作者：黄f 时间：2026-06-03
Mitutoyo三丰FS70系列显微镜是一款带目镜显微镜单元，涵盖FS70Z、FS70L及FS70L4基础型号及其对应的可变角度目镜型号（-TH型）。该系列支持明视场、简易偏振光观察，其中FS70ZD系列为明暗视场显微镜，而FS70Z、FS70L和FS70L4为明视场显微镜，所有型号均为偏振光显微镜。标配10×与20×目镜，镜筒为三目设计，光路分配提供固定式与切换式两种选择，-TH型号更具备0~20°俯角调节功能。核心区分在于激光集成能力：FS70Z与明暗视场显微镜FS70ZD为纯观察显微镜；明视场显微镜FS70L与FS70L4则集成YAG激光接口，分别支持近红外-可见-近紫外（355/532/1064nm）与可见-紫外（266/532nm）波段，并配备专用的NIR/NUV/UV系列激光加工物镜。成像透镜内置1×或1~2×，照明系统标配带孔径光阑的科勒落射照明，转塔可选手动4孔或电动5孔配置。观察用物镜系列包括M Plan Apo、BD Plan Apo及G Plan Apo。镜筒部最大承载质量约14kg（-TH型约13.2kg），本体质量6.6-7.5kg。该系列专为金属表面、半导体、液晶、树脂等样品的精密观察及激光微细加工（如切割、修整、打标）而设计。
Mitutoyo三丰FS70系列显微镜单元特点：
-带目镜观察部的小巧显微镜单元 (适用于金属表面和半导体、液晶、树脂等各种观察对象。)
-适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工 (半导体电路的切割、修整、修复、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复等。)
-适用于红外光学系统
-推出了适用于明视场、暗视场、简易偏振光的机型
-落射照明光学系统标配带孔径光阑科勒照明
-通过采用内部转塔和长工作距离物镜，确保了在显微镜下的高操作性
Mitutoyo三丰FS70系列显微镜单元参数表：
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标准目镜规格型号 |
FS70Z |
- |
FS70ZD |
FS70L |
FS70L4 |
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可变角度目镜规格 |
- |
FS70Z-TH |
FS70ZD-TH |
FS70L-TH |
FS70L4-TH |
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观察成像 |
明视场 |
● |
● |
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● |
● |
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明暗视场 |
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● |
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简易偏振光 |
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● |
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目镜(必选件) |
10×(视场数24)、20×(视场数12) |
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镜筒 |
三目镜筒 |
视场数 |
24 |
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可调瞳距 |
西登托夫型，调节范围：51～76mm |
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俯角 |
0～20°(仅限-TH)、眼点移动量约114mm |
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光路 |
固定式 |
切换式 |
固定式 |
切换式 |
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相机接口卡口部 |
使用适配器B进行齐焦调节 |
齐焦调节 |
带绿色滤光片切换，齐焦调节 |
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防护滤光片 |
－ |
内置激光滤光片 |
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成像(镜筒)透镜 |
内置1～2× |
内置1× |
内置1× |
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激光接口 |
光学系统 |
- |
倍率：1× |
倍率：1× |
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卡口部分 |
YAG激光振荡器 |
YAG激光振荡器 |
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对焦部分 |
粗调 |
单轴粗微调(粗调：3.8mm/圈，微调：0.1mm/圈) |
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移动量 |
50mm、左右手柄 |
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落射照明光学系统 |
明视场落射照明(柯勒照明、带孔径光阑) |
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照明装置(选件) |
光纤照明装置(LED)、光纤照明装置(150W)无级调节，光导长度：1.5米 |
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转塔(必选件) |
手动4孔/电动5孔 |
手动4孔/电动4孔 |
手动4孔/电动5孔 |
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物镜(必选件) |
观察用 |
MPlanApo等 |
BD Plan Apo |
G Plan Apo，M Plan Apo等 |
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激光加工用 |
- |
NIR、NUV系列 |
UV系列 |
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镜筒部最大承载质量 |
约14kg(-TH：约13.2kg) |
约13.9kg(-TH：约13.1kg) |
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外观尺寸 |
下图所示 |
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本体质量 |
6.6kg(-TH：7.4kg) |
6.7kg(-TH：7.5kg) |
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这四种显微镜单元均支持明视场和简易偏振光观察。主要区别在于，FS70ZD系列为明暗视场显微镜，而FS70Z、FS70L和FS70L4为明视场显微镜，所有型号均为偏振光显微镜。标配10×和20×目镜。-TH型号为可变角度目镜，具有0~20°的俯角调节功能。在镜筒光路分配上，FS70Z为固定式（目镜与相机各50%），FS70L为固定式，而FS70ZD和FS70L4则为可切换式（可在100%目镜或100%相机接口之间切换）。相机接口方面，仅偏振光显微镜FS70ZD系列明确标明使用C-Mount卡口（需适配器），并进行齐焦调节。
成像与激光配置是型号间区分的关键。FS70Z和FS70ZD无激光接口，为纯观察显微镜。FS70L和FS70L4集成激光接口，支持YAG激光振荡器，用于激光加工。其中，FS70L内置1×成像透镜（近红外-可见-近紫外校正），支持355/532/1064nm波长；FS70L4内置1×成像透镜（可见、紫外校正），支持266/532nm波长。两者对应的激光加工物镜系列也不同（FS70L为NIR系列，FS70L4为NUV/UV系列）。照明装置均为选配的落射照明系统。转塔方面，FS70Z和FS70L4可选调心齐焦手动4孔或电动5孔转塔；FS70ZD为手动4孔或电动4孔；FS70L为手动4孔或电动4孔。观察用物镜系列也不同：FS70Z使用M Plan Apo系列；FS70ZD使用BD Plan Apo；FS70L和FS70L4则使用G Plan Apo或M Plan Apo系列。
镜筒部最大承载质量略有不同，标准目镜型号约为13.9-14kg，其对应的-TH型号约为13.1-13.2kg。本体质量则相反，标准目镜型号为6.6-6.7kg，而因结构变化，-TH型号稍重，为7.4-7.5kg。FS70Z为基础明场/偏振光观察型号；FS70ZD在其基础上增加了暗场观察能力；FS70L和FS70L4则是功能更强的激光加工复合显微镜，集成了激光接口，两者主要区别在于支持的激光波长、校正光谱及专用物镜系列。所有型号均可通过选择-TH版本获得可调俯角的目镜。
Mitutoyo FS70外形尺寸图：
