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半导体激光器>
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C-995光学斩波器 PDA-750 光电二极管放大器 TIA光电转换产品
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红外探测器 红外热像仪,红外观察仪
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日本Asahi氙灯光源 小型太阳光模拟器 USHIO氙灯 SS系列全反射太阳模拟器(AAA级) Sciencetech可调波长光源 Sciencetech太阳能模拟器 超高效率太阳能模拟器 脉冲太阳能模拟器 光伏检测系统 可调节氙灯光源 IPCE量子效率测量系统 PTS-2-IQE
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其它仪器设备>
Alpha3光片显微镜 光纤激光转速仪 CMOS相机 Micromanipulator探针 宽带脉冲放大器 线阵CCD扫描相机 精密电子天平 LTX光纤链路 FTE系列光时域反射仪 替代ORA2S01, GP2Y0A51SK0F的PSD传感器
光谱类产品

海洋光学光谱仪StellarNet光谱仪

高光谱成像仪>
LIMA激光波长可调的高光谱显微镜 HypIRia高光谱远心镜头 LLTF CONTRAST高光谱可调谐滤波器 HyperCube高光谱相机滤光器 CIMA高光谱共聚焦显微镜 IR VIVO高光谱动物成像系统 VladimIR近红外二区微孔板读数仪 IRina近红外高光谱探针 GRAND-EOS高光谱成像仪 RIMA高光谱拉曼成像系统 IMA高光谱显微成像系统
其他光谱仪>
太阳光谱分析系统 便携式荧光光谱仪分析仪
高光谱相机>
Specim-IQ手持式高光谱成像仪 Specim机载高光谱相机 SPECIM低畸变高光谱相机 SPECIM FX10,FX17,FX50高光谱相机 显微镜3D数字相机 ZeeCam系列3D数字显微镜相机 Alize1.7近红外相机 ZephIR1.7红外相机 S-EOS高光谱相机 V-EOS高光谱相机
通用型光谱仪>
海洋光学Flame系列光谱仪 海洋光学CHEM4光谱仪 双探测器光谱仪 低成本高性价比光谱仪 凹面光栅光谱仪 微型光谱仪 海洋光学USB系列光纤光谱仪
近红外光纤光谱仪>
海洋光学近红外光谱仪 SPS-300远红外THz光谱仪 宽波段近红外光谱仪 DWARF-Star近红外光纤光谱仪 近红外光谱仪 高速红外光谱仪(10μs-1s) Phase Photonics高分辨率光谱仪
高分辨率光谱仪>
高灵敏度光谱仪 HR高分辨率光纤光谱仪 QEPRO系列光纤光谱 StellarNet Inc高分辨率光谱仪 宽波段制冷光谱仪
微型光谱仪>
海洋光学STS光谱仪 超微型光谱仪
拉曼光谱仪>
海洋光学手持拉曼光谱仪 海洋光学拉曼光纤光谱仪 痕量级拉曼分析系统 手持式拉曼分析仪 高性价比拉曼光谱仪 405nm拉曼光谱仪 便携式拉曼光谱仪 高性能拉曼光谱仪
傅里叶光谱仪>
傅里叶变换近红外光谱仪 光纤耦合及OEM傅里叶红外光谱仪 傅里叶变换多通道光栅光谱仪 傅里叶变换超宽带光谱仪 傅里叶变换红外气体分析仪,便携式气相色谱仪 傅里叶变换红外光谱仪
光电二极管,光电探测器
光学镜片

Chroma滤光片飞秒激光镜片

超快光电探测器

变形镜>
MEMS变形镜 ISP可变形反射镜 Dynamic-Optics变形镜,自适应镜头 Phaseform透射式变形镜 Alpao高速闭环自适应光学系统 ALPAO可变形模态反射镜 ALPAO可变形反射镜
其他光学镜片>
紫外相机镜头 格兰偏振棱镜 洛匈偏振器
滤光片>
Alluxa滤光片 Asahi滤光片 半峰全宽0.1nm超窄带滤光片 Chroma滤光片 Andover滤光片 超窄带滤光片(Andover) 中性密度滤光片 干涉滤光片
常规光学元件>
二氧化碳镜片,CO2透镜 中空回射器 LRO高功率CO2激光镜片 主流中空回射器介绍
红外光学元件>
中红外波片 中红外聚焦镜(Innpho)
超宽带消色差波片>
石英波片 Alphalas宽带可调谐波片 Optogama消色差波片 B.Halle消色差波片
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激光啁啾反射镜和啁啾镜对 飞秒激光透镜 Layertec常规激光光学元件 Layertec超快激光光学元件 Layertec特殊激光光学元件 飞秒激光反射镜 德国Layertec飞秒激光分光镜 激光输出耦合镜 激光转向镜 泵镜,泵浦镜 激光短波通光滤波片 飞秒激光偏振片 激光长通滤波片 激光窗口镜 激光标准镜 波片
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棱镜>
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高负载压电晶圆Z轴平台

高负载压电晶圆Z轴平台

Prior Scientific旗下品牌Queensgate推出全新高负载压电晶圆Z轴平台,通过Queensgate的数字闭环控制器可实现更快的响应速度和稳定时间。大尺寸晶圆台设计用于容纳300毫米(12英寸晶圆)的晶圆,负载能力高达8 kg,晶圆平台甚至适用于非常重的晶圆卡盘。电动晶圆台与真空 (HV) 兼容,是电子显微镜室真空台的理想选择。WP-Z-120A Wafer Stage可针对不同的环境和规格进行定制。高负载晶圆台还提供超高真空 (UHV) 和 UHV-RAD 抗辐射版本。OEM晶圆台更高负载的定制版本可用于高达14 kg的负载,并且提供用于平台调平和扫描的倾斜版本。

