XYZ 500手动、电动三维微操作器产品介绍，Quarter research半导体探针测试台微型定位器

Quater Research & Development的XYZ 500系列微操作器（微型定位器、微型手动平移台）是面向半导体晶圆探针测试的高精度三维定位解决方案，涵盖螺杆调节微操作器、千分尺微操作器与电动三维微操作器七大型号。全系标配440不锈钢滚珠轴承，行程0.5英寸，支持左右手结构。低高度精密操作器适配狭小空间，DC探针测试系统集成磁座与探针臂，广泛应用于芯片检测、生物医疗及精密光学组装。

随着半导体制造工艺持续向先进节点推进，晶圆测试、芯片探针检测及精密光学组装等领域对微纳米级定位精度的需求日益增长。在探针台、分析仪器及科研实验装置中，一个稳定可靠的三维微定位系统直接决定了测试数据的准确性与实验的可重复性。XYZ 500系列微操作器作为经典的半导体探针测试台定位产品，以模块化设计和丰富的配置选项，为不同精度要求和预算条件的应用场景提供了完整的选型矩阵。

Quater Research & Development的该系列产品涵盖从基础螺杆调节到高端亚微米电动的完整梯度，既有面向日常测试的经济入门型号，也有面向精密科研的步进电机驱动版本。每款平台均采用440不锈钢精密导轨与滚珠轴承结构，在保持紧凑体积的同时实现亚微米级定位分辨率。

下表是这七款产品的一些数据对比：

注：带"T"标识的型号（500TS、500TM）含完整DC探针测试系统。

XYZ 500 螺杆调节微定位平台（MLS / MRS / MIS）

Quarter research 的XYZ 500螺杆调节微型手动平移台是XYZ 500系列中最基础、最受欢迎的通用型号，采用三个螺杆调节旋钮分别控制X、Y、Z三轴运动。作为入门级探针定位方案，该型号以简洁可靠的机械结构和亲民的价格，成为实验室日常测试和小批量样品检测的首选。

螺杆调节微操作器提供40 TPI、80 TPI或100 TPI三种螺距规格可选，用户可根据自身对调节精度和操作速度的偏好进行选择。标准出厂配置为80 TPI，兼顾精度与调节效率。产品提供右手（MRS）、左手（MLS）及直列（MIS）三种结构形式，适应不同的操作习惯与空间布局需求。

这款型号主要有以下特点

-宽范围分辨率选择：三种螺距规格覆盖从粗调到精调的不同需求，100 TPI版本单圈行程仅0.254mm，可实现亚微米级精细调节

-全不锈钢导轨：Gibs和Slides均采用440不锈钢材质，配合精密滚珠轴承，保证长期使用的耐磨性与运动平滑性

-紧凑轻量：整机重量不足1公斤，底座面积仅约50×38 mm，便于集成到各类测试工位

-模块化可升级：支持后续升级为千分尺或电动版本，保护用户初始投资

图：XYZ 500 螺杆调节微定位平台

XYZ 500 螺杆调节测试定位平台（TLS / TRS / TIS）

XYZ 500螺杆调节测试定位平台是在基础螺杆调节微定位平台之上集成完整DC探针测试系统组件的"开箱即用"型号。产品出厂时已完成磁座、探针臂夹持器、探针臂、探针针、绝缘件及连接插针的全套组装，用户拿到手即可直接用于晶圆或芯片的DC电学测试，无需额外采购配件。

该型号同样基于螺杆调节微操作器的三轴运动平台，提供右手（TRS）、左手（TLS）和直列（TIS）三种布局。配套的磁性底座可快速吸附在探针台载物台上，实现位置的粗调与固定；测试臂采用标准接口，支持更换不同规格的探针针，适应不同pad尺寸和测试电流的需求。

图：XYZ 500 螺杆调节测试定位平台

XYZ 500 低高度螺杆调节微定位平台（500LP）

XYZ 500低高度精密操作器是专为垂直空间受限的应用场景设计的特殊型号。这款微型手动平移台在保持三轴0.5英寸行程和相同运动精度的前提下，整体高度从标准款的3.00英寸压缩至1.75英寸，降幅超过40%，使其能够嵌入高度受限的探针腔、真空腔体或集成式测试设备中。

