德国CryLaS提供的二极管泵浦固体激光器FQCW266高功率激光器主要针对深紫外波段使用，瓦级266nm连续激光器FQCW266-600和FQCW266-1200具有窄线宽（＜300kHz），高功率（600mW和1200mW）和光束质量好（M²<1.3）的特点。CryLaS高功率266nm连续激光器的出现有利于推动半导体制造与检测技术，特殊材料精密加工和光谱分析的进步。
所属品牌： 德国CryLaS
应用类型：
产品型号：FQCW266-600和FQCW266-1200
负责人：陈工
联系电话：13418906712
电子邮箱：chenpeng@welloptics.cn
266nm，600mW和1200mW，＜300kHz的CryLaS 266CW激光器
德国CryLaS致力于266CW激光器的研发与生产，在2025年德国慕尼黑展会上推出了全新的600mW深紫外连续激光器和1.2W深紫外连续激光器——FQCW266-600和FQCW266-1200，并且计划在2026年实现这两款高功率266nm连续激光器的量产。
FQCW266高功率激光器是属于二极管泵浦固体激光器（DPSS），采用紧凑型模块化设计，占地面积小，包含激光头和控制单元，可通过串行（RS232和USB）接口进行按钮控制或远程控制操作，即插即用。CryLaS激光器FQCW266-600和FQCW266-1200的的波长公差仅为0.05nm，功率稳定性＜0.2%rms（0.5Hz，超过8小时）。600mW深紫外连续激光器FQCW266-600的输出功率可调范围为60-600mW，1.2W深紫外连续激光器FQCW266-1200的输出功率可调范围为120-1200mW。FQCW266高功率激光器具有出色的光束性能，高功率深紫外激光器的M²<1.3,
TEM00，光束直径1.1±0.2mm，光束发散角＜0.45mrad。
瓦级266nm连续激光器FQCW266-600和FQCW266-1200的特点：
-266nm连续波
-单模，窄线宽＜300kHz
-低功率噪声，＜0.1%rms（1Hz-100kHz）
-具有优异光束性能的真实光束，M²<1.3, TEM00
-闭环操作，控制和调整输出功率，功率可调60-600mW和120-1200mW
-紧凑、坚固的设计和气封外壳
高功率266nm连续激光器/266CW激光器的规格参数：
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瓦级266nm连续激光器 |
FQCW266-600 |
FQCW266-1200 |
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266CW激光器的光学参数 |
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波长 |
266±0.05nm |
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标称输出功率 |
600mW±5% |
1200mW±5% |
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输出功率可调范围 |
60-600mW |
120-1200mW |
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线宽 |
＜300kHz |
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光束传播因子M2 (平均) |
<1.3, TEM00 |
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光束传播因子M2x(水平) |
<1.2, TEM00 |
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光束传播因子M2y(垂直) |
<1.35, TEM00 |
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偏振方向和纯度 |
垂直，>500:1 |
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光束直径 |
1.1±0.2mm |
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光束发散角 |
＜0.45mrad |
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静态对准公差 |
Lateral±0.25mm | Angular±2.5mrad |
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点间光束指向偏差 |
±225μrad |
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功率稳定性（0.5Hz，超过8小时） |
＜0.2%rms |
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功率噪声（1Hz-100kHz） |
＜0.1%rms |
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功率噪声（100kHz-250MHz） |
＜0.2%rms |
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高功率266nm连续激光器的使用寿命 |
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典型紫外晶体光斑寿命 |
2000小时 |
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典型寿命（首次维护前） |
16000小时 |
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高功率深紫外激光器的电气数据 |
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平均功耗（最大） |
＜200W（450W） |
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线路电压 |
90-250V AC(50-60Hz) |
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通信接口 |
USB | RS232 | Ethernet |
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安全特性 |
钥匙开关|联锁|电动快门 |
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瓦级266nm连续激光器的其他参数 |
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典型预热时间（最大） |
30min（45min） |
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工作温度（激光头） |
20-25°C (无凝结) |
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通过轴承表面冷却，所需热阻 |
1/40K/W@25°C | 1/20K/W@20°C冷却表面 |
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激光头尺寸 |
<120x310x715mm³ (H x W x L) |
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控制单元尺寸 |
<184x483x411mm³ (H x W x L) |
<134x483x411mm³ (H x W x L) |
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激光头重量 |
<36kg |
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控制单元重量 |
<12kg |
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激光出射窗口吹扫电源 |
流量0.2I/分钟，CDA, SH<10PPM或N2(纯度等级5.0“科学级”或更高） |
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高功率深紫外激光器FQCW266-600的尺寸图
ARTRAY近红外相机
