作者：包cx 时间：2026-08-12
Acton Optics是全球最早专业从事紫外及真空紫外光学镀膜的公司之一，其准分子激光反射镜采用多层介质镀膜，专为高能激光设计，在产生优异反射率的同时具备高损伤阈值。VUV/UV反射镜覆盖126nm至353nm的多个波长，包括126nm准分子反射镜，157nm反射镜和193nm激光反射镜等常用准分子激光反射镜。
193nm是准分子激光器的重要输出波长之一，Acton
Optics的193nm激光反射镜提供法向入射和45°入射角两种版本。193nm激光反射镜法向入射的反射率≥98%，45°入射的反射率≥97%。126nm和157nm真空紫外反射镜是尖端科研和高端制造领域的关键元件，主要应用在下一代光刻技术和高能物理研究等对精度和能量要求极高的场景。126nm准分子反射镜适用于氩（Ar₂）准分子激光器，是探索光刻的物理极限，其法向入射反射率≥55%，45°入射的反射率≥50%。157nm反射镜适用于氟（F₂）准分子激光器，是推动半导体工艺的关键，其法向入射反射率≥89%，45°入射的反射率≥87%。紫外激光反射镜在全镀膜波段内保持平坦的光谱响应。真空紫外反射镜均采用紫外熔融石英，具备低热膨胀系数和高紫外透过率，确保在真空紫外到近紫外波段的长期稳定性。
准分子激光反射镜/VUV/UV反射镜的主要特点：
-高损伤阈值
-使用寿命长
-覆盖全部准分子激光波长（157nm、193nm、248nm、308nm、353nm）
-多层电介质镀膜，反射率高
-可定制光谱、偏振和应用需求
Acton准分子激光反射镜/紫外激光反射镜的主要应用：
-准分子激光视力矫正（LASIK）
-半导体激光与计量系统
-材料加工
真空紫外反射镜/VUV/UV反射镜的标准品：
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波长 |
反射率 |
1英寸型号 |
2英寸型号 |
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126nm |
≥55%@NI |
M126-FR-1D-MB |
M126-FR-2D-MB |
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126nm |
≥50%@45°AOI |
M126-FR45-1D-MB |
M126-FR45-2D-MB |
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147nm |
≥75%@NI |
M147-FR-1D-MB |
M147-FR-2D-MB |
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147nm |
≥70%@45°AOI |
M147-FR45-1D-MB |
M147-FR45-2D-MB |
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157nm |
>89%@NI |
M157-FR-1D-MB |
M157-FR-2D-MB |
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157nm |
≥87%@45°AOI |
M157-FR45-1D-MB |
M157-FR45-2D-MB |
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172nm |
≥93%@NI |
M172-FR-1D-MB |
M172-FR-2D-MB |
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172nm |
≥90%@45°AOI |
M172-FR45-1D-MB |
M172-FR45-2D-MB |
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193nm e |
≥98%@NI |
M193-FRe-1D-MB |
M193-FRe-2D-MB |
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193nm e |
≥97%@45°AOI |
M193-FR45e-1D-MB |
M193-FR45e-2D-MB |
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248nm |
≥98%@NI |
M248-FR-1D-MB |
M248-FR-2D-MB |
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248nm |
≥97% @45°AOI |
M248-FR45-1D-MB |
M248-FR45-2D-MB |
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308nm |
≥98%@NI |
M308-FR-1D-MB |
M308-FR-2D-MB |
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308nm |
≥97%@45°AOI |
M308-FR45-1D-MB |
M308-FR45-2D-MB |
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353nm |
≥99%@NI |
M353-FR-1D-MB |
M353-FR-2D-MB |
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353nm |
≥98%@45°AOI |
M353-FR45-1D-MB |
M353-FR45-2D-MB |
193nm激光反射镜M193-FRe-1D-MB 和 M193-FR45e-1D-M相比，Fre镀膜的带宽稍宽，因此反射率也略高一些。
Acton准分子激光反射镜/深紫外反射镜的反射率曲线：
126nm准分子反射镜的反射率曲线
157nm反射镜的反射率曲线
193nm激光反射镜的反射率曲线
248nm准分子反射镜的反射率曲线
308nm紫外激光反射镜的反射率曲线