低高度版本同样采用螺杆调节驱动方式，提供右手和左手两种结构形式。由于空间布局的特殊性，该型号仅提供左右手法式，不提供直列结构。尽管高度大幅降低，产品依然保留了全系标配的440不锈钢滚珠轴承导轨和阳极氧化铝底座，确保运动精度和结构刚性不受影响。另外真空腔体内部定位，集成式测试设备，多探针高密度布局让这款型号更具竞争优势。

图：XYZ 500 低高度螺杆调节微定位平台

XYZ 500 千分尺微调微定位平台（MLM / MRM / MIM）

Quarter research 的XYZ 500千分尺微操作器将螺杆旋钮替换为高精度千分尺头，使定位精度和读数便利性得到显著提升。每轴配备一支千分尺，刻度分辨率达0.01mm，用户可以直接读取相对位移量，实现可量化的点对点精密移动，特别适合需要定量位移和数据记录的实验与测试场景。

千分尺版本同样提供右手（MRM）、左手（MLM）和直列（inline，MIM）三种结构形式。相比螺杆调节微操作器的"盲调"操作，千分尺版本的直观读数功能大幅降低了操作人员的经验依赖，也便于在实验记录中精准复现定位参数。千分尺头让这款型号有了以下优势：

-可量化位移：千分尺刻度直接读数，精确记录每次移动量，便于实验复现

-更高调节精度：相比标准螺杆旋钮，千分尺的精细螺纹提供更稳定的微步进手感

-相对位移测量：支持点对点相对位移测量，满足定量定位需求

图：XYZ 500 千分尺微调微定位平台

XYZ 500 千分尺测试定位平台（TLM / TRM / TIM）

XYZ 500千分尺测试定位平台是千分尺微操作器与完整DC探针测试系统的组合型号。它以MIM千分尺微定位平台为主体，集成磁性底座、测试臂夹持器、测试臂、探针针、绝缘件及连接插针等全套探针测试组件，为需要高精度定量定位的DC探针测试应用提供一站式解决方案。

该型号同样提供右手（TRM）、左手（TLM）和直列（TIM）三种结构。相比螺杆调节的测试定位平台，千分尺版本在需要精确定位pad点、反复移动同一距离的测试场景中优势明显——操作人员可以直接通过千分尺读数快速定位到目标坐标，大幅提高测试效率和可重复性。其组件包含：XYZ 500 MIM 千分尺微定位平台，磁性底座，测试臂夹持器，测试臂，测试探针，绝缘件，连接插针等。其核心参数如下：

-高度：4.00英寸

-三轴行程：各 0.500"

-分辨率：0.01 mm / 刻度

-驱动方式：千分尺头

图：XYZ 500 千分尺测试定位平台

XYZ 500 电动微定位平台（MLMT / MRMT / MLMT-C）

XYZ 500电动三维微操作器将手动调节升级为精密步进电机驱动，是XYZ 500系列中迈向自动化的关键型号。三轴均配备精密步进电机，直接连接到440不锈钢精密导轨上，实现全自动三维定位。用户可以通过控制器编程设定运动路径和定位坐标，适合需要频繁重复定位、远程操作或与测试系统联动的自动化测试场景。

电动版本提供标准无连接器版（MLMT / MRMT）和预接线连接器版（MLMT-C）两种配置。MLMT-C版本已预装12英寸引线和AMP连接器，并配备光学传感器与限位开关（X/Y轴行程1/4"处，Z轴1/2"处），可直接接入运动控制系统，大幅缩短集成周期。其中导轨选用440不锈钢滚珠轴承 / 交叉滚子轴承和热处理研磨440-C不锈钢材质。底座选用高密度铝合金，黑色阳极氧化材质，进一步提升运动直线度和承载刚性。以下是一些具体参数：

-高度：4.60英寸（约116.8 mm）

-重量：发货重量小于2 lb

-底座尺寸：1.50" × 2.00"

-三轴行程：X、Y、Z 各 0.500"

