光学隔震平台

平整度低至0.1mm 芯密度高达230kg/m³ 单元尺寸小于3cm² 应用于精密电子显微镜的光学隔震平台

美国TMC设计和制造适用于纳米技术领域的先进建筑地面光学减震平台，TMC光学隔震平台支持超精密测量、仪器和制造。TMC提供多种系列的光学减震平台和光学面包板，包括CleanTop光学平台性能系列，CleanTop光学平台专业系列，用刚性联轴器拼接光学平台，CleanTop光学面包板，Hybrid Honeycomb面包板，此外TMC还提供光学平台支撑系统，适用于CleanTop光学平台和面包板的各种支腿系统。有气动、压电、混合隔震或无额外隔震性能的支腿可供选择。

TMC光学平台长期以来一直坚持光学顶部的干式阻尼优于油基阻尼器的理念。油的特性会随着时间的推移而改变，而隐藏的油箱总是有被最终用户在改造系统时刺穿的危险。TMC光学隔震平台的结构共震阻尼方法一直基于“宽带阻尼”的方法。“调谐阻尼”或使用调谐质量阻尼器与顶部弯曲模式异相共震是一种危险的方法。首先，它假设阻尼器可以设置为与顶部的共震频率完全一致。光学顶部的共震频率将根据负载、负载分布、温度甚至阻尼器本身而变化。因此，在实践中，难以将阻尼器调谐到顶部的共震。此外，它还假设，当需要注意许多二次弯曲和扭曲模式时，只有低共震频率才需要阻尼。更重要的是，采用调谐质量阻尼器来抑制结构共震的概念并不完善。调谐阻尼仅在阻尼离散共震时才有效，并不适合用于阻尼宽带结构共震。简单来说，通过创建联接的质量系统，调谐阻尼器将结构共震“分裂”成两个共震。TMC光学减震平台专有的宽带阻尼技术是阻尼光学顶部的有效方法。这种方法适用于整个感兴趣的频率范围，在顶部的主要、次要和更高的共震频率下耗散能量。此外，增加顶部的重量不会影响性能。TMC隔震台的光学顶部具有无与伦比的保证性能水平。此外，通过三级宽带阻尼和三种环境选择，TMC隔震平台在性能水平的选择方面具有很大的灵活性。标准阻尼水平提供的顺应性水平比表中的水平高四倍。建议仅对非敏感应用采用低阻尼水平。

CleanTop光学隔震平台的主要特点：

-首款防溢光学顶部

-首款全钢光学顶部

-首款无油光学顶部

-首款对齐到螺纹孔阵列的蜂窝芯

-首款带成型孔而不是钻孔的轻质面包板

-首款与真空兼容的光学顶部

CleanTop光学减震平台是光学顶部的另一项创新，TMC光学减震平台已经在光学顶部行业创下了多个“首款”。CleanTop的具体特点如下：

-表面的液体溢出物受到限制，无法到达顶部的蜂窝芯

-芯经过全面的清洁和干燥，没有残留的螺纹切削油，从而不会释放气体

-极其干净的螺纹孔使螺钉可以平稳和轻松地插入

-可以轻松取出掉入孔中的小零件

-由于在顶部表面使用危险化学品时化学品不会渗入芯内，因此不小心接触芯的化学品不会对健康造成危害

CleanTop光学减震平台的应用领域：

       -用于电生理学、IVF和成像的静音工作表面可实现更高的分辨率和更精确的测量。

       -先进的消震系统创造了摩尔定律所要求的更安静环境。

       -CleanTop®光学平台可提供从干涉仪到拍瓦激光器等光学系统所需的超稳定支撑。

       -适用于SEM、TEM和其他带电光束工具的完整环境解决方案。

       -精确的震动控制，可实现精确的测量。-微电子/微机电系统制造

CleanTop光学隔震平台性能系列：          

TMC光学隔震台和隔震平台采用全钢结构，具有市场上比较高的芯密度和比较小的蜂窝单元面积，可提供业界领先的性能和刚性。CleanTop性能系列具有三个阻尼性能级别以及适用于各种应用的多种配置选项。各个光学减震平台甚至可以机械连接，以便在不损失阻尼性能的情况下创建复杂的刚性工作台形状。

CleanTop光学平台性能系列包括三种型号系列：

研究级784系列：提供优异的光学顶部性能，它结合了小的单元尺寸、高的芯密度、独特的CleanTop®设计、全钢结构以及市场上高水平的结构阻尼。研究级CleanTop适用于苛刻的应用，包括干涉仪、全息和超快激光器以及严重的地面震动环境。为了获得优异的整体震动控制效果，请考虑将此顶部与LaserTable-Base™支架（混合空气/压电、2级消震系统）相结合。

科学级783系列：科学级具有与研究级相同的芯尺寸、密度、CleanTop杯和减少阻尼的全钢结构等设计特点。科学级阻尼的峰值顺应性水平比研究级阻尼的峰值顺应性水平高出4倍。

实验室级781系列：为不太严重的地面震动环境中不敏感的应用提供经济的性能水平。实验室级适用于需要刚性、平坦安装表面的一般实验室应用。

CleanTop光学平台专业系列： 

CleanTop光学平台专业系列包括用于洁净室的ClassOne 790系列、非磁性710系列和真空兼容730系列。

ClassOne 790系列：与所有TMC CleanTop光学平台一样，ClassOne具有高的芯密度和小的蜂窝单元面积。每个螺纹孔下方的单个杯子都经过气密处理，顶部可以防溢。ClassOne光学减震平台有各种标准和定制尺寸以及两种阻尼水平可供选择。

