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衍射光学元件(DOE)

光束整形器分束镜螺旋相位片

微透镜

微透镜阵列 工程散射片

激光器及附件

量子级联激光器266nm激光器

超连续谱激光器>
gem系列固体连续波激光器 Laser Quantum固体连续激光器 OPUS固态连续波激光器 Disco紫外超连续谱激光器 中红外超连续谱激光器 近红外超连续激光器 工业级超连续谱固体激光器 单波长或连续谱激光器 Leukos高功率超连续谱光源 中功率超连续谱激光器 可调脉宽和重复频率的超连续激光器
量子级联激光器>
Alpes外腔量子级联激光器 Alpes量子级联激光器(脉冲型) Alpes量子级联激光器(连续型) Block Engineering量子级联激光器 OEM量子级联激光器mQCL LaserTune量子级联激光器 滨松分布反馈式量子级联激光器 HAMAMATSU分布反馈式准直输出量子级联激光器 滨松量子级联激光器
半导体激光管驱动>
AeroDIODE SOA脉冲驱动器 AeroDIODE脉冲选择器同步板 AeroDIODE DFB封装半导体激光管 AeroDIODE多通道激光管驱动器 AeroDIODE自定义脉冲形状高速半导体激光管驱动器 AeroDIODE低噪声CW激光管驱动器 AeroDIODE脉冲半导体激光二极管驱动器 AeroDIODE高功率半导体激光管驱动器
飞秒激光器>
Clark-MXR钛蓝宝石飞秒激光器 飞秒皮秒OPO Radiantis Inspire飞秒OPO Radiantis ORIA红外飞秒OPO Laser Quantum飞秒激光器venteon GHz飞秒激光器taccor系列 gecco系列飞秒激光器 脉宽可调飞秒激光器 neoLASE激光放大器 neoMOS超短脉冲激光器 60W飞秒光纤激光器 70fs飞秒光纤激光器 飞秒光纤激光器 Alphalas超快激光器
皮秒激光器>
高能量皮秒激光器 皮秒半导体激光器 RGH系列皮秒激光器 PS系列皮秒激光器
纳秒激光器>
Canlas放大器 Canlas高峰值功率固体激光器 Canlas高重频调Q激光器 CryLaS脉冲激光器 DM系列纳秒激光器 1.54μm人眼安全激光器 Optogama被动调Q固体激光器
半导体激光器>
Frankfurt激光二极管 VCSEL激光器 Inphenix分布式反馈激光器 Roithner激光二极管 FP激光器 蓝光半导体激光器 激光二极管驱动器 皮秒脉冲激光二极管 光纤耦合激光二极管
其它激光器>
Skylark单频连续DPSS激光器 激光眩目枪 266nm连续激光器CryLaS 微片激光器 DPSS激光器 CP-332/CP-544激光器 氦氖激光器,HeNe激光器 替代CP-220S的CP-558激光器 2μm飞秒光纤激光器
其它激光配件>
SOA半导体光放大器
可饱和吸收镜>
SESAM可饱和吸收镜 共振可饱和吸收镜 RSAM PCA 光导天线 可饱和吸收耦合输出镜SOC 可饱和吸收体SA
红外激光器>
Brevity λ中红外飞秒激光器(1.7um, 2.1um) Brevity中红外激光器(1.93um,1.96um)
稳频激光器及配件>
SLS稳频激光器腔体外壳 Stable Laser Systems稳频激光器电子模块 SLS稳频激光器 Stable Laser Systems法布里-珀罗腔
CO2激光器>
Synrad Firestar i401 CO2激光器 Synrad 32-1 CO2激光器 新锐Synrad 48-1 CO2激光器 新锐Synrad V30 CO2激光器
 
