作者：吴wq 时间：2026-05-06
SD 200六维运动平台适用于半导体检测，晶圆划痕观测等芯片生产线内。紧凑型六自由度平台适合于在自搭建金相显微镜的环境下进行工业或者实验室的半导体晶圆划痕检测。SD 200模块化六轴位移台具有XYZ和αβγ6个轴向的自由度。可以协助用户轻松找到合适的观测方向和观测位置。相比于自搭建的手动六轴或电动组合式平台，SD 200闭环六自由度平台可以在拥有不低于5×5×3mm（XYZ）和5°轴向偏转的行程下拥有更便捷的操作方式和更大的调整空间。
并且SD 200闭环六自由度平台负载的重量约为3kg，平台尺寸为200×200mm。可以很轻松的放下半导体晶圆或者芯片夹具。紧凑型六自由度平台所搭载的模块化和集成的解耦算法能够让用户独立且轻松的控制各个轴向的运动。设备搭载了闭环检测模块，直线重复定位精度
SD 200紧凑型六自由度平台主要参数指标：
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模块化六轴位移台SD 200主要参数 |
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外形尺寸 |
200×200×130mm |
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负载能力 |
≤3kg |
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X Y Z轴向行程 |
x≥5mm，y≥5mm，z≥3mm |
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α β γ角向行程 |
α≥3°，β≥3°，γ≥5° |
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线性位移最小增量 |
0.3um |
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角向位移最小增量 |
5uRad |
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线性重复定位精度 |
0.2um |
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角向重复定位精度 |
5uRad |
SD 200闭环六自由度平台的模块化结构和集成解耦算法可以对单一轴向进行独立控制，集成的闭环系统让设备的稳定性进一步提高。SD 200六维运动平台更稳定的平台结构和台面尺寸能够轻松适配不同的样品和精密测量设备0.2um的线性重复定位精度和5uRad的角向重复定位精度也能让测试角度复现性高，减少用户对模块化六轴位移台SD 200的精细调整。在工业化生产和检测中有着较大的优势