非磁性710系列：TMC光学减震平台的CleanTop光学顶部采用非磁性结构，推荐用于需要支撑高强度磁铁或保持均匀磁场的应用。虽然不锈钢合金不能100％非磁性，但316合金顶层、底层和内部蜂窝结构可显著降低铁磁性能。同时，侧壁和杯子完全不含铁。

真空兼容730系列：TMC光学隔震平台将我们固有的CleanTop®设计与几个新专有设计特征、清洁方法以及为德克萨斯大学拍瓦激光项目开发的真空泵送程序相结合，达到了以前无法达到的真空兼容水平。

用刚性联轴器连接光学隔震平台：

TMC光学隔震台通过将一个经过精密磨削和对齐的专有接合板系统焊接到顶部的结构元件上，TMC可以在隔震光学平台之间提供刚性联接。TMC光学平台独特的工艺包括对齐技术，可确保顶部保持高平整度规格，而不会因接合板焊接到顶部的热效应而发生变形。

拼接后，TMC光学隔震平台就像一个整体结构。与所有大型结构一样，较大拼接系统的行为将与单个顶部的行为不同。拼接隔震光学平台技术确保了多个顶部之间的平整度。接合板是一组经过精密磨削的、厚20毫米（0.75英寸）的配套钢材，带有一套定位销，用于保持对齐。板沿着接合板的整个长度焊接在顶部和底部蒙皮上。在组装完成后，用不锈钢带覆盖接合板。接合板的标准材料是钢。

许多形状都可提供。TMC光学隔震台通常以“端到端”配置或以“T”或“L”形状拼接。拼接式平台也可以配置为“边对边”或形状的组合。同一厚度的隔震光学平台可以相互拼接，甚至两种不同厚度的工作台也可以拼接为阶梯式配置。例如，如果一个大型顶部无法装入电梯，则可以拼接工作台以协助安装。

CleanTop光学隔震面包板：

CleanTop®钢光学面包板可为较小的顶部提供卓越的刚性和阻尼。这些顶部有2英寸和4英寸厚度，与我们的大型光学平台具有相同的高性能CleanTop结构。

TMC隔震台的CleanTop®钢光学面包板有三种性能级别以及一系列定制选项可供选择。

78系列：为较小的顶部提供大的刚性和阻尼。推荐用于要求高的面包板应用。

77系列：与78系列相比，顶部蒙皮略薄，刚性和阻尼略低，但成本和重量较低。

75轻量级系列：大限度地减轻了重量和成本。这些面包板具有相对较高的刚性，因为它们使用了我们的标准钢芯，然而，由于它们的顶部和底部蒙皮较薄，它们不具有78和77系列的刚性和阻尼特性。当预计载荷较轻和当低重量和/或低成本是主要考虑因素时，它们是理想的选择。重量比78系列面包板减轻50％。

Hybrid Honeycomb隔震面包板：

TMC隔震平台中许多超精密工具包括光学子组件。这种子组件必须安装在刚性、平坦的阻尼表面上，以保持光学系统的位置稳定性。直到现在，工程师都不得不在机加工铝板和蜂窝光学面包板之间做出选择。铝板的优点是可加工到精确的平整度、平行度以及孔位置的偏差较小。蜂窝面包板的优点是可提供结构阻尼以及更高的刚度重量比。TMC光学隔震平台的创新地结合了两者的优点。Hybrid Honeycomb™以铝板开始。对板进行机加工以获得所需的特征。然后将底面加工掉，留下一个整体蜂窝图案，以减轻结构的重量。然后，在蜂窝单元上用环氧树脂粘合底部蒙皮，以封闭结构并提供额外的阻尼和刚度。Hybrid Honeycomb是光子学工具和应用中光学组件的理想选择，它是一种工程解决方案，可根据您的独特需求进行配置。

光学平台支撑系统：

TMC为我们的CleanTop隔震光学平台和面包板提供各种各样的支腿系统。

通常，TMC隔震台和面包板放置在通过拉杆连接在一起的气动或刚性支架上。这是TMC的Micro-g系列的支撑系统。对于极其敏感的应用，特别是低于5 Hz的地板震动，我们推荐使用主动压电和混合解决方案 - STACIS III和LaserTable-Base。

Micro-g系列：Micro-g光学平台支撑系统是TMC隔震光学平台和面包板的理想选择。它有包括高度、承重能力和隔震性能在内的多种配置选项。大多数顶部应该选择由带有拉杆的四柱系统支撑，但对于那些长度超过10英尺（3米）的顶部，我们建议使用6柱系统。除了更高的承重能力之外，顶部的结构特性还通过额外的支撑点得到了增强。如果支柱之间需要开放式通道，则可以选择Micro-g独立式支柱来代替带有拉杆的支柱。虽然一般配置为4和6条支腿，但其他配置可包括3和5条支腿。独立支柱为相对于光学顶部的支柱定位提供了很好的灵活性。

LaserTable-Base：LaserTable-Base™是现有TMC隔震平台隔震技术的一大飞跃。通常，TMC隔震平台由低频气动隔震系统支撑。虽然在隔离高频方面非常有效，但这些被动系统实际上放大了关键的1至3 Hz范围内的震动。TMC的STACIS通过结合压电致动器和惯性震动传感器的专有技术克服了这些限制，可消除而不会放大极低频震动。LaserTable-Base将这两项技术（空气和STACIS）整合到一个集成的消震系统中。由于两个串联隔震系统的综合效应，这实现了低频率消震和前所未有的高频隔震水平。LaserTable-Base的上部气动部分采用模块化设计，可互换。它可以结合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空气隔震器或刚性、非隔震支架，具体取决于应用要求。

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