作者：沈wg 时间：2026-05-21
日本Katsura提供全系列的位移倾斜传感器，核心产品包括高精度三轴倾角传感器与高速五次元/六次元传感器，实现倾斜、位移、位置及旋转的多自由度同步精密测定。所有光学倾斜传感器均采用非接触式光学测量技术，三轴变位倾斜传感器具备高达10000次/秒的采样率。同时产品具备极高的重复性和线性度，如5次元传感器的倾斜重复性低至0.02分，变位重复性低至0.2μm，位置重复性低至0.5μm，6次元传感器的旋转重复性低至0.2分，满足高端制造的高精度检测需求。
1. 3轴变位倾斜传感器系列：SH-3100/SH-3200/VH-1100/HT-8490N/VH-1200/WH-2200
3轴变位倾斜传感器系列是日本Katsura的技术创新产品，融合了倾斜测量与变位测量功能，能够同时测定被测物的倾斜（θX,θY）和变位（Z）参数，实现“一机多用”，位移倾斜传感器大幅提升了测量效率和系统集成度。
（1）多参数同步测定：三轴倾角传感器突破传统单一参数测量的局限，同时测定倾斜和变位两个核心参数，无需额外配备变位传感器，简化了测量系统，降低了设备成本。
（2）先进技术融合：光学倾斜传感器部分型号（如SH系列）采用三角测量与自动准直技术相结合的方案，兼顾了倾斜测量的高精度和变位测量的稳定性，测量性能优异。
（3）高速测量性能：光学倾斜传感器多数型号的采样率达到10,000次/秒，能够快速捕捉被测物的倾斜和变位动态变化，适用于高速检测场景。
-SH-3100/SH-3200（一体型三轴倾角传感器）
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型号 |
SH-3100 |
SH-3200 |
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被测物 |
光学平面（推荐反射率80%以上） |
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工作距离 |
50±0.5mm |
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测定项目 |
倾斜(θX,θY) |
变位(Z) |
倾斜(θX,θY) |
变位(Z) |
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测定范围 |
±60分 |
±1.5mm |
±90分 |
±5mm |
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重复性 |
0.009分 |
0.15μm |
0.009分 |
0.5μm |
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线性度(对比满量程) |
±0.2% |
±0.075% |
±0.2% |
±0.1% |
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光源(波长/光斑直径) |
660±10nm/Φ0.2mm以下 |
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输出更新率 |
1000次/秒 |
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外形尺寸(去除突起部） |
W100×D80×H35mm |
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-VH-1100/HT-8490N
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型号 |
VH-1100 |
HT-8490N |
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被测物 |
光学平面（推荐反射率80%以上） |
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工作距离 |
60±0.5mm |
90±0.5mm |
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测定项目 |
倾斜(θX,θY) |
变位(Z) |
倾斜(θX,θY) |
变位(Z) |
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测定范围 |
±60分 |
±1.5mm |
±90分 |
±4mm |
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采样 |
10000次/秒 |
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外形尺寸(去除突起部） |
W125×D150×H56mm |
W155×D180×H56mm |
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-VH-1200（狭角型三轴倾角传感器）
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型号 |
VH-1200 |
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被测物 |
光学平面（推荐反射率80%以上） |
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工作距离 |
90±0.5mm |
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测定项目 |
倾斜(θX,θY) |
变位(Z) |
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测定范围 |
±60分 |
±1.5mm |
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光源(波长/光斑直径) |
660±10nm/Φ0.3mm |
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采样 |
10000次/秒 |
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外形尺寸(去除突起部) |
W110×D150×H56mm |
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-WH-2200（广角型三轴变位倾斜传感器）
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型号 |
WH-2200 |
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被测物 |
光学平面（推荐反射率80%以上） |
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工作距离 |
50±0.5mm |
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测定项目 |
倾斜(θX,θY) |
变位(Z) |
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测定范围 |
±6度 |
±1mm |
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光源(波长/光斑直径) |
660±10nm/Φ0.2mm以下 |
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采样 |
10000次/秒 |
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外形尺寸(去除突起部) |
W185×D230×H56mm |
