LAYERTEC 193nm镀膜，ArF准分子反射镜氟化物镀膜元件参数、损伤阈值与光谱性能介绍

LAYERTEC面向193nm ArF准分子激光的全套氟化镀膜光学元件，涵盖谐振高反镜、输出耦合镜、铝膜反射镜，准分子激光镜基底选用氟化钙与熔融石英，全系氟化物膜(Fluoride Coating)系统兼具高反射与高损伤阈值。以下介绍各类膜层反射光谱、严格公差标准，单波长增透膜反射损耗极低，增强铝镜具备优异偏振反射性能。附表1列出不同193nm反射镜膜型、基底的激光损伤阈值与百万至数十亿次长寿命测试数据，经德国多家权威激光实验室标定。LAYERTEC支持定制ArF准分子反射镜、分光镜、可调衰减片，同款镀膜工艺可用于200nm钛宝石四倍频光学元件，整体适配深紫外光刻、精密微加工等高功率ArF激光场景，产品稳定性与耐辐照性能突出。

LAYERTEC准分子激光镜/193nm反射镜：

 图1：193nm波长下反射镜的反射率和透射率光谱

a)谐振腔镜(AOI=0°)  b)转向镜(AOI=45°，非偏振光)

- 准分子激光镜全氟化物膜(Fluoride Coating)系统可确保高反射率和高损伤阈值

- 由CaF₂（193nm准分子级，HELLMA Materials GmbH）和熔融石英制成的高品质镜片基板、窗口和透镜

- 可根据客户需求，定制分光镜、可变衰减片等特定用途的光学元件

 

ArF准分子反射镜/输出耦合镜Output Couplers：

图2：R(0°，193nm)=50%±3%和R(0°，193nm)=25%±2%(仅镀膜面)的输出耦合镜的反射率光谱

PR镀膜的公差:

- ±2% for R=10%…30%

- ±3% for R=30%…75%

- ±2% for R=75%…90%

- ±1% for R>90%

单波长AR镀膜的残余反射率值如下：

- R<0.25% at AOI=0°和

- R<0.6% at AOI=45°(非偏振光)

宽带和多波长增透镀膜

铝膜反射镜Aluminum Mirrors：

图3：铝反射镜的反射率光谱

a)针对193nm波长优化的带保护层铝镜  b)针对193nm波长优化的增强型铝镜，AOI=45°

增强型铝反射镜在不同偏振下的反射率：Rp>93%，Rs>98%，Ru>96%

标准ArF准分子反射镜/193nm反射镜的技术参数：

表1：标准ArF激光器组件的技术参数

波长范围在200nm左右的Ti:Sapphire激光器四倍频反射镜和分光镜，采用专为ArF激光器镀膜技术开发的镀膜工艺制造。