EKSMA光束整形器，又称FBSR光束整形器、圆形平顶光透镜、圆形光束整形镜、平顶光束整形器。这种圆形平顶光束整形镜是专门用于生成圆形平顶光斑的光束整形DOE元件。EKSMA光束整形透镜需搭配聚焦镜使用，可以形成平顶轮廓的光斑。可用于入射光为343-1064nm波长，入射光束直径为1.0-6.0mm的高斯光束，通过该平顶光斑整形器，得到均匀的平顶光斑，尺寸大约是衍射极限光斑尺寸的1.5倍。EKSMA平顶光整形器配合扩束器，可调整入射光束的直径，得到所需的光斑尺寸。
所属品牌： 立陶宛EKSMA Optics
应用类型：
产品型号：FBSR-1064/1030/532/515/355/343-1.0~6.0
负责人：郭工
联系电话：13434776712
电子邮箱：syguo@welloptics.cn
EKSMA光束整形器，用于生成衍射极限光斑尺寸的1.5倍的圆形平顶光束
EKSMA光束整形器，是专门用于生成圆形平顶光斑的光束整形DOE元件。EKSMA平顶光整形器，EKSMA光束整形透镜在几乎所有的聚焦镜的焦平面上都能实现圆形平顶光的效果。每个EKSMA Optics FBSR光束整形器都有特定的输入光束直径和工作波长要求。这种平顶光束整形镜可以与任何物镜或场镜组合，可以集成到光束路径的几乎任何位置，甚至可以在扩束器/望远镜的前面或内部。圆形平顶光束整形镜，又称圆形平顶光束整形器、圆形平顶光透镜、FBSR光束整形器、圆形平顶光斑整形器。
这里只列出了圆形的光束整形器型号，其实Eksma还有正方形和直线型的光束整形镜DOE。
由EKSMA Optics的平顶光斑整形器这样的光束整形DOE所产生的圆形平顶光斑的尺寸，大约是衍射极限光斑尺寸的1.5倍。EKSMA Optics圆形光束整形透镜生成的平顶光斑尺寸的大小取决于聚焦镜的焦距（f）、光束直径@1/e²（d）和波长（λ）。EKSMA光束整形透镜这种光束整形DOE所实现的平顶光斑尺寸通常小于100 µm，并且可以通过使用不同的聚焦镜缩放。
使用平顶光斑整形器得到的光斑大致大小可以通过以下公式计算：
2 * λ * f / d 或 λ / NA
其中NA是FBSR光束整形器聚焦光束的数值孔径。
ESKMA圆形平顶光束整形镜实物图
EKSMA圆形光束整形透镜生成的平顶光斑相关参数：
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EKSMA圆形光束整形透镜生成的平顶光斑参数 |
参数数值 |
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EKSMA光束整形透镜平顶光斑尺寸 |
约2×λ×f/d，其中f=焦距，d=光束直径@1/e2 |
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平顶光束整形器效率 |
最高95% |
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均匀性 |
约±2.5%（相对于平顶光斑的平均光强） |
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最大侧模 |
线性平台的1/70（<入射能量的1.5%） |
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焦深（DOF） |
比瑞利长度小30% |
EKSMA圆形平顶光束整形镜基底相关参数：
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EKSMA光束整形器基底参数 |
参数数值 |
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平顶光束整形器材质 |
熔融石英 |
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透过率 |
>99% |
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激光损伤阈值@10ns |
10 J/cm² @ 1064 nm 5 J/cm² @ 532 nm 3 J/cm² @ 355 nm |
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圆形光束整形镜尺寸 |
⌀25.4 x 3 mm |
EKSMA圆形光束整形镜工作要求：
-高斯光束，TEM00模式。光束质量M²大于等于1.4
-光路中的所有元件通光孔径大于光束直径@ 1/e²的2.2 倍
-必须横向对齐（平移），围绕光轴旋转有助于对齐平顶光的方向
与平顶光透镜搭配的其他光学设备：
-必须设备：聚焦镜，平顶光打在聚焦镜的焦平面
-实用设备：扩束器，用于调整光束直径以符合有效孔径要求，以及调整所需的光斑尺寸
-有用设备：光束分析仪，可用在平顶光透镜对准时检查形状
EKSMA平顶光整形器标准品：
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EKSMA平顶光整形器型号 |
工作波长 |
入射光直径@ 1/e² |
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FBSR-1064-1.0 |
1064 nm |
1.0 mm |
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FBSR-1064-1.5 |
1064 nm |
1.5 mm |
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FBSR-1064-2.0 |
1064 nm |
2.0 mm |
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FBSR-1064-2.5 |
1064 nm |
2.5 mm |
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FBSR-1064-3.0 |
1064 nm |
3.0 mm |
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FBSR-1064-3.5 |
1064 nm |
3.5 mm |
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FBSR-1064-4.0 |
1064 nm |
4.0 mm |
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FBSR-1064-4.5 |
1064 nm |
4.5 mm |
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FBSR-1064-5.0 |
1064 nm |
5.0 mm |
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FBSR-1064-5.5 |
1064 nm |
5.5 mm |
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FBSR-1064-6.0 |
1064 nm |
6.0 mm |
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FBSR-1030-1.0 |
1030 nm |
1.0 mm |
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FBSR-1030-1.5 |
1030 nm |
1.5 mm |
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FBSR-1030-2.0 |
1030 nm |
2.0 mm |
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FBSR-1030-2.5 |
1030 nm |
2.5 mm |
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FBSR-1030-3.0 |
1030 nm |
3.0 mm |
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FBSR-1030-3.5 |
1030 nm |
3.5 mm |
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FBSR-1030-4.0 |
1030 nm |
4.0 mm |
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FBSR-1030-4.5 |