激光分析诊断设备

光斑分析仪 位敏探测器 自准直仪

光束质量分析仪(M2) 激光波长计

光斑分析仪>
BeamOn X光斑分析仪 BeamOn WSR光斑分析仪 WinCamD-LCM光束分析仪 BeamOn U3-E光斑分析仪 BeamOn HR 4/3''光斑分析仪 BeamOn HR 1''光斑分析仪 通讯波段光束质量分析仪 BeamOn 光斑分析仪 BeamOn U3光斑分析仪 uBeam微米级光斑分析仪 Beamon HR高分辨率光斑测试仪 LAM U3激光轮廓仪 刀口式光斑分析仪 多光束相机式光束分析仪 DataRay红外光斑分析仪 WinCamD系列光斑分析仪
光斑分析仪附件>
DataRay光束采样器 Dataray紫外转换器
特殊光斑分析仪>
BeamOn LA U3-E光束轮廓分析仪 BeamOn LA U3大孔径光斑分析仪 LBPS大尺寸光斑分析仪 线激光光斑分析仪LLPS BeamOn LA大口径光斑分析仪 DataRay大光斑分析仪
位敏探测器>
位敏探测器 Anglemeter激光指向稳定测量仪
自准直仪>
1550nm电子自准直仪 TAL系列激光电子自准直仪 TRIOPTICS大视场电子自准直仪 TA NIR系列电子自准直仪 TriAngle Focus系列调焦电子自准直仪 TRIOPTICS高精度电子自准直仪 TriAngle电子自准直仪 全站型激光自准直仪 LA100 激光自准直仪 EAC-1012-19-XR自准直仪 无线激光准直仪 激光准直器偏移设备 宽视角电动自准直仪 EAC-FOV Alignmeter激光准直仪 内调焦激光准直仪 高精度自动准直仪 激光分析望远镜
光束质量分析仪>
导轨式光束分析仪 聚焦光束质量分析仪 高功率聚焦激光轮廓分析仪 光束质量分析仪,M2仪 LAM-BA激光增材专用光束质量分析仪 光束质量分析仪 M2Beam 大功率光束分析仪 狭缝扫描式光束质量分析仪BeamMap2
波长测量仪器>
SHR,SHR-IR激光波长计
功率能量测量仪器>
光斑分析仪激光功率计 激光能量计(1Hz) 水冷激光功率计 激光功率计 功率计,激光功率计 能量计,激光能量计
波前分析仪>
SID4 SWIR HR近红外波前分析仪 SID4 HR高分辨率波前传感器 SID4紫外高分辨率波前分析仪 Phasics定量相位成像相机 法国Phasics波前探测器,波前分析仪
传函仪>
ImageMaster HR光学传函仪 ImageMaster 系列光学传函仪 高精度光学传函仪ImageMaster MTF测试仪,光学传递函数测量仪
 
晶体

激光晶体非线性晶体  CLBO晶体

光学仪器

AAA级太阳能模拟器光学斩波器

相机>
爱普生分光相机 Bobcat320红外相机Xenics Xenics远红外相机 中红外相机 Xenics红外相机 红外相机 CCD相机 CCD红外相机,CMOS红外相机
单色仪>
单色仪
电生理仪器>
MDI可编程微针拉针仪 多通道显微注射器MDI MDI细胞微量注射器 可编程多管拉针仪PMP-107 MDI可编程微针拉针器 MFG-5煅-磨针一体化平台 Master-8刺激器 Master-9脉冲发生器 ISO-Flex刺激隔离器
光谱仪器>
全角度透反射测量系统 透过率测试仪 量子效率测量系统 光谱电化学工作站
光纤测量仪器>
光时域反射仪OTDR FTE系列光时域反射仪
偏振光学仪器>
径向偏振转换器 可变螺旋板 可变相位延迟器 偏振旋转器
多边形扫描镜>
PLS多边形扫描头 PLS激光清洗多边形扫描镜 PLS多边形扫描控制器 多边扫描器
激光教学仪器>
Phywe半导体泵浦的固体激光器教学设备 固体激光器教学设备 光纤激光器教学装置 掺铒光纤放大器教学设备 半导体激光器教学实验仪器
光电转换器>
C-995光学斩波器 PDA-750 光电二极管放大器 TIA光电转换产品
红外热像仪>
7215红外热像仪 红外观察仪IRViewer IR Viewer 红外观察仪 红外探测器 红外热像仪,红外观察仪
太阳能模拟器>
日本Asahi氙灯光源 小型太阳光模拟器 USHIO氙灯 SS系列全反射太阳模拟器(AAA级) Sciencetech可调波长光源 Sciencetech太阳能模拟器 超高效率太阳能模拟器 脉冲太阳能模拟器 光伏检测系统 可调节氙灯光源 IPCE量子效率测量系统 PTS-2-IQE
光调制器>
马赫增德光纤干涉仪与迈克尔逊干涉仪 Optiphase中范围光纤拉伸器PZ3 Optiphase高效光纤拉伸器PZ2 Optiphase光纤拉伸器
其它仪器设备>
Alpha3光片显微镜 光纤激光转速仪 CMOS相机 宽带脉冲放大器 线阵CCD扫描相机 精密电子天平 LTX光纤链路 替代ORA2S01, GP2Y0A51SK0F的PSD传感器
光谱类产品

