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Laseroptik角度可调谐反射滤光片:140-2000nm多工艺镀膜,宽光谱高损伤阈值波长选择器

作者:王fh 时间:2026-10-28

Laseroptik 角度可调谐反射滤光片覆盖 140-2000nm 全光谱波段,采用 EBE/IAD/MS 多工艺镀膜滤光片技术,是波长随角度变化反射滤光片的典型代表,倾斜角度即可实现连续波长调谐且保持光束方向不变。可变反射滤光片提供手动与步进电机驱动两种外壳可选,高损伤阈值设计适配激光系统与光谱测量等多种应用场景,4 片式角度调谐结构提供更宽的调谐范围和更优的光谱性能,是高品质 Reflection Filters 的优选方案。

LASEROPTIK 提供两种不同的外壳,用于调整入射角在15°到60°的黑色滤光片板(NG1):

- 手动驱动装置,配有50x50x1 mm的钢板

- 步进电机驱动装置,由手动或PC控制,尺寸为70x50x3 mm

图1:反射型滤光片外壳

左图是电机驱动式 [M-00012];右图是手动调节式[M-00042]

在激光技术与光谱分析领域,精准选择特定波长的光束是许多实验和应用的基础需求。传统的单色仪、光栅和干涉滤光片各有局限:单色仪体积大且会引入光束偏转,固定 波长滤光片则无法灵活切换波长。这款角度可调谐的反射型滤光片,也是波长随角度变化反射滤光片,作为一种兼具高反射率、高抑制比和光束方向不变特性的可变反射滤光片,在激光系统、光谱测量和精密光学检测中发挥着不可替代的作用。

图2:[B-06179] 532nm,Type 2,R4 > 98%不同角度入射效果

需通过角度调节来补偿波长方面的制造公差

角度可调谐反射滤光片的基本原理

角度可调谐反射滤光片的核心工作原理是通过同时使用4块滤光片来选择所需的波长。通过调整滤光片的倾斜角度,就可以选择出所需的波长范围,而不会改变光束的最终传播方向。这一设计是角度调谐滤光片相比传统单色仪的核心优势之一,无需重新校准下游光学系统。

图3:光路示意图

波长随角度变化反射滤光片特征示例Examples:

- 除非另有说明,所有数值和图表均已给出

- 对于所述波长区域中使用的标准基板材料(主要是熔融石英或CaF2)

- 不考虑背面

- 采用EBE镀膜技术,具有良好的性价比

- 可提供定制

波长随角度变化反射滤光片类型

Laseroptik拥有四种成熟的镀膜工艺,这款多工艺镀膜滤光片中,EBE/IAD/MS镀膜工艺最为常用。

镀膜工艺

全称

特点与适用范围

EBE

电子束蒸发

成本效益高,适用于可见光与近红外的常规应用

IAD

离子辅助沉积

膜层致密性好,折射率稳定,适用于紫外及高要求应用

IBS

离子束溅射

膜层质量极高,损耗极低,适用于高性能精密光学

MS

磁控溅射

沉积速率高,膜层均匀性好,适用于中紫外至可见光波段

多工艺镀膜滤光片的每种镀膜都可以针对基底材料、波长、反射率、入射角、偏振状态及GDD值等参数进行优化定制。对于特殊需求,Laseroptik还支持全新设计开发。


REF型标准反射型滤光片规格

标准REF型可变反射滤光片(Reflection Filters)提供多个波长区间的现货规格,以下为各波段典型参数:

波长范围Δλ[nm]

半带宽HBW[nm]

峰值反射率Tmax

镀膜工艺

类型

180 – 200

12

80%

EBE

Type 1

235 - 275

18

90%

EBE

Type 1

40

95%

EBE

Type 2

290 - 340

20

95%

EBE

Type 1

340 - 390

25

98%

MS

Type 1

500 - 585

30

98%

IAD

Type 1

750 - 880

60

98%

IAD

Type 1

1000 - 1150

60

95%

IAD

Type 1

Laseroptik的标准可变反射滤光片产品可以提供多种波长的镀膜,以下为四个常用镀膜的性能曲线参数,需要通过角度调节来补偿制造公差对波长的影响:

图4:左图:[B-01931] 248 nm,45° Type 2,R4>95%  右图:[B-04555] 266 nm,45° Type 2,R4>95%

图5:左图:[B-03442] 355 nm,45° Type 1,R4>95% 右图:[B-06179] 532 nm,45° Type 2,R4>98%

总体而言,Laseroptik反射滤光片(Reflection Filters)作为一款紫外-近红外激光波长选择器,凭借优异的光学性能、丰富的工艺选择和灵活的定制能力,为激光波长选择、光谱测量、生物医学检测等领域提供了一套高性能、高可靠性的波长选择解决方案。无论是科研实验室还是工业产线,都能在其产品矩阵中找到匹配的型号。







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