1030 nm |
4.5 mm |
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FBSR-1030-5.0 |
1030 nm |
5.0 mm |
|
FBSR-1030-5.5 |
1030 nm |
5.5 mm |
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FBSR-1030-6.0 |
1030 nm |
6.0 mm |
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FBSR-532-1.0 |
532 nm |
1.0 mm |
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FBSR-532-1.5 |
532 nm |
1.5 mm |
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FBSR-532-2.0 |
532 nm |
2.0 mm |
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FBSR-532-2.5 |
532 nm |
2.5 mm |
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FBSR-532-3.0 |
532 nm |
3.0 mm |
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FBSR-532-3.5 |
532 nm |
3.5 mm |
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FBSR-532-4.0 |
532 nm |
4.0 mm |
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FBSR-532-4.5 |
532 nm |
4.5 mm |
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FBSR-532-5.0 |
532 nm |
5.0 mm |
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FBSR-532-5.5 |
532 nm |
5.5 mm |
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FBSR-532-6.0 |
532 nm |
6.0 mm |
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FBSR-515-1.0 |
515 nm |
1.0 mm |
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FBSR-515-1.5 |
515 nm |
1.5 mm |
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FBSR-515-2.0 |
515 nm |
2.0 mm |
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FBSR-515-2.5 |
515 nm |
2.5 mm |
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FBSR-515-3.0 |
515 nm |
3.0 mm |
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FBSR-515-3.5 |
515 nm |
3.5 mm |
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FBSR-515-4.0 |
515 nm |
4.0 mm |
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FBSR-515-4.5 |
515 nm |
4.5 mm |
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FBSR-515-5.0 |
515 nm |
5.0 mm |
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FBSR-515-5.5 |
515 nm |
5.5 mm |
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FBSR-515-6.0 |
515 nm |
6.0 mm |
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FBSR-355-1.0 |
355 nm |
1.0 mm |
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FBSR-355-1.5 |
355 nm |
1.5 mm |
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FBSR-355-2.0 |
355 nm |
2.0 mm |
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FBSR-355-2.5 |
355 nm |
2.5 mm |
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FBSR-355-3.0 |
355 nm |
3.0 mm |
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FBSR-355-3.5 |
355 nm |
3.5 mm |
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FBSR-355-4.0 |
355 nm |
4.0 mm |
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FBSR-355-4.5 |
355 nm |
4.5 mm |
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FBSR-355-5.0 |
355 nm |
5.0 mm |
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FBSR-355-5.5 |
355 nm |
5.5 mm |
|
FBSR-355-6.0 |
355 nm |
6.0 mm |
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FBSR-343-1.0 |
343 nm |
1.0 mm |
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FBSR-343-1.5 |
343 nm |
1.5 mm |
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FBSR-343-2.0 |
343 nm |
2.0 mm |
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FBSR-343-2.5 |
343 nm |
2.5 mm |
|
FBSR-343-3.0 |
343 nm |
3.0 mm |
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FBSR-343-3.5 |
343 nm |
3.5 mm |
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FBSR-343-4.0 |
343 nm |
4.0 mm |
|
FBSR-343-4.5 |
343 nm |
4.5 mm |
|
FBSR-343-5.0 |
343 nm |
5.0 mm |
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FBSR-343-5.5 |
343 nm |
5.5 mm |
|
FBSR-343-6.0 |
343 nm |
6.0 mm |
EKSMA圆形光束整形镜光斑示意图
Alpes量子级联激光器(连续型)
BeamOn WSR
手动探针平台4060
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