海洋光学光谱仪StellarNet光谱仪

高光谱成像仪>
LIMA激光波长可调的高光谱显微镜 HypIRia高光谱远心镜头 LLTF CONTRAST高光谱可调谐滤波器 HyperCube高光谱相机滤光器 CIMA高光谱共聚焦显微镜 IR VIVO高光谱动物成像系统 VladimIR近红外二区微孔板读数仪 IRina近红外高光谱探针 GRAND-EOS高光谱成像仪 RIMA高光谱拉曼成像系统 IMA高光谱显微成像系统
紧凑型光谱仪>
AvaSpec-ULS2048XL-EVO高量子效率光谱仪 AvaSpec-Hero高信噪比光谱仪 Avantes紧凑型光谱仪 AvaSpec-Mini2048CL光纤光谱仪 AvaSpec-Mini4096CL微型光纤光谱仪
其他光谱仪>
AvaSpec-ULS2048CL-EVO超低杂散光光谱仪 太阳光谱分析系统 便携式荧光光谱仪分析仪
高光谱相机>
InSPINDLE三维显微镜相机 SpecimINSIGHT高光谱软件 LabScanner扫描平台 SPECIM GX17高光谱相机 Specim-IQ手持式高光谱成像仪 Specim机载高光谱相机 SPECIM低畸变高光谱相机 SPECIM FX10,FX17,FX50高光谱相机 显微镜3D数字相机 ZeeCam系列3D数字显微镜相机 Alize1.7近红外相机 ZephIR1.7红外相机 S-EOS高光谱相机 V-EOS高光谱相机
通用型光谱仪>
海洋光学Flame系列光谱仪 海洋光学CHEM4光谱仪 双探测器光谱仪 低成本高性价比光谱仪 凹面光栅光谱仪 微型光谱仪 海洋光学USB系列光纤光谱仪
近红外光纤光谱仪>
Avantes微型近红外光谱仪 海洋光学近红外光谱仪 SPS-300远红外THz光谱仪 宽波段近红外光谱仪 DWARF-Star近红外光纤光谱仪 近红外光谱仪 高速红外光谱仪(10μs-1s)
高分辨率光谱仪>
AvaSpec-ULS4096CL-EVO超低杂散光光谱仪 SR4光谱仪 高灵敏度光谱仪 HR高分辨率光纤光谱仪 QEPRO系列光纤光谱仪 StellarNet Inc高分辨率光谱仪 宽波段制冷光谱仪
微型光谱仪>
海洋光学STS光谱仪 超微型光谱仪
拉曼光谱仪>
Avantes拉曼光谱仪 海洋光学手持拉曼光谱仪 海洋光学拉曼光纤光谱仪 痕量级拉曼分析系统 手持式拉曼分析仪 高性价比拉曼光谱仪 405nm拉曼光谱仪 便携式拉曼光谱仪 高性能拉曼光谱仪
傅里叶光谱仪>
傅里叶变换近红外光谱仪 傅里叶变换多通道光栅光谱仪 傅里叶变换超宽带光谱仪 傅里叶变换红外气体分析仪,便携式气相色谱仪 傅里叶变换红外光谱仪
光电二极管,光电探测器

