作者： 时间：2021-05-13
科研或生产需求中，经常会遇到光斑尺寸过小，导致无法直接检测微米级光斑检测的情况，为此海纳光学为用户提供了几种不同的检测方案，为用户的微米光束测量提供更多的选择。
无论是聚焦光束还是光纤激光出射，经常会遇到微米激光检测需求，对于~32 μm及以上的光束而言，使用传统的CCD/CMOS便可以实现检测，但是对于低于该尺寸的光束而言，检测便会相对困难，因为现阶段，我司所代理的CCD或CMOS作为核心传感部件的设备而言，低于32 μm的光斑便无法完成检测，主要限制因素还是因为单个像素尺寸无法满足测试需求。
综上所诉，我们为用户提供三种测试设备。
方案一：3um/15um以上的刀口式微米光斑分析
以色列DUMA所生产的BeamAnalyzer光斑分析仪，使用刀口式测量原理（机械式），可选用三刀口或七刀口两种系列，因其刀口测量的方式，导致该设备无法实现脉冲激光的捕捉，因此该设备仅适用于连续微米激光检测，其中三刀口设备适用于高斯光束，可实现检测直径3 μm及以上的光斑，型号表示为“BA3”。而七刀口设备适用于类高斯光或非高斯光，可实现检测直径15 μm及以上的光斑，型号表示为“BA7”。
该最主要的传感部分分为硅基底或铟镓砷基底，分别对应可见光波段（350-1100 nm）或近红外波段（800-1800 nm），对于紫外拓展（UV-SI）可以达到190-1100 nm波段，相对的红外拓展（IRE）可以检测1200-2700nm波段，铟镓砷传感器尺寸分为3mm、5mm、10mm可选，但是其中红外拓展（IRE）目前仅有3mm尺寸设备。
该系列设备共有以下型号供用户选择，微米级光斑检测设备订购型号由“刀口数量-传感器类型及尺寸-USB”组成，默认为5mm尺寸规格，如：BA7-IR10-USB，表示7刀口模式，10mm尺寸铟镓砷传感器。
BA3-Si-USB: 3-blades, Si detector 5mm circular
BA7-Si-USB: 7-blades, Si detector 9mm square
BA3-UV-USB: 3-blades, UV-Si detector 5mm circular
BA7-UV-USB: 7-blades, UV-Si detector 9mm circular
BA3-IR3-USB: 3-blades, InGaAsdetector 3mm circular
BA3-IR3E-USB: 3-blades,InGaAs Enhanced 3mm circular
BA7-IR3-USB: 7-blades, InGaAsdetector 3mm circular
BA7-IR3E-USB: 7-blades, InGaAsEnhanced 3mm circular
BA3-IR5-USB: 3-blades, InGaAsdetector 5mm circular
BA7-IR5-USB: 7-blades, InGaAsdetector 5mm circular
方案二：2μm以上的狭缝/刀口模式微米光束测量
美国Dataray所生产的BeamR2光斑分析仪具备刀口式和狭缝式两种检测模式，微米级光斑检测设备允许接受脉冲激光或连续激光，作为一款实时监测设备，该产品具备高分辨率及宽波段覆盖的特点，因其检测模式的原因，该设备相比常规的光斑分析仪的损伤阈值更高。
BeamR2允许同时装载硅和铟镓砷通道，双传感器的装载使得设备可以覆盖更宽的波段，整体可覆盖至190-2500 nm，用户也可根据自身需求选择单通道设备，相比而言，双通道设备具备更高的性价比。该设备可以实现2μm以上微米激光检测需求，其中SI传感器尺寸为4mm，而InGaAs传感器尺寸为2mm，因此用户在选用该设备时需要注意激光直径尺寸，且该设备可以搭载导轨，实现M²的检测。
用户可选用型号如下，其中标准型号为S-BR2-DD，该型号为SI & InGaAs微米级光斑检测设备。
S-BR2-DD: Beam'R2-DD (Si & InGaAs - 190 to 1750 nm) scanning slit system, includes 3m USB cable, USB drive with software and user manual.
S-BR2-DD-2300: Beam'R2-DD (Si & InGaAs - 190 to 2300 nm) scanning slit system, includes 3m USB cable, USB drive with software and user manual
S-BR2-DD-2500: Beam'R2-DD (Si & extended InGaAs detectors, 190 to 2500 nm) scanning slit system, includes 3 m USB cable, USB drive with software and user manual.
S-BR2-DD-IGA-2500: Beam'R2-DD (InGaAs & extended InGaAs detectors, 650 to 2500 nm) scanning slit system, includes 3 m USB cable, USB drive with software and user manual.
S-BR2-IGA: Beam'R2-InGaAs scanning slit system, includes 3 m USB cable, USB drive with software and user manual. 650-1750 nm.
S-BR2-Si: Beam'R2-Si scanning slit system, includes 3 m USB cable, USB drive with software and user manual. 190-1150 nm.
方案3：0.5FWHM的CCD微米级光斑检测
以色列DUMA除了BeamAnalyzer以外，同时为用户提供另一款可以检测半峰全宽至0.5μm的CCD型微米光束测量设备μBeam，该设备采用1/4“CCD，470,000分辨率，可检测350-1310 nm波段，该设备通过在传感器前端可装配× 100、×50、×20、×10 物镜，通过等比例放大成像的原理令设备进行数据处理，其物镜工作距离（W.D.）分别为6 mm（× 100 obj）、13mm（× 50 obj）、20 mm（×20 obj）、33.5 mm（×10 obj）。
值得注意的是，以色列DUMA厂家长期备有VIS波段物镜库存，价格相对较低，以×10 obj为例，该物镜覆盖波段范围为436 nm至656 nm，因此在适用该设备的同时不仅需要考虑设备本身CCD的波段范围，同时还要考虑装载物镜所对应的波段，对于其他波段需求，以色列DUMA通过日本的Mitutoyu获得，相比而言价格成本成上浮状。
以色列DUMA允许用户自备物镜，通过邮寄至以色列工厂，为用户加装较准物镜和设备同时安装内部滤波器，该过程进收取装载较准测试及滤波器费用。该设备仅适配单一物镜，无法拆除，若用户自行拆除所导致后续无法校准或导致设备受损，该行为将被判定人为因素导致相应后果，以上均不在售后范围内，若需返厂重新校准，费用自负。
以下为μBeam微米光束测量设备订购信息，以上所有方案中涉及产品均需慎重评估所检测激光功率密度，若因激光因素导致设备损坏，将被判定为人为因素导致，将不纳入设备售后保修范围内，若需返厂，需用户自行承担相应全部费用。
uBeam-x-USB2.0: USB2.0 type system using a 2.0 attachment, measuring head without magnifying lens (X)
X (Magnifying lens): X 100 lens
X (Magnifying lens): X 50 lens
X (Magnifying lens): X 20 lens
X (Magnifying lens): X 10 lens
SAM3: Attachment for high power lasers- Reflective beam sampler, sampling reduction factor 0.0016,
SAM3-HP: Reflective beam sampler, Max power density 1,000,000 W/cm² , with Hot mirror filter
