适用于0.01Hz-200Hz，具备低频探测能力与低噪声表现的高精度微型测振仪

在精密制造、半导体光刻机台、高能物理实验平台及结构健康监测等领域，微米级以下的振动干扰往往成为决定系统成败的“隐形杀手”。选择一款合适的振动测量仪，是获取真实振动频谱、实施有效诊断与控制的第一步。我们提供三款VM（Vibration Meter）系列振动检测仪，以极低频响应、超低噪声密度和紧凑坚固的结构设计，为不同工况提供差异化的振动测量仪器解决方案。

VM-QS1石英晶体加速度计：

VM-QS1石英晶体加速度计是一款基于石英晶体压电效应，通过石英振梁力频特性敏感加速度的高精度微型测振仪。该振动检测仪具备极低频探测能力与出色的超低噪声表现，适用于1-200Hz范围。高精度微型测振仪的零偏温度误差仅10μg/℃，零偏月重复性100μg，零偏不稳定性低至0.5μg。同时，全数字化RS422接口直接输出加速度数字量，无需外置信号调理放大器，既简化了系统集成，也避免了模拟传输引入的额外噪声。石英晶体加速度计的重量仅为65g，尺寸φ40×31mm，极致紧凑的外形与全数字化输出，使其成为半导体设备微振测量及稳定平台控制的完美选择。

石英晶体加速度计的特点：

-超低噪声与极低频：噪声密度0.1μg/√Hz(@10Hz)

-全国产化自主可控：基于石英晶体压电效应研发制造

-极致紧凑轻量化：仅重65g，尺寸φ40×31mm

-全数字化直接输出：RS422接口，无需外置信号放大器

VM-QS2宽频数字化测振仪：

我们还提供一款基于石英谐振技术路线的高精度宽频数字化测振仪，主要适用于0.01Hz-100Hz。该振动测量仪具备极低噪声表现(0.02-0.04ug/√Hz)与深度下潜的低频探测能力(0.01Hz)。宽频数字化测振仪凭借宽频域(DC-400Hz)和高信噪比，能提供极为清晰的频谱指纹，是专业故障排查的首选。这款振动检测仪的尺寸φ40×50mm，重量105g。

高精度宽频数字化测振仪的特点：

-极低频探测：0.01Hz深层探测，极低本底噪声

-宽频域高信噪比：覆盖DC-400Hz宽频段，获取清晰频谱指纹

-坚固一体化设计：航空级6061铝合金，105g稳定质量体

-全数字化大量程输出：最大±20g量程，RS422直出

VM-QS3高精度三轴数字化测振仪：

对于空间振动场分析和结构模态测试，单轴传感器往往不足以还原三维振动全貌。VM-QS3高精度三轴数字化测振仪集成X/Y/Z三轴敏感元件于同一壳体（Φ80×90mm），并采用465g的大质量稳定惯性块，大幅降低安装谐振对测量频带的影响。VM-QS3振动检测仪同样支持0.01Hz低频探测，噪声RMS（0.01~200Hz）为1μg，零偏不稳定性优于0.1μg。这款振动测量仪的独到之处在于三轴同步采样，保证各方向相位一致性，这对于计算轨道谱、相干函数和模态振型至关重要。高精度三轴数字化测振仪供电功率提升至2.5W以满足三路敏感器的驱动需求，仍维持RS422数字输出和1000Hz刷新率，适用于VC振动标准验收、地基微震监测和大型结构动刚度测试。

高精度三轴数字化测振仪的特点：

-X/Y/Z三轴一体化：三维空间感知，全方位结构解码分析

-大质量稳定惯性体：465g稳固质量块设计，保障极低系统共振

-超低频深层探测：0.01Hz下潜深度，1μg(RMS)极低底噪

-大功率高速率输出：2.5W充沛供电，1000Hz刷新，RS422直出

高精度微型测振仪的参数特点：