超快光电探测器红外探测器

光学镜片

Chroma滤光片飞秒激光镜片

振镜>
仿SCANcube IV 14振镜 剑桥62xxK和8320K检流计振镜 CRS系列共振型扫描振镜 剑桥MOVIA振镜
滤光片>
中红外长通滤波片 中红外滤光片 Alluxa滤光片 Asahi滤光片 半峰全宽0.1nm超窄带滤光片 Chroma滤光片 Andover滤光片 超窄带滤光片(Andover) 中性密度滤光片 干涉滤光片
波片>
紫外零级波片 高阶S波片 径向偏振转换片 S波片 石英波片 中红外波片 波片
超宽带消色差波片>
Alphalas宽带可调谐波片 Optogama消色差波片 B.Halle消色差波片
飞秒激光镜片>
GT干涉镜 Layertec激光啁啾镜/啁啾镜对 激光啁啾反射镜和啁啾镜对 飞秒激光透镜 Layertec常规激光光学元件 Layertec超快激光光学元件 激光扫描镜 Layertec特殊激光光学元件 飞秒激光反射镜 德国Layertec飞秒激光分光镜 激光输出耦合镜 激光转向镜 泵镜,泵浦镜 激光短波通光滤波片 激光长通滤波片 激光标准镜
扩束镜>
MEX-V2电动激光扩束镜 立式电动激光扩束器MEX-V 反射式扩束镜 非球面扩束镜 扩束镜波前校正器 可变扩束器 电动扩束器 固定倍率扩束器
偏振光学镜片>
太赫兹偏振片 3photon薄膜偏振片TFP 去偏振补偿器 空间可变波片SVR 格兰偏振棱镜 洛匈偏振器 太赫兹偏振片 飞秒激光偏振片
透镜>
WOP锥透镜 Asphericon非球面柱面镜 锥镜 平凸透镜,透镜 Anteryon非球面镜 中红外聚焦镜(Innpho) 平凹透镜 双凸透镜,双凸球面镜 双凹球面镜,双凹透镜 平凹柱面透镜,透镜 平凸柱面透镜,柱面镜 锥透镜,轴锥镜 Asphericon非球面镜
棱镜>
四角匀光棒 菲涅尔棱镜 等边色散棱镜,色散棱镜 直角棱镜,棱镜 五角棱镜 角锥棱镜回射器
反射镜>
193nm/248nm反射镜 OptoSigma超级反射镜 低色散镜/啁啾镜 高面型精度反射镜 宽带介质膜反射镜 可变反射镜 激光线反射镜 宽带反射镜 中空回射器 多波长介质膜高反射镜 激光腔输出耦合器,输出镜 主流中空回射器 谐波分离器,波长分光镜 高斯反射镜 金属膜反射镜
窗口片>
CO2激光窗片 曲面窗口片 高精度窗口片 飞秒激光窗口片
变形镜>
MEMS变形镜 ISP可变形反射镜 Dynamic-Optics变形镜,自适应镜头 Phaseform透射式变形镜 Alpao高速闭环自适应光学系统 ALPAO可变形模态反射镜 ALPAO可变形反射镜
二氧化碳激光镜片>
CO2平面/平凹/平凸反射镜 CO2激光分光镜/合束镜 CO2平凸/平凹/弯月激光聚焦镜 CO2激光相位延迟反射镜 二氧化碳镜片,CO2透镜 LRO高功率CO2激光镜片
其他光学镜片>
紫外相机镜头
 
