193nm反射镜也称为准分子激光镜、193反射镜和ArF反射镜，镀多层介质镀膜或金属镀膜，在193nm处实现高反射率>96%。激光反射镜193nm的基底材质有熔融石英、CaF2和BK7等，面型精度λ/10，损伤阈值可达2J/cm2，这款深紫外高反镜标准品众多，标准品尺寸有∅12.7-50.8mm，厚度3-12.7mm，其中一英寸的有现货，货期短。193nm准分子激光反射镜常用入射角度为0°和45°，适配激光系统的光束转向、谐振腔搭建等需求。另外，ArF准分子反射镜还可根据用户需求提供定制。
所属品牌： 海纳光学 Highlightoptics
应用类型：
产品型号：TFMHP-25.4C05-193，TFMHP-50C08-193
负责人：韦邦群
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电子邮箱：bqwei@welloptics.cn
193nm，反射率>96%，2J/cm2，ArF准分子激光反射镜
我们提供种类齐全的高品质准分子激光镜，这些激光反射镜193nm为高能准分子激光应用而设计，独特的镀膜技术，为用户提供适用于严苛激光环境的光学元件。
193nm反射镜还可称为深紫外高反镜、193反射镜、准分子激光镜和ArF反射镜。193nm是氟化氩（ArF）准分子激光的特征波长，属于深紫外（DUV）波段。193nm深紫外高反镜镀多层介质镀膜或增强金属镀膜，在193nm处实现高反射率，同时抑制吸收与散射，适配激光系统的光束转向、谐振腔搭建等需求；193nm准分子激光反射镜常用入射角度为0°和45°。
激光反射镜193nm的基底材质有紫外级熔融石英（UV Grade Fused Silica，如Corning 7980，BK7），热稳定性好、波前畸变低、193nm抗辐射性能强；还有一些场景会用CaF₂（氟化钙）进一步提升光学均匀性。另外，ArF准分子反射镜/193反射镜还可根据用户需求提供定制。
准分子激光镜/深紫外高反镜/激光反射镜193nm图示
193nm反射镜/ArF准分子反射镜基底规格：
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规格 |
参数 |
|
材质 |
熔融石英(如康宁7980)，BK-7，CaF2 |
|
镀膜 |
多层电介质膜，金属膜 |
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面型精度 |
λ/10 |
|
表面质量 |
10-5 |
|
有效直径 |
≥80%，≥85% |
193nm反射镜/ArF准分子反射镜的特点：
- ArF反射镜标准品型号多，有库存，货期短
- 193反射镜反射率高，经过多个反射镜反射后，光量也不会衰减很多
- 使用吸收小的电介质膜，可以承受大功率激光的连续照射
193nm准分子激光反射镜/ArF反射镜的应用
- 半导体光刻
- 准分子激光加工
- 科研，超快激光
- 工业检测
193nm准分子激光反射镜/ArF反射镜的标准型号表：
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型号 |
中心波长 |
入射角度 |
反射率 |
尺寸 |
厚度t |
损伤阈值 |
|
102728 |
193nm |
45° |
>95% |
∅25mm |
3mm |
- |
|
107229 |
193nm |
45° |
>95% |
∅25mm |
6.35mm |
- |
|
101354 |
193nm |
45° |
>95% |
∅50mm |
5mm |
- |
|
131307 |
193nm |
0° |
>96% |
∅20mm |
4mm |
- |
|
101713 |
193nm |
0° |
>96% |
∅25mm |
6.35mm |
- |
|
101233 |
193nm |
30° |
>96% |
50x27mm |
3mm |
- |
|
L-00354 |
193nm |
45° |
>92% (goal 96%) |
50x27mm |
1.5mm |
- |
|
L-00206 |
193nm |
45° |
>92% (goal 96%) |
∅25mm |
6.35mm |
- |
|
L-03303 |
193nm |
45° |
>92% (goal 96%) |
60x35mm |
2mm |
- |
|
ARF-1025-45 |
193nm |
45° |
R≥96.0% |
∅25.4mm |
6.35mm |
1 J/cm2, 20ns |
|
ARF-2037-45 |
193nm |
45° |
≥96.0% |
∅50.8mm |
9.53mm |
1 J/cm2, 20ns |
|
ARF-3050-45 |
193nm |
45° |
≥96.0% |
∅76.2mm |
12.7mm |
1 J/cm2, 20ns |
|
DUVA-PM-0512-UV |
193nm |
0-45° |
>90% |
∅12.7mm |
3.18mm |
金属膜,低功率应用 |
|
DUVA-PM-1025-UV |
193nm |
0-45° |
>90% |
∅25.4mm |
6.35mm |
金属膜,低功率应用 |
|
DUVA-PM-2037-UV |
193nm |
0-45° |
>90% |
∅50.8mm |
9.53mm |
金属膜,低功率应用 |
|
TFMHP-25.4C05-193 |
193nm |
45°±3° |
＞95％ |
∅25.4mm |
5mm |
2J/cm2, 20ns, 20Hz,0° |
|
TFMHP-30C05-193 |
193nm |
45°±3° |
＞95％ |
∅30mm |
5mm |
2J/cm2, 20ns, 20Hz,0° |
|
TFMHP-50C08-193 |
193nm |
45°±3° |
＞95％ |
∅50mm |
8mm |
2J/cm2, 20ns, 20Hz,0° |
