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高精度电控平移台(1μm)

高精度电控平移台(1μm)

关于加拿大Zaber的产品资讯,厂家推出了X-LDM-AE系列1μm精度电控平移台,适用于要求出色精度的应用。X-LDM-AE高精度平移台采用线性编码器,搭配非接触式无铁芯直线电机,能够实现1μm的位置精度,80nm的高重复精度和低至25nm的移动步长。这款高精度线性平移台具有60mm,110mm,210 mm三种行程选择。

所属品牌: 加拿大Zaber

应用类型:

产品型号:X-LDM-AE

负责人:陈工 平移台及显微镜载物台
联系电话:13418906712 电子邮箱:chenpeng@welloptics.cn

规格书下载 添加到询价单

 


重复性80nm,精度1μm,步进25 nm高精度电控平移台


X-LDM-AE系列为移动磁道电动线性平移台,也被称为1μm精度电控平移台或高精度线性平移台,英文名Linear Motor Stage。这款高精度电控平移台适用于要求出色的精度,和可靠性的应用。中央安装的线性编码器可实现1μm的位置精度和一致的移动步长,步长低至25 nm

X-LDM-AE采用高效无铁芯马达,提供高速和加速同时最大限度地减少热量产生,从而提高可重复性。驱动器和编码器都是非接触式的,没有移动电缆,因此系统寿命很长。

有限行程的需求下,移动式磁道平移台可以提供更高的精度。因为平移台移动的部分是与电流及热源区隔分开的,使得移动能有更好的热稳定性及更低的电噪声干扰。并且stationary forcer是通电后会产生热的装置,被固定在当作散热器的系统底部,这也使得整个系统拥有更好的热稳定性。

X-LDM-AE仅需要标准的48 V电源。它们可连接到计算机的RS-232接口或USB接口,并且可以与任何其他Zaber产品进行多轴连接。并共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。与Zaber的所有产品一样,X-LDM-AE系列设计为“即插即用”,易于设置和操作。X-LDM-AE设备还包括一个数字输入和两个数字输出,用于连接外部系统。X-LDM-AE方便使用于各种量测和真空实验,PLEL实验还有自动化设备等应用上。


X-LDM-AE高精度电控平移台特点

-      高重复性80nm和精度1μmMin增量移动25 nm

-      1 nm分辨率并有线性编码器

-      速度最快可达1.2M/秒,加速度高达3.5g

-      60,110,210 mm三种行程选择

-      内置控制器; 并可与其他Zaber平台多轴串接

-      非接触式无铁芯直线电机,具有超精密,高动态和零间隙

-      一个数字输入和两个数字输出

-      可组合成双轴XY


重复性Repeatability

在稳定条件下,指示设备移动到目标位置反复100次(每次从相同方向接近)时,实际位置的的偏差。

精度(单向)Accuracy (unidirectional)

当从相同方向,在任何两个位置之间移动时可能出现的误差。

增量移动Minimum Incremental Move

定位轴增量移动的步长(Min机械增量)。


X-LDM-AE高精度电控平移台规格参数:

X-LDM-AE规格

参数

Built-in Controller

Yes 

精度(单向)

1 µm 

重复性

< 0.08 µm 

Min增量移动

25 nm 

Max速度

1200 mm/s 

Min速度

0.000001 mm/s 

Speed Resolution

0.000001 mm/s 

Encoder Count Size

1 nm 

编码器类型

Linear analog encoder 

峰值推力

60 N 

峰值连续推力

35 N 

通讯接口类型

RS-232 

通讯协议

Zaber ASCII (Default) 

Maximum Centered Load

120 N 

Maximum Cantilever Load

1200 Ncm 

Guide Type

Crossed-Roller Bearing 

Maximum Current Draw

3000 mA 

电源大小

48 VDC 

电源插头

2-pin screw terminal 

马达电机类型

Moving Magnet Track Linear Motor 

马达电机额定电流

2400 mA/phase 

电感

1.24 mH/phase 

数据线

Locking 4-pin M8 

Limit or Home Sensing

Optical Index Mark 

手动控制

带按钮的分度旋钮

Axes of Motion

LED指示灯

Yes 

安装接口

M6 threaded holes 

工作温度范围

10 to 40 °C 

真空兼容

No 

RoHS Compliant

Yes 

CE Compliant

Yes 

Digital Input

Digital Output


X-LDM-AE高精度线性平移台参数对比:

型号

行程

Max加速度

垂直抖动偏差

水平抖动偏差

X-LDM060C-AE54

60 mm (2.362 ")

34.3 m/s2 (3.50 g)

< 4 µm (< 0.000157 ")

< 3 µm (< 0.000118 ")

X-LDM110C-AE54

110 mm (4.331 ")

24.5 m/s2 (2.50 g)

< 4 µm (< 0.000157 ")

< 3 µm (< 0.000118 ")

X-LDM210C-AE54

210 mm (8.268 ")

14.7 m/s2 (1.50 g)

< 8 µm (< 0.000315 ")

< 5 µm (< 0.000197 ")

X-LDM060C-AE54D12

60 mm (2.362 ")

34.3 m/s2 (3.50 g)

< 4 µm (< 0.000157 ")

< 3 µm (< 0.000118 ")

X-LDM110C-AE54D12

110 mm (4.331 ")

24.5 m/s2 (2.50 g)

< 4 µm (< 0.000157 ")

< 3 µm (< 0.000118 ")

X-LDM210C-AE54D12

210 mm (8.268 ")

14.7 m/s2 (1.50 g)

< 8 µm (< 0.000315 ")

< 5 µm (< 0.000197 ")

型号

Pitch

Roll

Yaw

Moving Mass

X-LDM060C-AE54

0.003 ° (0.052 mrad)

0.002 ° (0.035 mrad)

0.002 ° (0.035 mrad)

1.74 kg (3.828 lbs)

X-LDM110C-AE54

0.005 ° (0.087 mrad)

0.005 ° (0.087 mrad)

0.002 ° (0.035 mrad)

2.29 kg (5.038 lbs)

X-LDM210C-AE54

0.01 ° (0.174 mrad)

0.005 ° (0.087 mrad)

0.005 ° (0.087 mrad)

3.17 kg (6.974 lbs)

X-LDM060C-AE54D12

0.003 ° (0.052 mrad)

0.002 ° (0.035 mrad)

0.002 ° (0.035 mrad)

1.74 kg (3.828 lbs)

X-LDM110C-AE54D12

0.005 ° (0.087 mrad)

0.005 ° (0.087 mrad)

0.002 ° (0.035 mrad)

2.29 kg (5.038 lbs)

X-LDM210C-AE54D12

0.01 ° (0.174 mrad)

0.005 ° (0.087 mrad)

0.005 ° (0.087 mrad)

3.17 kg (6.974 lbs)


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