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3 轴变位倾斜传感器系列产品适用于需要同时测量倾斜和变位的高精度检测场景：
精密机械制造：如机床主轴、机器人手臂、精密导轨的形位公差检测，同时测量倾斜和变位，确保设备运动精度。
电子设备核心部件检测：如半导体芯片、显示屏模组的安装倾斜度和变位检测，光学倾斜传感器保障产品性能。
汽车核心部件制造：如发动机缸体、变速箱壳体的加工精度检测，同时测量倾斜和变位，提升部件装配精度。
2. 多轴传感器系列：高速5次元（MF-5550-0002/MF-5570-0002）/高速6次元（MS-2000）
多轴传感器系列是日本Katsura的高端旗舰产品，涵盖5次元和6次元测量型号，能够实现倾斜、变位、位置、旋转等多参数的集成测定，代表了非接触光学测量技术的最高水平，为复杂构件的全参数检测提供了一站式解决方案。
（1）多参数集成测定：5次元传感器可同时测定倾斜、变位、位置三大类参数，6次元传感器在此基础上增加了旋转参数的测量，无需多台设备组合，即可完成复杂构件的全维度测量，大幅提升了测量效率和数据一致性。
（2）卓越的测量精度：位移倾斜传感器系列产品具备极高的重复性和线性度，如5次元传感器的倾斜重复性低至0.02分，变位重复性低至0.2μm，位置重复性低至0.5μm，6次元传感器的旋转重复性低至0.2分，满足高端制造的高精度检测需求。
（3）高速测量性能：高速五次元/六次元传感器采样率达到10000次/秒，能够快速捕捉多参数的动态变化，适用于高速生产线上的复杂构件检测或动态过程监控。
（4）专用目标体设计：高速五次元/六次元传感器配备专用目标体（如FH-2304反射镜），确保传感器仅对目标体的反射光感光，避免外部光线干扰，提升测量稳定性。
-高速5次元传感器：MF-5550-0002/MF-5570-0002
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型号 |
MF-5550-0002 |
MF-5570-0002 |
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被测物 |
Φ2.9mm光学平面（目标体反射镜FH-2304*） |
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工作距离 |
80±0.5mm |
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测定项目 |
倾斜 |
变位 |
位置 |
倾斜 |
变位 |
位置 |
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测定范围 |
±60分 |
±1mm |
±0.5mm |
±60分 |
±1mm |
±0.7mm |
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重复性 |
0.02分 |
0.2μm |
0.5μm |
0.02分 |
0.2μm |
0.5μm |
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线性度(对比满量程) |
±0.17% |
±0.4% |
±0.2% |
±0.17% |
±0.4% |
±0.2% |
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光源(波长/光斑直径) |
658±10nm/Φ0.3mm（变位,倾斜） 658±10nm/Φ5mm（位置） |
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采样 |
10000次/秒 |
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外形尺寸(去除突起部) |
W185×D220×H56mm |
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*：目标体反射镜FH-2304的技术参数：反射率80%以上、尺寸Φ2.9mm、厚度0.3mm±0.05mm、平行度30秒以内。为确保测量精度，目标体反射镜周边 φ7mm 的范围不能有反射，避免干扰测量信号。
光源分为变位 / 倾斜测量和位置测量两组，分别采用不同的光斑直径，兼顾了微小区域测量精度和大面积位置测量的稳定性。
-高速6次元传感器：MS-2000
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型号 |
MS-2000 |
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被测物 |
专用目标体 |
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工作距离 |
90±0.5mm |
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测定项目 |
倾斜 |
变位 |
位置 |
旋转 |
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测定范围 |
±60分 |
±1mm |
±0.5mm |
±90分 |
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重复性 |
0.03分 |
1.0μm |
0.5μm |
0.2分 |
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线性度(对比满量程) |
±0.17% |
±0.44% |
±0.6% |
±0.3% |
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光源(波长/光斑直径) |
660±10nm/Φ3mm |
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外形尺寸(去除突起部) |
W250×D150×H58mm |
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左：高速5次元传感器；右：高速6次元传感器
多轴传感器系列产品主要适用于高端制造、航空航天、精密机械等对多参数测量有严苛要求的场景：
航空航天部件制造：如飞机发动机核心部件、航天器结构件的全参数检测，同时测量倾斜、变位、位置、旋转，确保部件符合设计要求。
高端精密机械：如精密仪器、医疗设备的核心构件检测，多参数集成测量提升了检测效率和精度，保障设备运行可靠性。
汽车高端制造：如新能源汽车电池模组、自动驾驶传感器的安装精度检测，同时测量多个参数，确保部件装配一致性。
科研与军工领域：如军工产品、前沿科技研发中的复杂构件测试，为研发提供全面、精准的测量数据支持。
3. 定制化服务：满足客户专属测量需求
Katsura推出了灵活的定制化服务，支持从波长、光斑直径到测量范围、外形结构的全方位定制，即使是1台产品，也能提供专用设计与生产，真正实现“按需定制”。
光源波长定制：支持紫外、蓝、绿、红、红外等各种波长的光源配置，可根据被测物的材质、透光性、反射率等特性，选择最适合的波长，确保测量稳定性和精度。
多波长配置：支持红、绿、蓝三波长LD搭载，实现多波长同轴射出，适用于复杂材质被测物的多维度测量，或需要同时检测不同特性的场景。
光斑直径定制：光斑直径可在Φ0.5~13mm范围内灵活调整，从极细光束（Φ0.5mm）到极粗光束（Φ13mm）均可定制，适配不同尺寸、不同表面状态的被测物。
多点同时测量：支持2点到多点的同时测定，可根据客户需求设计多测量点布局，提升多区域同步检测效率，适用于大面积构件或多部件同时检测的场景。
光束方向定制：支持 2 束光向水平、垂直方向射出，可用于平行度、直角度等特殊参数的测定，满足特定应用场景的测量需求。
外形与结构定制：根据客户的安装空间、集成需求，定制传感器的外形尺寸、安装接口、防护结构等，确保与客户设备的完美适配。
测量参数定制：可根据客户需求调整测量范围、重复性、输出更新率等核心参数，满足特殊精度或速度要求的测量场景。
