日本Optosigma多层电介质膜平板半反射镜193反射镜PSMH-30C03/05-10-193和PSMH-30C05/08-10W-193由于是平板型半反射镜，透过基板时产生的波长分散或色差很小，分束比1:1。强激光用电介质膜反射镜193nm ArF反射镜TFMHP-25.4C05-193、TFMHP-30C05-193和TFMHP-50C08-193拥有＞95%的反射率，激光损伤阈值2 J/cm2。
所属品牌： 日本OptoSigma
应用类型：
产品型号：PSMH-30C03-10-193，PSMH-30C05-10-193，PSMH-30C05/08-10W-193，PSMH-30C08-10W-193，PSMH-30C08-10W-193，TFMHP-25.4C05-193，TFMHP-30C05-193，TFMHP-50C08-193
负责人：包程鑫
联系电话：13417596712
电子邮箱：cxbao@welloptics.cn
反射率＞95%，入射角度45°，表面质量10-5，低损耗的193反射镜
日本Optosigma的强激光用电介质膜反射镜TFMHP系列193反射镜是适用于高功率，脉冲Nd-YAG激光（或Yb-YLF激光）或准分子激光的光学系统的反射镜。193nm ArF反射镜根据外径划分成三种型号：TFMHP-25.4C05-193、TFMHP-30C05-193和TFMHP-50C08-193。193nm准分子反射镜的反射率高，可以达到95%以上，经过多个反射镜反射后，光量也不会衰减很多。此外，TFMHP系列193反射镜的镀膜使用吸收小的电介质膜，可以承受大功率激光的连续照射，激光损伤阈值2 J/cm2。
多层电介质膜平板半反射镜193反射镜是用于紫外激光或YAG激光的PSMH系列193nm半反射镜。西格玛光机的PSMH系列193nm半反射镜一共有4款，PSMH-30C03-10-193，PSMH-30C05-10-193，PSMH-30C05/08-10W-193和PSMH-30C08-10W-193。这些193反射镜正面有多层电介质膜，反面有防反射膜，几乎没有光量的损失，有不使光束产生变形的平行平面型，和因反面反射产生鬼影或干涉的影响很少的楔型两种。多层电介质膜平板半反射镜由于是平板型半反射镜，透过基板时产生的波长分散或色差很小，重量也可以减轻。
PSMH系列193nm半反射镜和TFMHP系列193反射镜的指标：
|
类型 |
PSMH系列193nm半反射镜 |
TFMHP系列193反射镜 |
|
材质 |
BK7 合成石英 CaF2 |
BK7 |
|
基板面型精度 |
λ/10 |
λ/10 |
|
镀膜 |
正面：多层电介质膜 反面：防反射膜 |
多层电介质膜 |
|
入射角度 |
45° |
45°±3° |
|
平行度 |
—— |
＜3′ |
|
分束比（反射：透射） |
１：１ |
—— |
|
表面质量 |
10-5 |
10-5 |
|
有效直径 |
外径的90％ |
外径的90％ |
|
反面 |
—— |
抛光面 |
193nm准分子反射镜/193nm ArF反射镜的参数指标：
|
型号 |
外径mm |
厚度mm |
材质 |
平行度 楔形角 |
反射率R 透过率T （P偏光和S偏光的平均值） |
激光损伤阈值 〔J/cm2〕 |
|
PSMH-30C03-10-193 |
φ30 |
3 |
合成石英 |
＜5″ |
T＝45±5 |
1 |
|
PSMH-30C05-10W-193 |
φ30 |
5 |
合成石英 |
1°±5′ |
T＝45±5 |
1 |
|
PSMH-50C05-10-193 |
φ50 |
5 |
合成石英 |
＜5″ |
T＝45±5 |
1 |
|
PSMH-50C08-10W-193 |
φ50 |
8 |
合成石英 |
1°±5′ |
T＝45±5 |
1 |
|
TFMHP-25.4C05-193 |
φ25.4 |
5 |
BK7 |
— |
反射率＞95% |
2 |
|
TFMHP-30C05-193 |
φ30 |
5 |
BK7 |
— |
反射率＞95% |
2 |
|
TFMHP-50C08-193 |
φ50 |
8 |
BK7 |
— |
反射率＞95% |
2 |
193nm准分子反射镜/193nm ArF反射镜的功能说明图：
左：TFMHP系列193反射镜；右：PSMH系列193nm半反射镜
多层电介质膜平板半反射镜平行平面基板和楔形基板
Sensapex显微镜微机械手
