作者:李zx 时间:2026-03-19
本文通过介绍三丰Mitutoyo的物镜螺纹规格,物镜光学特性,以及对三丰的显微镜单元和物镜损伤阈值进行相关说明。旨在方便客户了解相关参数,依此判断是否适合客户的设备,或设计符合要求的附件和系统。三丰的显微镜物镜螺纹规格符合JISB-7141-1994标准,各径段有明确极限尺寸与误差。各型号的Mitutoyo物镜和显微镜单元有明确激光输入上限和物镜激光损伤阈值,使用支持激光的显微镜单元及显微镜物镜进行的激光加工是以微细加工为目的,无法照射高输出功率的激光。使用之前请预先确认使用激光的注意事项。
物镜螺纹规格
本物镜螺纹规格说明仅适用于三丰Mitutoyo的显微镜物镜螺纹。形状及尺寸符合JIS B-7141-1994,其规定如下。
明视场用物镜、测量显微镜、定心显微镜物镜螺纹规格:
-基准尺寸(单位:mm)
|
螺纹的公称直径 |
螺牙数 (每25.4mm) n |
螺距P |
牙顶及牙底的弧度R |
外螺纹 |
||
|
大径 (d) |
中径 (d₂) |
小径 (d₁) |
||||
|
内螺纹 |
||||||
|
大径 (D) |
中径 (D₂) |
小径 (D₁) |
||||
|
26 |
36 |
0.706 |
0.097 |
26.000 |
25.548 |
25.096 |
-允许极限尺寸及尺寸允许误差(单位:mm)
|
适用部位 |
外螺纹 |
内螺纹 |
|||||
|
大径 (d) |
中径 (d₂) |
小径 (d₁) |
大径 (D) |
中径 (D₂) |
小径 (D₁) |
||
|
允许极限尺寸 |
最大 |
25.896 |
25.502 |
25.050 |
26.076 |
25.624 |
25.230 |
|
最小 |
25.820 |
25.426 |
24.974 |
26.000 |
25.548 |
25.154 |
|
|
尺寸允许误差 |
上 |
-0.104 |
-0.046 |
-0.046 |
+0.076 |
+0.076 |
+0.134 |
|
下 |
-0.180 |
-0.122 |
-0.122 |
0 |
0 |
+0.058 |
|
明暗视场用物镜螺纹规格:
-基准尺寸(单位:mm)
|
螺纹的公称直径 |
螺牙数 (每25.4mm) n |
螺距p |
牙顶及牙底的弧度R |
外螺纹 |
||
|
大径 (d) |
中径 (d₂) |
小径 (d₁) |
||||
|
内螺纹 |
||||||
|
大径 (D) |
中径 (D₂) |
小径 (D₁) |
||||
|
40 |
36 |
0.706 |
0.097 |
40.000 |
39.548 |
39.096 |
-允许极限尺寸及尺寸允许误差(单位:mm)
|
适用部位 |
外螺纹 |
内螺纹 |
|||||
|
大径 (d) |
中径 (d₂) |
小径 (d₁) |
大径 (D) |
中径 (D₂) |
小径 (D₁) |
||
|
允许极限尺寸 |
最大 |
39.896 |
39.502 |
39.050 |
40.076 |
39.624 |
39.230 |
|
最小 |
39.820 |
39.426 |
38.974 |
40.000 |
39.548 |
39.154 |
|
|
尺寸允许误差 |
上 |
-0.104 |
-0.046 |
-0.046 |
+0.076 |
+0.076 |
+0.134 |
|
下 |
-0.180 |
-0.122 |
-0.122 |
0 |
0 |
+0.058 |
|
三丰物镜光学特性:
三丰的物镜按照近红外区、可见区、近紫外区、紫外区的不同波长划分了系列。近红外区系列为M Plan Apo NIR,波长校正范围:480~1800nm。可见光系列区为M(BD)Plan Apo,波长校正范围:436~656nm(基波波长设计为587nm)。近紫外区系列为M Plan Apo NUV,波长校正范围:355~620nm。紫外区系列为M Plan UV,波长校正:266 & 550nm。
除了常用的可见观察外,还适用于红外及紫外观察、激光(YAG、飞秒等)微细加工,提高了特定波长区的透射特性。物镜光学特性如下图所示。
可以按照用户指定的特定波长,设计制作对相应波长的透射特性进行优化的产品。上述透射特性的曲线图并不保证在任何情况下都具有图中的透射率。
显微镜单元及物镜激光损伤阈值:
三丰的显微镜单元VMU、FS70的各系列都备有使用显微镜配备型激光[主要为Nd:YAG激光基波(1064nm)、二次谐波(532nm)、三次谐波355nm)、四次谐波(266nm)]进行激光加工的类型。使用支持激光的显微镜单元及显微镜物镜进行的激光加工是以微细加工为目的,无法照射高输出功率的激光。使用之前请预先确认使用激光的注意事项及物镜激光损伤阈值。
激光适用显微镜单元的激光输入条件
请按照以下条件确定激光输入上限值。另外,光学系统的入射激光视为平行光且无偏振光。
-VMU系列
|
对应机型 |
VMU-LB |
VMU-L4B |
|||||
|
使用波长(nm) |
1064 |
532 |
355 |
1064 |
532 |
355 |
266 |
|
10ns脉冲激光 输入上限值(J/cm2) |
0.099 |
0.075 |
0.025 |
0.11 |
0.080 |
0.035 |
0.015 |
|
连续振荡(CW)激光 输入上限值(kW/cm2) |
0.22 |
0.18 |
0.07 |
0.2 |
0.19 |
0.05 |
0.05 |
-FS70系列
|
对应机型 |
VMU-LB |
FS70L4 |
|||
|
使用波长(nm) |
1064 |
532 |
355 |
532 |
266 |
|
10ns脉冲激光 输入上限值(J/cm2) |
0.090 |
0.075 |
0.018 |
0.075 |
0.015 |
|
连续振荡(CW)激光 输入上限值(kW/cm2) |
0.23 |
0.18 |
0.06 |
0.2 |
0.05 |
物镜损伤阈值
向物镜直接入射激光时,请根据以下条件确定激光输入上限值。另外,光学系统的入射激光视为平行光。
|
对应机型 |
NIR系列 |
NIR系列 NUV系列 UV系列 |
NUV系列 |
UV系列 |
|
使用波长(nm) |
1064 |
532 |
355 |
266 |
|
10ns脉冲激光 输入上限值(J/cm2) |
0.090 |
0.075 |
0.05 |
0.04 |
|
连续振荡(CW)激光 输入上限值(kW/cm2) |
0.23 |
0.2 |
0.16 |
0.12 |
激光的脉冲宽度较小时,请将照射能量密度降低脉冲宽度比值的平方根。
例) 脉冲宽度为1/4时,能量密度约为1/2。
使用波长为1064nm、脉冲宽度为2.5ns的激光时,物镜损伤阈值为0.1(J/cm2)。