所属品牌: 英国PRIOR

应用类型:

产品型号:QGWP120A-D1、QGWP120A-UHV-D1

负责人:孙工 平移台及显微镜载物台
联系电话:18927467725 电子邮箱:yqzhang@welloptics.cn

规格书下载 添加到询价单


12英寸晶圆高负载的纳米压电Z轴晶圆载物台



毫秒级响应时间和高带宽使WP-Z-120A晶圆定位系统非常适合需要高吞吐量的应用。电动晶圆台设计用于容纳 300毫米(12英寸晶圆)的晶圆,并提供卓越的性能,负载高达8公斤,适用于重型晶圆卡盘。

该平台使用电容式定位传感器提供纳米位移测量和闭环反馈。弯曲引导在120 μm闭环范围内提供无摩擦且可靠的运动,并通过Queensgate的数字闭环控制器实现快速响应和稳定时间。

Queensgate业务开发经理Alison Raby表示“我们很高兴向市场推出WP-Z-120A大尺寸晶圆台。我们希望设计一款能够承载高负载但实现市场领先的快速响应和稳定时间的纳米压电Z轴晶圆载物台,晶圆扫描仪的设计考虑了OEM客户,并且可以适应轻松升级到新的OEM晶圆台自定义版本。”

WP-Z-120A晶圆平台可针对不同的环境和规格进行定制。它与真空 (HV) 兼容,是电子显微镜室的理想选择。还提供超高真空(UHV)和UHV-RAD抗辐射版本。更高负载的真空台定制版本可用于高达14公斤的负载,并且提供用于平台调平和扫描的倾斜版本。可根据要求提供160 μm的扩展范围和200 mm晶圆的更小尺寸。


高负载压电晶圆Z轴平台

高负载压电晶圆Z轴平台主要应用:

-晶圆或掩模检测应用

-电子显微镜SEM/TEM应用

-干涉测量和计量应用

-显微镜高精度载物台应用

-材料检验应用

-镜面定位应用


高负载压电晶圆Z轴平台定制解决方案:

-真空(HV)兼容版本,非常适合在电子显微镜的真空室中使用

-超高真空 (UHV)UHV-RAD抗辐射版本,具有低放气聚酰亚胺布线

-高负载OEM晶圆台定制版本,可使用高达14公斤

-用于平台调平和扫描的倾斜调制Z轴定制版本

-160 μm的扩展范围

-200 mm晶圆的装配/12英寸晶圆的装配

-可提供用于Prior Scientific载物台H112高精度载物台的转接板

 

高负载压电晶圆Z轴平台技术规格:

纳米晶圆台参数

定值



单位

材质




抛光


非磁性镍



尺寸


375 L X 375 W x 30 H



平台尺寸


350 直径




最小

典型值

最大


闭环行程


140


μm

校准范围

120



μm

共振频率 0 kg


320


Hz

共振频率 5.2 kg


190


Hz

共振频率 8 kg


155


Hz

线性误差


0.1

0.3

%

动态(典型值)





测试负载

0

5.2

8

Kg

平台沉降 1 μm

9

13

14

ms

平台沉降 30 μm

16

22

24

ms

噪声

1.2

1.5

1.8

nm

重复性, 60 μm步进


5.5


nm

3 dB伺服环路带宽

65

45

40

Hz



高负载压电晶圆Z轴平台的NPC-D-6110压电控制器:

高负载压电晶圆Z轴平台可由NPC-D-6110压电控制器驱动控制,NPC-D-6110压电控制器具备20 μm的更新速率,该规格参数在市面上具备极大的优势,其超低噪声的控制模式在高伺服环路带宽或高负载使用下依旧可以保证高分辨率运行。带有加速/减速控制的运动控制算法可减少超调,可以提供更佳的步进稳定时间。该系统提供高达三个出厂设置,可选择的调谐预设使得控制器使用时,对于步进稳定和样品质量进行了优化处理。五个额外的自定义预设可用于自定义调整。

新的速度控制算法为对焦堆叠或对焦包围等应用提供了超平滑的波形。


高负载压电晶圆Z轴平台的操作界面

模拟命令输入和位置输出- 10 – + 10 V0 – 10 V。数字命令可通过USBRS232C或数字正交/步进和方向命令获得。可选的高速RS422C数字接口用于样品精确控制和位置反馈。

提供了一个DLL接口,便于与客户的软件集成。回放自定义编程波形,如光栅扫描或等速剖面的标准功能。可以在自定义点激活单独的数字触发输出,以控制外部设备,例如相机成像等应用需求。


高负载压电晶圆Z轴平台订购和配件信息:

订购型号

晶圆台描述

QGWP120A-D1

300 mm (12") high speed low profile wafer piezo stage 120 μm Z with NPC-D-6100 digital controller

QGWP120A-UHV-D1

300 mm (12”) high speed low profile wafer piezo stage 120μm Z high vacuum compatible with NPC-D-6100 digital controller

配件信息


QGWPADAPT1

H112 to WP120A adapter plate kit

QGWP30

150, 200 and 300 mm (6, 8 & 12”) wafer chuck

QGWP30V

150, 200 & 300 mm (6, 8 & 12”) vacuum hold wafer chuck




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