作者：吴wq 时间：2025-10-10
美国CVI Laser Optics 为注重CVI反射镜性能的用户推出了采用离子束溅射镀膜（IBS）工艺的Nd:YAG激光反射镜Y1/2/3/4S系列。采用离子束溅射镀膜（IBS）工艺的CVI反射镜在其中心波段区域达到了难以想象的高反射率。采用离子束溅射镀膜（IBS）工艺的CVI Nd:YAG激光反射镜Y1/2/3/4S系列在科研和精密加工应用中有着不可替代的作用。
上图是采用离子束溅射镀膜（IBS）工艺的CVI反射镜Y1S-1025-0，Y1S-1025-45与Y1-1025-0，Y1-1025-45型号两种反射镜的反射率。可以看到，45°入射角，S偏振型号甚至在990nm到1150nm波段的区域的反射率均接近100%。与Y1-1025-0，Y1-1025-45型号相比，由于Y1S-1025-0和Y1S-1025-45两种反射镜镀膜的工艺效果较高，其透过率在中心波段更加的平滑和稳定。同时，得益于离子束溅射镀膜（IBS）工艺的高精度膜层，Y1S-1025-0和Y1S-1025-45两种反射镜比Y1-1025-0和Y1-1025-45型号的损伤阈值更高。
Y1S-1025-0/45与Y1-1025-0/45对比如下：
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Y1S-1025-0 |
Y1-1025-0 |
Y1S-1025-45 |
Y1-1025-45 |
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平均反射率 |
＞99.9% |
＞99.9% |
＞99.9% |
＞99.8% |
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损伤阈值 |
40 J/cm2 |
25 J/cm2 |
40 J/cm2 |
25 J/cm2 |
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基底材料 |
康宁 7980-D（熔融石英） |
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直径公差 |
+0/-0.25 |
+0/-0.25 |
+0/-0.25 |
+0/-0.25 |
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厚度公差 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
注：损伤阈值标注均为1064nm波长, 20ns, 20Hz的脉冲激光
在具有相同的直径和厚度公差下，采用离子束溅射镀膜（IBS）工艺Y1S-1025-0和Y1S-1025-45激光反射镜比Y1-1025-0；Y1-1025-45激光反射镜有着更好的透过率和损伤阈值。但是在生产周期和价格方面，离子束溅射镀膜（IBS）工艺的Y1S-1025-0和Y1S-1025-45相对于Y1-1025-0；Y1-1025-45就略显逊色了。由于技术的难度，离子束溅射镀膜（IBS）工艺的Y1S-1025-0和Y1S-1025-45生产的周期和成本都会比Y1-1025-0；Y1-1025-45高，因此如果是工业生产或者追求性价比的用户，直接购买CVI反射镜Y1-1025-0和Y1-1025-45就可以满足大部分的需求了。
