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纳米压印机,纳米压印模板,微加工掩膜

纳米压印机,纳米压印模板,微加工掩膜

丹麦NILT公司是一家制造纳米压印机,生产纳米压印模板、掩膜而著称的高科技公司。其中,NILT的旗舰产品CNI系列纳米压印机具有热压印(温度达240℃)和 紫外压印(365nm)两种功能 ,其人性化的设计使得整个纳米压印的过程十分简单、灵活且便利。而另一款EZI-UV NIL纳米压印仪器具有高精确度,全晶圆压印的特点,可处理10nm尺寸内的图形,且具有99%的良品率。 型号:CNI V2.1,EZI-UV NIL

所属品牌: 欧洲厂商

应用类型:

产品型号:

负责人:孙工 微透镜
联系电话:13692216712 电子邮箱:zmsun@welloptics.cn

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240℃热压印,365nm紫外压印,1mbar真空压印,NILT纳米压印机

 

NIL TECHNOLOGY Aps (NILT) 的是一家专门从事生产纳米压印机、纳米结构微加工掩膜和各类标准纳米压印模板的高科技公司。其中丹麦NILT公司的纳米压印设备(Nanoimprint lithography Tools)产品主要有CNI系列紫外/热压纳米压印机,以及EZI-UV NIL纳米压印仪器。

丹麦NILT公司纳米压印机能够实现纳米压印、热模压、滚印、注射模塑和紫外压印等多种功能,适用于多种应用。

 

NILT纳米压印机主要应用:

压印易碎的材料、在硅片上制作纳米级光栅

制作压印模板、掩膜

热压高深宽比结构图形

微结构加工

 

CNI系列纳米压印(UV & 热压), 纤细轻巧的纳米压印机

CNI V2.1 是一款专为实验室开发的即插即用,纤细轻巧的纳米压印工具,其能低成本且高效地实现高精度的纳米热压工艺。它兼具热压印和紫外压印两种功能,而且可以快速的实现真空环境下的压印。这个系统可以方便的根据不同需要进行配置,闲置时也易于收藏。

它可以处理各种不同形状、格式以及直达100mm4英寸)的模板和基片。该系统只需要手动装入和取出模板和基片,其余的操作都是自动化进行,同时附带软件还提供了详细的参数设置,让客户对压印过程实行全名的操控。

 

特点:

热压印(温度达240℃)和 紫外压印(365nm)两种功能

真空压印(1mbar

即插即用,纤细轻巧,实验设计、记录、分析的好帮手

 

EZI-UV NIL纳米压印机

EZI UV Nanoimprint System PL400 / 600

EZImprinting是一款具有超高良品产率(> 99%),带有一步自动脱模制式(ONE-STEP AUTO RELEASE)特色的纳米压印光刻平台,可精确运作和处理的10纳米以内的图形。

特点:

可处理10nm尺寸内的图形,99%的良品率

全晶圆压印,6英寸(NTP-600) 4英寸(NTP-400),

一步自动脱模(ONE STEP AUTO-RELEASE)专利,避免基板和模板损伤

PLC可编程式软件和触控界面

可配合软硬模板 ,适合不同大小基板和模板

 

NILT CT100 - 脱模处理设备(Release Agent Treatment Tool

为了达到高质量的压印效果,必须保证模具表面的低能量,以确保模具容易从压印抗蚀剂中脱离。 CT100脱模处理设备是一种易于使用的全自动工具,可在15分钟内对模具进行防粘涂层。

 

NILT PC100 - 等离子清洁设备(Plasma cleaning tool

PC100等离子清洁设备是一款具有下游等离子体的批量清洁工具(晶片垂直放置在腔室内)。 下游等离子体不会攻击任何有机材料,包括晶片表面上的金属。 该工具可配备3 nm滤光片,以确保清洁后晶圆上的颗粒污染极低。

 

NIL仿真软件

NILT提供了Simprint仿真软件,节省宝贵的时间来优化压印参数,

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