光学配件

激光防护眼镜激光护目镜 

光隔离器>
Moltech隔离器 Moltech高功率隔离器
特种光纤>
AeroDIODE光纤耦合AOM fiberware微结构光纤 渐变折射率光纤 fiberware PCS光纤 fiberware HCS光纤 fiberware 单模光纤 弯曲不敏感光纤 掺锗光纤 fiberware多模光纤 匀化光纤
激光防护眼镜>
激光防护观察罩 激光防护窗 激光防护面罩 10万瓦激光防护镜OD13+ 1064nm激光安全眼镜OD10 NOIR激光防护眼镜 Laservision激光防护镜 美国Laservision激光护目镜 1064nm激光防护眼镜 532nm激光防护眼镜 355nm激光防护眼镜 YG3,YG2激光护目镜 ARG,EC2激光护目镜 DBD,DBY激光护目镜 FG1激光护目镜 YLW激光护目镜 NOIR激光防护镜 医用防护眼镜 千瓦万瓦激光防护眼镜 OD9+
激光附件>
Optogama电动偏振旋转器 LPA-OEM激光功率衰减器 非偏振电动激光衰减器LPA-U 193nm衰减器AVACS 宽波段红外探测卡 多波段红外探测卡 Phts红外激光观察卡 Phts大面积红外激光观察卡 普克尔斯盒 激光微芯片,BATOP皮秒光纤激光器评估套件 电动/手动激光衰减器 激光可视器
TEC>
单极TEC半导体制冷片 多级TEC热电模块
镜架>
高稳定二维镜架 电动光学调整架 电动万向镜架 五轴光学调整架 六轴调整架
光源>
6500W超高功率弧光灯 大功率氙气灯 氘灯,氘钨灯 卤钨灯,卤素灯 350-2500nm 拉曼激光光源,led光源 科研级氙弧灯
其它光学配件>
FBG温度传感器 玻璃真空吸盘 Optogama手动四轴平移台 光纤光栅传感器 摆镜,扫摆镜,扫描摆镜 生物医疗孔板,医疗样品池 离轴抛物面式光纤耦合器
平移台及显微镜载物台

显微镜载物台自动对焦

Zaber电控平移台MinusK隔振台

电控平移台>
LDQ电动平移台 LDA线性平移台 1μm精度Z轴升降台 XY二维移动平台/显微镜载物台 Lexitek湍流相位板电动旋转台 Zaber线性制动器 Zaber电控平移台 高精度旋转台,升降台 真空平移台 多轴电动平移台 高精度电控平移台(1μm)
Marzhauser型号>
SCAN plus系列显微镜载物台 SCAN IM系列倒置显微镜载物台 SCAN系列正置显微镜载物台
手动平移台>
XYZ 300微型手动平移台 微型手动平移台
PRIOR显微镜平台>
HZ106显微镜电动载物台 H189显微镜电动载物台 CS200显微镜平台操纵杆 H101F显微镜平台 PRIOR显微镜载物台 H117显微镜电动平台 ES111显微镜平台 HLD117显微镜载物台 电生理显微镜载物台,神经科学显微镜电动平台
MW显微镜载物台>
SCAN 75x50mm显微镜载物台 SCAN plus 75x50mm显微镜平台 三轴显微操作器MM33 手动测量载物台 德国MW集成手动显微镜载物台 德国MW电动测量平台 Marzhauser倒置显微镜载物台 正置显微镜电动载物台 手动显微镜载物台 MW显微镜载物台
隔震台>
气浮隔振平台 CT-10桌面式隔振台 MK26超低频率隔振平台 BM-1台式隔振平台 K&S主动隔震台 K&S主动隔震台-Soto 地板式隔振平台 原子力显微镜隔振台 MinusK隔振台
纳米平台>
二轴纳米定位平台MCL MCL三轴纳米压电位移台 纳米压电物镜定位台MCL Nano-Z纳米压电定位台 紧凑型纳米压电定位台 OP800纳米物镜扫描台 高负载压电晶圆Z轴平台 SP400显微镜纳米定位台 OP400纳米聚焦物镜位移台 Marzhauser纳米Z轴载物台 PRIOR纳米定位设备
探针台>
8万元手动探针台ACE 450PM手动探针平台 P200L半自动显微镜探针平台 手动探针平台4060 Micromanipulator探针 Micromanipulator探针台 探针台探针 手动探针系统 半自动探针系统 2210-LS探针台 VERSA探针台
显微镜载物台配件>
HS6电动显微操纵器 Prior自动上样机SL160 Märzhäuser自动上样机 半复消色差物镜CFI60-2 Sensapex显微镜微机械手 Z轴驱动马达 显微镜载物台控制器TANGO 样品架 样品支架 PRIOR控制器 PRIOR操纵杆 显微镜光功率计 显微镜微操纵器 PRIOR自动上片机
显微镜>
Zaber荧光显微镜系统 uMs电生理显微镜 尼康工业显微镜MA100N 尼康工业显微镜LV100ND/LV100NDA Nikon工业显微镜MA200 尼康LV150N/LV150NA工业显微镜
电极>
Neuropixels 2.0电极 Neuropixels Rig电极植入系统
探针>
TeraSpike太赫兹探针 Neuropixels NHP神经像素探针 Neuropixels 1.0高密度神经探针
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基于采样器的高功率光束的测试光束分析仪

