Innofocas 5um微区膜厚仪对于微米级表面尺寸光学反射率、薄膜厚度及膜层材料光学参数可以快速测量来达到用户快速检测和计算的目的。Innofocas 微区膜厚仪可以在1s内同时获取材料的单层薄膜厚度和重要光学参数。因此Innofocas微区薄膜测量仪适用于科研实验室、工厂生产线以及实地检测等场景。
所属品牌：
应用类型：
产品型号：Micro-spot Optical Thin Film Analyzer
负责人：吴闻起
联系电话：13691896712
电子邮箱：wqwu@welloptics.cn
0.2nm精度微点膜厚仪，应用于薄膜检测和光学参数测量的微区域膜厚仪
Innofocas微区薄膜测量仪采用亚毫米级的小光斑，膜厚测量仪测量用的光斑直径从5um到100um。波长范围覆盖可见光和近红外光（350~1000nm）以及短波红外光（1000~1700nm）。微区薄膜测量仪测量光谱分辨率可小至0.25nm，反射率测量的精度<0.05%。微区薄膜测量仪对于测量光斑的直径，可以提供5um，10um，50um，80um和100um进行选择。膜厚测量仪主要测量的是材料表面的反射率，镀膜的膜层厚度，以及被测材料的光学常数。
Innofocas单点膜厚仪对于膜厚的测量精度可以达到0.2nm，5um微区膜厚仪对于光学镜片的膜厚检测，医疗器械表面涂层，以及半导体制造中各个方面都能有较好的使用效果。微点膜厚仪对单点区域的膜厚或者光学常数的测量时间非常快，5um微区膜厚仪整体的耗时小于0.1s，微区域膜厚仪可以测量的膜厚区域为15nm~100um。微区域膜厚仪自带的平台和位移微分头可以容纳100mm大小的样品。
Innofocas微区薄膜测量仪主要特点：
-膜厚测量仪可选350nm~1000nm和1000~1700nm测试波段。
-快速测量（小于0.1s）
-膜厚测量范围广（15nm~100um）
单点膜厚仪主要应用：
-科研材料测量
-非接触式薄膜测试
-工业生产质量检测
-特殊的科研检测应用
微点膜厚仪主要参数：
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微点膜厚仪Micro-spot Optical Thin Film Analyzer |
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测量项目 |
反射率，膜层厚度及光学常数（n&k） |
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光斑尺寸 |
5/10/50/100um |
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膜厚范围 |
15nm~100um |
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测量精度 |
0.2nm |
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测量时间 |
单点测量时间小于0.1s |
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光谱范围 |
350~1000nm/1000nm~1700nm |
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样品尺寸 |
1mm~100mm |
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仪器重量 |
2.8kg |
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仪器尺寸 |
290×230×250mm |
Innofocas单点膜厚仪对于目前很火的运用于锂电池中的薄膜测量，微点膜厚仪同样可以通过光学方式进行无接触测量。在保证了测试的安全性的同时加快了检测速度和检测参数的有效性。
