AXUV系列光电二极管与SXUV系列光电二极管选型指导，AXUV和SXUV对比

Opto Diode隶属于ITW集团，推出两款面向软X射线与极紫外（EUV）波段的硅光电二极管。二者都能探测到传统带窗探测器难以覆盖的同一段棘手光谱区域（1-190nm），差异在于各自的优化方向。AXUV系列光电二极管针对绝对、校准级响应进行设计，覆盖极宽波段；SXUV系列光电二极管则经过抗辐照加固，可承受会令普通二极管性能退化的高强度EUV环境。选错系列，要么会牺牲灵敏度，要么会在项目进行中看到响应度漂移——因此选择时值得审慎考量。

-AXUV范围：0.0124-190纳米

-SXUV范围：1-190纳米

-AXUV：100%量子效率

-SXUV应用：EUV光刻

AXUV X射线探测器与SXUV系列光电二极管对比表

普通光电二极管在强EUV长时间照射下，暗电流会快速飙升、灵敏度漂移，测量不准；高抗辐照PD就是通过工艺、结构设计抑制这两类缺陷。

什么时候选择AXUV系列光电二极管？

你需要接近100%的内量子效率，用于绝对、校准级辐射测量，而非相对测量。

你的工作覆盖极宽波段0.0124nm~190nm，能量范围100eV至50keV，希望单一款探测器同时适用于光子、电子与X射线探测。

可以接受无窗口前端结构：无窗口避免吸收损耗，显著提升200nm以下波段响应。

你的应用是电子探测、同步辐射监测、电子掩模版检测。

你需要多种有效面积选择：从小型3mm²到大尺寸576.5mm²，以匹配光束尺寸。

什么时候选择SXUV系列光电二极管？

你的探测器将面对高强度极紫外辐照，需要优异的抗辐照能力，保证项目全周期内响应度稳定。

你的应用为极紫外光刻（该系列主要应用），并且需要一种能在反复、高强度EUV暴露下保持性能的二极管。

你希望兼具低噪声性能和约1nm至190nm的宽光谱响应度。

你的应用是X射线光谱或同步辐射监测，且所处环境会使未加固二极管退化。

AXUV与SXUV典型型号

AXUV X射线探测器：AXUV20HS1（20mm²）、AXUV20A（23mm²） AXUV63HS1、AXUV63HS1-CH（63mm²规格），AXUV100G（电子探测光电二极管）、AXUV100TF030、AXUV100TF400（100mm²规格） AXUV300C（331mm²）、AXUV576C（576.5mm²），适用于大面积探测需求 AXUV16ELG（16单元光电二极管阵列）、AXUV20ELG、AXUVPS7。

SXUV探测器：SXUVPS4、SXUVPS4C（1.25mm²）、SXUV5（5mm²） SXUV20HS1、SXUV20C（20mm²规格）、SXUV100、SXUV100TF135（100mm²规格），SXUV300C（331mm²），用于大面积极紫外监测。

AXUV与SXUV总结

如果优先追求超宽波段的绝对量子效率，用于同步辐射、电子、X射线相关测试，AXUV是首选。如果核心需求是承受高强度EUV并保持稳定响应度（极紫外光刻的核心要求），SXUV比较合适。两个系列均由Opto Diode研发制造，配套工程技术支持，可根据应用匹配探测器。

AXUV与SXUV常见问题解答

哪个系列的量子效率更高？

AXUV X射线探测器被指定为从紫外到可见光谱具有100%的内部量子效率，因此在需要绝对、校准级响应的情况下是首选。SXUV页面描述了宽光谱响应范围，但未公布具体的量子效率数值。

哪种硅光电二极管适合EUV光刻?

SXUV，EUV光刻是SXUV系列的主要应用，该系列结合了高辐射硬度和低噪声性能，在强EUV曝光下保持响应稳定。

哪个硅光电二极管系列抗辐照性更强?

SXUV是抗辐射系列，其显著特点是在严苛的极紫外和X射线环境中具有极高的抗辐射能力。而AXUV则针对无窗口宽带响应和100%内部量子效率进行了优化。

Opto Diode能否定制这些探测器?

两个系列均涵盖多种有源区域范围一从1.25平方毫米到576.5平方毫米，并提供多种型号配置和薄膜选项。针对特定的有源区域、涂层或封装要求，请联系我们获取报价以讨论您的应用需求。