作者: 时间:2022-11-09

根据波长、光束大小和脉冲时间的组合,激光能量会被给材料吸收,从而产生切割、焊接、表面处理、钎焊和许多其他应用。本文将介绍激光的测量方面,特别是在最重要的焦点处。为了实现高功率激光器的光束分析测试,以色列DUMA主要采用了光束采样器搭配刀口扫描式轮廓仪或者相机式光斑分析仪实现高功率激光束的分析。


1.1 扫描式刀刃光束剖面仪

刀口扫描式轮廓仪用一个金属条来阻挡光束的进入。该金属条的边缘(刀口)有一个尖锐的直边。当刀刃扫描光圈时,光束被部分阻挡,而系统测量没有被挡住的那部分光束,见图2。未被阻挡的光束的差值变化与被测量的激光束宽度成正比。与狭缝扫描式轮廓仪或针孔扫描器相比,刀口扫描式轮廓仪有几个优点。首先,可以准确测量未被阻挡的总光束。此外,光束分辨率不受针孔大小和狭缝宽度的限制。所以信噪比非常高。这种方法允许测量直径为几微米到几毫米的光束。与狭缝扫描式轮廓仪一样,扫描的准确性取决于光束的几何形状。为了获得最佳效果,光束应该是圆形对称和接近高斯的。为了克服这个限制,以色列DUMA开发了一种特殊的刀刃/鼓机制,它用几个刀刃扫描光束,每个刀刃在其圆周上的方向不同。


1 简化的刀刃式光束分析仪的力学原理


当刀片对通过的光束进行扫描时,刀刃挡住了越来越大的光束功率。功率传感器测量功率的变化与刀口位置的关系,形成功率/位置图,如下图所示。

2 刀口装置产生的剖面图

从不同方向的多个刀刃上获得的剖面图被用来创建二维和三维图的信息,使用一个称为 "断层重建 "的数学方法


1.2相机式光斑分析仪

基于摄像头的光束分析仪使用一个二维像素阵列作为成像设备。它们作为一个电子信号来感知和存储输入光束的功率分布。激光束的强度分布被逐个像素记录下来,并显示为地形图或三维等高线图。这种光束分析仪的优点是,它们的感应方式类似于照相设备,并将显示任何剖面图上可能存在的特殊结构,如热点。它们可以显示光束轮廓的二维和三维图,并且它们可用于连续和脉冲激光器。这些仪器的主要缺点是它们的测量分辨率受到像素大小的限制(通常在5微米和10微米之间)。额外的限制因素是它们的灵敏度,通常是190纳米-1100纳米的,其他波长往往是非常昂贵的。

一类新的基于相机的剖析器,通过放大激光束,克服了最小光束尺寸的限制。通过校准的方式,放大50倍。这允许对直径小于5微米的光束进行分析。。


3. 高功率光束参数测量

高功率激光技术在总输出功率和光束质量聚焦能力方面取得了巨大的进步。这种进步要求进行更多更难的测量,以便定期和在线改进制造工艺。需要测量的主要参数是。

- 总输出功率和它的稳定性

- 光束大小及其分布

- 光束指向的稳定性

- 整体位置精度

在现在的制造程序中,测量上述任何参数都不是标准。大多数的测量设备都不是在工业环境中使用的,特别是需要在线测量的时候。尤其是在涉及到高功率激光测量时,情况更是如此。即使是最基本的激光束参数,即光功率,测量设备的标准也是可以接受的,但是它们的响应时间和安装方式却不足以满足快速或在线测量的需要。大多数用于测量上述其他参数的现有测量设备都不是为工业环境中的高功率激光器而制造的。这些设备不允许在全功率下进行测量,尤其是在焦点处。它们太脆弱了,处理起来太复杂了,而且结果不具有可重复性。最近开发的复杂的非偏振光束取样装置解决了大多数这些障碍,允许实时测量光束参数。已实施的实际方法是对光束的一小部分进行采样,并用标准的光束分析仪进行测量,如基于摄像头的光束分析仪或扫描式光束分析器。