-单步分辨率：0.000125"（约0.003175 mm / 步）

-电机：5 VDC，0.42 A，双极性步进电机

其核心优势如下：

-亚微米级步进分辨率：每步约3.175 µm，细分后可达更高精度，满足精密定位需求

-自动化操作：支持程序控制，实现无人值守的多点位循环测试

-可选交叉滚子轴承：高精度应用场景下可升级为交叉滚子导轨，提升直线度和抗偏摆能力

-预接线版本即用：MLMT-C版本自带连接器和限位传感器，即插即用

图：XYZ 500 电动微定位平台

XYZ 500 MIMT 直联式电动微定位平台

XYZ 500 MIMT（直列 Micrometer Motorized）直联式电动微型定位器是Quarter research XYZ 500系列中的高端旗舰型号，定位于亚微米级精密定位应用。与标准电动版本的区别在于，MIMT采用高精度减速齿轮头（标准减速比64:1）配合100 TPI精密丝杠传动，将步进电机的旋转运动高精度地转换为直线位移，整体分辨率达到亚微米级别。

MIMT采用直列结构布局，三轴运动更加紧凑协调。产品同样标配440不锈钢滚珠轴承，并可升级为交叉滚子轴承以获得更高的运动精度和刚性。热处理研磨的440-C不锈钢导轨配合高密度铝制底座，在紧凑体积内实现了卓越的结构稳定性。该型号特别适用于光子器件对准、光纤耦合、纳米压印及其他对定位精度要求极高的前沿科研与工业应用，具有旗舰级精度。以下是一些具体参数：

-高度：4.50英寸（约114.3 mm）

-重量：发货重量小于2 lb

-底座尺寸：1.50" × 2.00"

-三轴行程：X、Y、Z 各 0.500"

-分辨率：亚微米级（Submicron）

-传动系统：64:1减速齿轮头 + 100 TPI丝杠

-亚微米分辨率：通过齿轮减速与精密丝杠的组合，实现亚微米级定位能力

-高刚性传动链：齿轮减速机构提供更高的扭矩输出和更好的低速平稳性

-直列紧凑结构：三轴布局紧凑，整体协调性好

七款产品虽然定位和价格差异显著，但共享同一平台架构的核心设计理念，以下特征是全系共有的：

-统一行程规格：所有型号的X、Y、Z三轴行程均为0.500英寸（约12.7 mm），保证了选型时行程规格的一致性

-统一底座尺寸：底座面积均为1.50" × 2.00"，便于互换和系统集成时的安装对接

-440不锈钢导轨：Gibs和Slides均采用440不锈钢材质，配合精密滚珠轴承，全系均具备出色的耐磨性和运动平滑性

-模块化可升级：手动版本可逐步升级为千分尺版或电动版，用户可根据预算和需求分阶段投入

-左右手可选：除低高度款外，所有型号均提供右手和左手版本，部分型号还提供直列结构

-轻量化设计：全系列发货重量均控制在2磅以内，便于搬运和多台组合使用。

图：XYZ 500 MIMT 直联式电动微定位平台

XYZ 500系列微操作器的七款产品形成了清晰的三级精度梯度：螺杆调节（入门）→ 千分尺微调（中端）→ 电动三维微操作器（高端电动）。其中电动档又细分为标准电动和齿轮减速亚微米电动两个层级，形成完整的价格-精度曲线，用户可按需匹配。

带有"T"标识的型号（TLS/TRS/TIS、TLM/TRM/TIM）是集成了完整探针测试组件的套装版本，适合需要直接开展探针测试的用户直接采购；不带"T"的则是纯定位平台，用户可根据自身需求自定义前端执行器。

低高度精密操作器（500LP）是唯一针对空间限制设计的特殊型号，通过压缩垂直高度换取特殊场景下的适配能力，其价格反而高于标准螺杆版，反映了特殊结构设计的附加值。在腔体内部、集成设备等高度受限场景中，低高度精密操作器是不可或缺的选型。

总体而言，Quarter research的XYZ 500系列微型定位器凭借模块化设计、可靠的440不锈钢导轨结构和清晰的产品梯度，为半导体探针测试台搭建、精密光学对准、生物医学操作等领域提供了一套高性价比的三维微定位解决方案。无论是高校实验室的教学科研，还是工业产线的精密检测，都能在这个系列中找到匹配的产品型号。