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Kaleo Kit波前传感器测样,包括望远镜、凹面镜、大口径透射元件、大口径透镜、离轴透镜等波前传感器测试光路

作者: 时间:2024-09-11

Kaleo Kit波前测量仪常用于以测量望远镜、凹面镜、大口径平面透射元件、大口径透镜/物镜、离轴透镜等为代表的各大类光学元件的波前传感器测样。PHASICS Kaleo波前测量仪的测试光路可以为单次透射、单次反射、两次透射、倾斜入射,且SID4 系列波前传感器具有自消色差特性并提供多种波段选择。Kaleo套件搭建好波前测量仪的测量光路后无需对特定波长单独校准,在波前传感器套件测量波长范围内均可直接使用。

       面对多种光学元件的波前传感器测样,SID4波前传感器的测试光路有以下几种:


望远镜评估与校准的波前传感器测试光路:

Kaleo Kit光路结构如下,光源2发出光后,然后经过6(待测望远镜),并经过5反射后返回,沿原路再经过2进入1

Kaleo套件测量步骤为:

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加待测望远镜,测量透过待测面的波前,并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。


凹面镜测量的波前传感器测试光路:

       Kaleo Kit光路结构如下,光源2发出光后,然后经过4会聚,并经过6反射后返回,沿原路再经2进入1

       Kaleo套件测量步骤为:

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加凹面镜,测量经过待测面反射的波前,并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算此次反射的波前质量。

大口径平面透射元件测量的波前传感器测试光路:

Kaleo Kit光路结构如下,光源2发出光后,由3扩束(若需要),然后经过6(待测样品),并经过5反射后返回,沿原路再经2投射后进入1

Kaleo套件测量步骤为:

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加待测物,测量两次透过待测面的波前,并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。

大口径透镜/物镜测量的波前传感器测试光路:

Kaleo Kit光路结构如下,光源2发出光后,由3扩束(若需要),然后经过6(待测样品),并经过5反射后返回,沿原路再经2投射后进入PHASICS SID4系列波前测量仪。

Kaleo套件测量步骤为:

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加待测物,测量两次透过待测面的波前,并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。

离轴透镜测量的波前传感器测试光路:

Kaleo Kit光路如下,光源2发出光后,再由3扩束(若需要),然后经过6(待测样品),并经过5反射后返回,沿原路再经2投射后进入1

Kaleo套件测量步骤为:

1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准

2. 添加待测物,测量两次透过待测面的波前,并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。

其中PHASICS SID4系列波前测量仪具体参数如下:

SID4 型号

测量波段

靶面尺寸(mm²)

空间分辨率

相位分辨率

相位精度

相位分辨率

真空兼容性

SID4 UV

190-400nm

7.8 × 7.8

26 μm

300 × 300

20 nm RMS

2 nm RMS

 -

SID4 UV-HR

190-400nm

13.3 × 13.3

26 μm

512 × 512

40 nm RMS

2 nm RMS

 -

SID4 HR V

400-1100nm

9.98 × 8.64

24 μm

416 × 360

20 nm RMS

2 nm RMS

10mbar

SID4

400-1100nm

5.02 ×  3.75

27.6 μm

182 × 136

10 nm RMS

<2 nm RMS

 -

SID4 HR

400-1100nm

9.98 × 8.64

24 μm

416 × 360

20 nm RMS

<2 nm RMS

 -

SID4 UHR

400-1100nm

15.29 × 15.29

27.6 μm

554 × 554

 -

5 nm RMS

 -

SWIR

900-1700nm

9.6 × 7.68

120 μm

80 × 64

15 nm RMS

<2 nm RMS

 -

SWIR HR

900-1700nm

9.6 × 7.68

60 μm

160 × 128

15 nm RMS

<2 nm RMS

 -

eSWIR

1.2-2.2μm

9.6 × 7.6

120 μm

80 × 64

<40 nm RMS*

<6 nm RMS*

 -

eSWIR HR

1.2-2.2μm

9.5 × 7.6

120 μm

159 × 127

<40 nm RMS*

<6 nm RMS*

 -

DWIR

3-5μm8-14μm

10.08 × 8.16

68 μm

160 × 120

75 nm RMS

25 nm RMS

 -

*对于相干源


考虑到更特殊的波前传感器测样需求,PHASICS Kaleo Kit还能提供众多配件选择:

反射光源模块

扩束器

光圈F#

平面参考镜

可见光VIS

短波红外SWIR

365 / 405 /
530 / 625 /
740 / 780 /
810 / 850 /
940 / 1050 /
1550 / 3900 nm

Ø15mm

0.4

2.5

2英寸

Ø30mm

0.7

5

3英寸

Ø60mm

1.2

10

Ø100mm

2.1

Ø130mm

3.3

5

9







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