uBeam HP系列焦点光斑分析仪，DUMA用于分析高功率焦点光斑的1kW高功率光斑分析仪

微米级光斑在半导体激光加工中的应用十分广泛。尽管光斑的直径已经达到了微米级，但是光斑的形貌和能量分布同样对此类精密加工有着不小的影响。以色列DUMA推出了高功率款的焦点光斑分析仪uBeam HP。微米光斑分析仪对于10um直径以上的光斑，可承受功率可达到1500W，对于10um以下光斑同样能承受100W左右的高功率激光束。DUMA微米级光斑分析仪为需要对DOE等调制后微小光斑的用户提供了全新的选择。

以色列DUMA在原有的uBeam微米光斑分析仪基础上进行了高功率改进。整个焦点光斑分析仪在CCD传感器的基础上添加了用户可以选择的物镜，通过类似于显微镜的观测方式，对焦点处光斑进行放大观察。将微米级的光斑通过物镜，光路进行消色差放大。在保证光束形貌的同时，解决了CCD芯片单个像元比光斑直径大而导致完全无法观测的困境。

DUMA微米级光斑分析仪uBeam HP有×10，×20，×50共3款可选择的观测物镜，微米级光斑分析仪在物镜的前方安装固定了光束采样器，通过对光斑进行分束采样，从而降低入射到CCD靶面上的能量。尽管能量减弱，但是通过显微镜式光路的消色差和物镜的放大，光斑的能量分布依然可以完整的呈现在CCD靶面上。用户可以通过微米光斑分析仪分析光束的能量分布和光束形貌对DOE类光束整形器的光斑进行可视化分析。

DUMA焦点光斑分析仪的适用波段覆盖350~1310nm，根据用户选择的物镜倍率，微米光斑分析仪可以测量10um~300um直径光斑，对于10um直径以下的光斑，需要与我们进行更细致的定制交流。

uBeam HP微米级光斑分析仪主要参数如下：