这个光束取样器元件的关键要求是。

- 主动冷却和光圈清洁。

- 高热稳定性。

- 不变形的采样和恒定的采样率,无论输入功率如何。

在图6中介绍了一个使用高功率光束传播特征的设备进行的实际测量。传入的光束被分成两部分,大部分从光束采样器出来,一小部分被引向传感器头。被采样的光束可以是聚焦光束或平行光束。

3 一个配备了定制光束采样器和压缩空气冷却的多刀刃测量头。

3.1 测量原理

聚焦的激光光束进入光束采样器的输入孔,通过反射光束进行采样,其功率被大大降低。第二次反射进一步降低了光束功率,并恢复了原来的光束偏振。此外,在双重采样的光束到达检测区域,就像通常由普通的激光光束剖面仪完成的那样。在这个应用中我们使用了由Duma Optronics公司制造的刀刃式光束剖面仪。对于CW高功率的测量,这将是首选的测量设备,因为它在功率和多重剖面测量方面的准确性。此外,由于其特殊的功率处理能力,无论需要什么额外的功率衰减,都可以在特殊衰减配置的基础上不失真地进行。大部分光束通过取样装置,并击中一个光束倾倒器。采样率大概是主光束功率的0.1%


4 典型光束采样器的测试采样率与功率的关系


下图是一个典型的应用,光纤激光器产生的激光束首先被准直,然后被聚焦镜聚焦,聚焦后的光束由激光光束取样器取样,并提交给刀刃式光束分析仪。

沿着它的传播轴,几个区域可以通过相同的安排进行测量。这些位置可以是在光纤激光器输出后,在准直区域,或在聚焦透镜后的焦平面。加压空气被用来主动冷却和清除光束取样器中的多余热量,以及作为一种手段来吹走灰尘颗粒,并防止空气的热凝结。一个内置的冷却光束倾倒器将防止不必要的辐射从仪器中逸出。


5 显示激光束传播及其测量装置的示意图



在某些情况下,如果工作距离受到限制,就会出现图9所示的不同配置。这里的光束在其焦点之后被取样,然而焦点被特殊的物镜成像和放大以进行远程测量。


6 显示小工作距离激光器典型测量的布局示意图


下图7展示了一个典型的应用,其中高功率激光束分析仪可以在生产车间使用。在这里,机器人手臂继续在一个工件上工作(未显示),并不时地被引导到光束分析系统上进行功率、位置和轮廓测量。配置可以是这样的:测量设备在不同的时间被几个机器人手臂使用。此外。沿着Z轴移动机械臂,也可以计算出M-平方和焦点深度值。


7 高功率机器人激光器的光束分析


3.2 4KW测试激光束的实际测量结果

4000瓦特测量的典型结果在图11中显示。这里我们看到3921瓦特的测量,两个垂直方向的光束轮廓,一个是559微米,另一个是579微米。测量的激光功率和轮廓从400瓦到4000瓦不等。这次测量的直接结果有几个明显的有趣之处

- 以每秒5次的速度实时测量轮廓和功率。

- 在程序启动过程中,剖面图和位置都非常稳定

- 在峰值周围有一个明显的基座,约占总功率的50%


8 高功率激光束分析仪屏幕


4. 结论

我们展示了一种实用的高功率激光测量的实时方法。测量是在激光的焦点处进行的,那里是最重要的。进一步发展创新的光束取样器可以导致实时精确测量50甚至100千瓦的激光功率。各种测量光束分析仪应适应测量需要,如功率、连续或脉冲激光器。对于脉冲激光器,基于摄像头的光束轮廓仪比基于刀口的光束轮廓仪更有优势。必须评估高功率连续或脉冲光纤传输激光系统的性能。在功率为4000W以上,测量激光参数是一项艰巨的任务。为了得到最好的结果,应该在不同的工作环境下定期进行测量,最好是在生产线上进行。

需要测量的主要参数是。

- 总输出功率和它的稳定性

- 光束大小及其分布

- 光束指向的稳定性

- 整体位置精度

为了使事情变得更加困难,测量应快速进行,并将数据快速传输到激光控制的计算机进行在线校正


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