Optotune大角度闭环微型振镜采用反射式光学设计，不引入色散，支持多波长与激光系统。Optotune大角度微型振镜最大配备15mm大镜面，机械偏转角可达±25°（X/Y轴），光学扫描范围可达±50°，角度分辨率高达5μrad。设备采用双轴音圈反射镜技术，闭环控制精度优异，重复性RMS为30-100μrad，全带宽频率20Hz（±25°正弦波），大角度步进响应时间仅7.5ms（20°步进）。该光束转向镜结构紧凑，MR系列外形尺寸30×14.5mm，重量轻便，便于集成到各类光学模组中。
所属品牌： 瑞士Optotune
应用类型：
产品型号：MR-15-30，MR-13x15-30，MR-8-30，FMR-20, TP-15-30
负责人：李豪
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电子邮箱：sales11@welloptics.cn
Optotune大角度微型振镜，最大±25° 超大偏转角，4 µrad 角度分辨率
Optotune大角度微型振镜是一种通过精确控制反射角度实现光束指向调节器的光学器件，Beam Steering Device采用音圈电机或MEMS技术实现毫秒级响应，通过激光偏转器实现光束在二维平面内的精确偏转。该技术基于光路调整模块的精密控制，可对入射光束进行亚毫弧度级的精细转向，反射镜作为核心光学元件，通过改变镜面倾角实现光束的2D光束偏转，适用于激光加工、光通信、激光雷达等需要精确控制光束方向的工业应用场景。
图：Optotune 2D mirror
大角度微型振镜产品特色：
-支持二维光束调制，可实现光束方向的精确偏转与灵活控制
-具备微弧度级角度分辨率，满足高精度光学与成像系统需求
-偏转响应速度快，适合动态扫描及高速成像应用
-结构紧凑、重量轻，便于集成到各类光学模组与设备中
-稳定性与重复性高，适合长时间连续运行的工业环境
-反射式光学设计，不引入色散，适用于多波长与激光系统
光束转向镜产品参数表：
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参数项 |
MR-15-30 |
MR-13×15-30 |
MR-8-30 |
FMR-20 |
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产品类型 |
大角度闭环微型振镜 |
精密大角度振镜 |
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偏转轴数 |
2 轴（X / Y） |
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反射镜尺寸 |
Ø15 mm |
13 × 15 mm |
Ø10 mm |
20 × 20 mm |
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机械偏转角（半角） |
±25° / ±25° |
±7° / ±7° |
±10° / ±10° |
0.2°（静态） / 1°（动态） |
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角度分辨率 |
22 µrad |
10 µrad |
10 µrad |
4 µrad |
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重复定位精度（RMS） |
40 µrad |
— |
— |
— |
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全带宽频率 |
20 Hz |
— |
— |
250 Hz |
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外形尺寸（直径×高度） |
30 × 14.5 mm |
30 × 14.5 mm |
30 × 14.5 mm |
51 × 12 mm |
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位置反馈 |
有（闭环） |
有（闭环） |
有（闭环） |
无 |
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工作方式 |
反射式 |
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典型优势 |
大角度扫描 |
紧凑矩形镜面 |
微型化 |
超高分辨率 |
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典型应用 |
视场扩展、360° 视觉 |
AOI 选择 |
紧凑光学系统 |
精密扫描、计量 |
MR-15-30型号作为大角度扫描的代表，配备Ø15mm圆形反射镜，机械偏转角达到±25°/±25°的宽范围，角度分辨率为22μrad，全带宽频率20Hz。其30×14.5mm的紧凑尺寸结合位置反馈闭环系统，特别适合视场扩展和360°全景视觉应用，重复定位精度达40μrad RMS，确保长时间运行的稳定性。
MR-13×15-30型号采用独特的13×15mm矩形镜面设计，在保持相同外形尺寸的同时提供±7°/±7°偏转角，角度分辨率提升至10μrad。这种紧凑矩形镜面设计特别适用于AOI光学检测系统的空间受限场景，实现高效光束控制。
MR-8-30型号以极致微型化为特点，配置Ø10mm反射镜，提供±10°/±10°偏转角，同样具备10μrad角度分辨率和闭环反馈。其微型化设计使其成为紧凑光学系统的理想选择，在医疗设备和便携式仪器中表现出色。
FMR-20精密型号则面向超高精度应用，采用20×20mm方形镜面，静态偏转角0.2°、动态偏转角1°，角度分辨率达到惊人的4μrad，全带宽频率高达250Hz。尽管无位置反馈，但其超高分辨率特性使其在精密扫描和光学计量领域具有不可替代的价值。
全系列产品均采用反射式光学设计，不引入色散，支持多波长与激光系统。结构紧凑、重量轻的特点便于集成到各类光学模组中，微弧度级角度分辨率满足高精度光学与成像系统需求，偏转响应速度快适合动态扫描及高速成像应用，稳定性与重复性高确保在工业环境中长时间连续可靠运行。
精密大角度振镜典型应用场景：
在精密光学控制领域，Optotune大角度微型振镜以其卓越性能成为光束指向调节器的标杆。作为一款先进的精细转向反射镜，这款大角度微型振镜通过创新的闭环控制系统实现了精密大角度振镜的精准定位。该Beam Steering Device采用独特的电磁驱动技术，使2D光束转向镜在二维平面上实现快速偏转。Optotune大角度闭环微型振镜的闭环反馈机制确保了精密大角度振镜的高稳定性，使其在各种环境条件下都能保持优异性能。这款光束指向调节器在工业检测中展现了精细转向反射镜的可靠性，大角度微型振镜的宽角度范围满足了多样化应用需求。在实际应用中，Beam Steering Device的快速响应特性使2D光束转向镜成为动态扫描的理想选择，Optotune大角度闭环微型振镜则为精密对准提供了可靠解决方案。
该产品广泛应用于机器视觉、激光扫描与精密光学系统中。在机器视觉领域，可用于视场扩展与区域选择，实现大范围成像与局部高分辨检测；在激光应用中，适用于光束指向控制、动态扫描及摆动焊接等场景；同时也可用于三维成像、ToF 系统及科研实验中的光路调节，帮助系统在保持紧凑结构的同时提升灵活性与整体性能。
马赫增德光纤干涉仪与迈克尔逊干涉仪
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