作者:李zx 时间:2026-06-10
本文旨在介绍分光镜种类与分光镜基础原理,包含无偏光分光镜,偏振分光镜,高调波分离器和可变式分光镜差异。并对比光束取样器中的分光立方体与平板分光镜的结构优缺点、光路偏差与杂散光问题,解析各类分光比组合多分岐分光方案,同时介绍光束取样器特性及选型注意事项,为激光、精密测量、超短脉冲光学系统提供选型参考。
分光镜是结构最简易的光学功能器件。倘若没有分光镜,精密产业不可或缺的干涉测量仪器、支撑未来发展的光量子计算技术都将不复存在。分光镜的基础作用是分割光通量,而随着激光器的问世,它还能完成各类复杂工作,例如复刻、叠加光所携带的多种信息,以及进行光学运算等,功能十分强大。
不过,分光镜本身构造简单,仅为在玻璃基板的45°入射面上镀制部分反射膜而成的光学元件。
射入分光镜的光线会分为透射光与反射光两大类。根据功能差异,分光镜可分为多种类型:不会改变光的波长、相位、偏振方向的无偏光分光镜,按波长分光的高调波分离器,按偏振方向分光的偏振分光镜,不同类型的分光镜,可通过改变镀膜膜层结构实现区分。这类镀膜并非像反射镜那样,追求接近极限的超高反射率。以金属铬镀膜为例,通过控制膜层厚度,即可调节透射光与反射光的光量占比。
分光镜种类
1. 仅分割光通量的无偏光分光镜(NPCH、HBCH等)
2. 按特定波长分光的高调波分离器(YHS、YHSQ等)
3. 按偏振方向分光的偏振分光镜和偏振分光立方体(PBS、PBSW等)
4. 光通量分光比例可调的可变式分光镜(VBS)
分光镜常规使用入射、透射、反射三个光路方向。部分场景下,可利用反射镜将透射光、反射光折返,再次透过或经分光镜反射,实现四光路应用。小型光学系统需要精简分光镜的安装调节空间,因此业界常采用分光立方体:在45°直角棱镜的斜面上镀膜,再将两块直角棱镜的斜面粘合,组合成立方体结构。
分光立方体的优点是光线可垂直射入立方体端面,光束不会产生折射与偏移,直线传播;安装时只需保证光束垂直入射立方体即可,布局调试简单直观。分光立方体的缺点是除45°斜面分光面外,还有四个垂直于光束的通光面,这些端面的反射易产生回光、杂散光,会影响激光器稳定性与测量精度。尽管四个端面均镀有增透膜,但高精度光学测量中,微弱的回光依旧会干扰测量数据。
图1. 立方体与平板的分束镜光学系统比较
平板分光镜优点是易于做大尺寸规格,适配大口径光束;除分光面外,仅背面存在单一反射面,且光线以45°角入射,几乎不会产生有害回光。平板分光镜的缺点是光束穿透玻璃基板时会发生光路折射、偏移,后续光路需要校正倾斜与位置偏差;基板多为圆形,45°入射的光束会在分光面投射为横向椭圆形,导致基板上下区域闲置浪费。简单来说,平板分光镜所需口径,需达到镜头、滤光片有效口径的1.5倍。此外,固定支架可能遮挡透射光束,若分光镜口径余量不足,会导致光束质量劣化。
图2. 分光镜的杂散光产生原因与支架导致的渐晕
除此之外,选用立方体或平板分光镜或其他分光镜种类,还需结合光学系统特性判断。部分光学元件的厚度会直接影响光学性能:例如成像系统中,即使是平行平板玻璃,置入光路后也会因折射产生像差;针对存在波长色散问题的超短脉冲光学系统,相较于厚块体分光镜,更适合选用平板分光镜或薄型平板分光镜(MPSMH)。
图3. 薄型平板分光镜图片
仅用于均分光束亮度的分光镜,拥有多种分光比例规格。分光比1:1的器件俗称半反射镜,品类丰富;除此以外,还有反射:透射=1:2、1:3等规格,也可根据定制需求生产特殊分光比产品。搭配不同分光比的分光镜组合使用,就能将单束光源均分拆分为多束等亮度光束。
举例说明:
三等分光束:先用1:2(33.3%:66.7%)分光,再将占比2的光束以1:1(33.3%:33.3%)二次均分;
五等分光束:先用1:3(25%:75%)分光,占比3的光束(37.5%:37.5%)先后通过两次1:1(18.8%:18.8%)分光;再将原占比1的光束以1:3(6.3%:18.8%)细分,舍弃弱光支路,最终五束光均可保留原光量的18.8%。
图4. 三等分光路与五等分光路图区别
在高损耗光路等需要平衡光通量的场景中,常会选用1:2、1:3等非等分分光镜。实际光学应用中,常无法直接检测主光束,需要截取少量光线用于实时监测,此时就会用到光束取样器(BS4)。其外观为普通玻璃基板,背面镀有增透膜。常有客户咨询:光束取样器是否需要从镀膜面入射?正确用法为:从无镀膜的裸玻璃面入射。未镀膜的玻璃表面在45°入射条件下,会产生约5.2%的反射光,绝大部分光线正常透射,不影响主光路工作。利用这5.2%的微弱反射光,搭配探测器、光束分析仪即可实时监测主光束状态。因无镀膜设计,波长依赖性极低,在常规增透膜工作波段(400~700nm)内全域通用;标准使用角度为45°,小幅度调整入射角也可正常工作。
针对激光、线偏振光束时,当偏振面与取样器反射面法线相互平行(P偏振),入射角在0~56.6°范围内调节,反射率可在4%~0%之间连续变化。该特性源于P偏振光在布儒斯特角下反射率趋近于0的光学原理。利用这一特性,既能降低主光束的光损耗,也无需额外加装衰减片弱化取样光束。
θb=tan−1n ,n:玻璃的折射率
需注意:当光束取样器反射率极低时,背面增透膜的残留反射光会产生明显干扰。此时建议选用楔型光束取样器(BS4-W),通过楔形结构分离正面反射光与背面杂散光,搭配光阑遮挡背面杂散光,保障检测精度。
图5. 光束采样器楔形类型的表面反射光与背面反射的光路