其有效口径会变小。
VMHX系列真空用镜架真空参考数据(到达真空度・释气量)：
西格玛光机Optosigma对组装好的成品，实施过在真空腔内的释气评估。下面的例子，是兼容真空的光学调整架（VMHX-25.4F-R）的释气量测定结果（实例）。
VMHX系列真空用高稳定不锈钢镜架清洗包装的工艺：
超高真空环境下，金属表面吸附的气体就成了问题。不锈钢或铝合金加工后，其表面很快会自动形成一层氧化膜，阻止表面的腐蚀。但，刚加工后的表面上的油或水份等会妨碍形成完好的氧化膜，增加表面出气的可能性。所以，Optosigma西格玛光机此系列产品，从刚加工的零件开始，就严格及时清洗，制造工艺概要如下图所示。
VMHX系列真空用镜架型号技术规格：
型号
适用外径
ΦA[mm]
适用厚度
[mm]
有效孔径
[mm]
可调轴数
镜片装入方向
调整范围
调整范围
自重
[kg]
俯仰[°]
方位[°]
俯仰[°/周]
方位[°/周]
MHX-12.7A
Φ12.7
2~6
Φ11.5
2
从前侧装入
±3°
±3°
0.8
0.8
0.036
MHX-12.7F
Φ12.7
2~6
Φ11.5
3
从前侧装入
±3°
±3°
0.8
0.8
0.037
MHX-12.7F-R
Φ12.7
2~6
Φ11.5
3
从后侧装入
±3°
±3°
0.8
0.8
0.037
MHX-25.4A
Φ25.4
3~7
Φ23
2
从前侧装入
±3°
±3°
0.41
0.41
0.16
MHX-25.4F
Φ25.4
3~7
Φ23
3
从前侧装入
±3°
±3°
0.41
0.41
0.17
MHX-25.4F-R
Φ25.4
3~8
Φ23
3
从后侧装入
±3°
±3°
0.41
0.41
0.17
MHX-30A
Φ30
3~7
Φ27
2
从前侧装入
±3°
±3°
0.37
0.37
0.19
MHX-30F
Φ30
3~7
Φ27
3
从前侧装入
±3°
±3°
0.37
0.37
0.19
MHX-30F-R
Φ30
3~8
Φ27
3
从后侧装入
±3°
±3°
0.37
0.37
0.19
MHX-50.8A
Φ50.8
5~13
Φ48
2
从前侧装入
±3°
±3°
0.26
0.26
0.35
MHX-50.8F
Φ50.8
5~13
Φ48
3
从前侧装入
±3°
±3°
0.26
0.26
0.35
MHX-101.6A
Φ101.6
10~20
Φ96
2
从前侧装入
±2°
±2°
0.13
0.13
1.13
MHX-101.6F
Φ101.6
10~20
Φ96
3
从前侧装入
±2°
±2°
0.13
0.13
1.13
